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一种废弃存储器晶圆片拆分用复合溶剂及拆分方法

文献发布时间:2024-01-17 01:15:20



技术领域

本发明涉及晶圆片回收利用技术领域,具体而言,涉及一种废弃存储器晶圆片拆分用复合溶剂及拆分方法。

背景技术

随着人们生活水平的提高,产品更新换代速度的加快,越来越多的废弃电器电子产品流入回收体系。在回收过程中,对废弃产品拆解,从中提取物质作为可用原材料或者燃料,减少或者消除产品中的危害成分,一直是该领域的研究热点。

废弃存储器是典型的电子垃圾,如不加以利用,将是极大浪费;目前还没有效途径进行废弃存储器晶圆片的回收,亦没有相关报道对其分离方法进行系统阐述。国内个体户多采用小作坊、大锅高温环境、长时间蒸煮分离,操作环境恶劣,溶剂损耗大,环境污染严重,且分离效果较差,报废率高,晶圆表面多残留胶体和壳体塑料,晶圆表面原有焊盘易脱落,晶圆片无法达到回收利用标准。

如公开号为CN113130291A的发明专利申请公开了一种用于清洗晶圆清洗刷的水基清洗液,包括碱、去离子水、阴离子表面活性剂、以及非离子表面活性剂,其清洗液可以用于清洗在万级环境内安装、拆卸、储存的晶圆清洗刷,可以快速洗去晶圆清洗刷上可转移到晶圆表面的污染物,这里清洗液并非直接清洗拆分晶圆片,而是用于清洗晶圆清洗刷,而且晶圆清洗刷也并未用于晶圆片的回收。

发明内容

为克服现有技术中多采用小作坊、大锅高温环境、长时间蒸煮分离,操作环境恶劣,溶剂损耗大,环境污染严重,且分离效果较差,报废率高,晶圆表面多残留胶体和壳体塑料,晶圆表面原有焊盘易脱落,晶圆片无法达到回收利用标准等没有效途径进行废弃存储器晶圆片的回收的问题,本发明提供了一种废弃存储器晶圆片拆分用复合溶剂,包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂选自乙二胺、三乙胺和二乙烯三胺中的一种,所述复配溶剂选自1,4-二氧六环、甲苯、二甲苯、丙酮、氯仿、氯苯、二甲亚砜、乙二醇、乙二醇丁醚、乙二醇乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇丁醚和二乙二醇乙醚中两种以上的组合物。

不同晶圆片在叠加过程中,采用不同的密封胶,其根本原理是有机溶剂的相似相溶原理,不同的密封胶在不同溶剂中的溶解度也不相同,复合溶剂起到渗透和溶解作用,采用不同溶剂和配比也是为了达到最好的渗透和溶解效果,合适的复配溶剂对某一特定的晶圆片间的密封胶有较好的渗透和溶解效果,可以使得晶圆片更容易分离开,针对性强的复配溶剂可以对特定晶圆片的分离率达到99%;如果渗透和溶解效果不好,壳体与晶圆片间的胶没有溶解,会造成壳体与晶圆片仍旧胶连,产生应力,从而破坏晶圆片,晶圆片会受挤压而破碎,反之好的复配溶剂能够有效渗透和溶解密封胶,晶圆片与壳体分离,则没有应力产生,极大降低晶圆片损坏率。

优选地,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为(50%-70%):(30%-50%)。

优选地,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和二甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和二甲苯的含量为(50%-70%):(30%-50%)。

优选地,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环、二甲苯和乙二醇丁醚;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环、二甲苯和乙二醇丁醚的含量为(40%-70%):(20%-30%):(10%-30%)。

优选地,所述主要溶剂为三乙胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为(50%-70%):(30%-50%)。

优选地,按质量百分比计,所述复配溶剂占所述主要溶剂的20%-50%。

本发明还提供了一种废弃存储器晶圆片的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至指定温度,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应10-24小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇中清洗后再在清水中清洗,人工分捡卡壳和晶圆片。

优选地,步骤一中网兜内的废弃存储器带壳卡片数量为500-2000片,这里带拆分卡片的品牌有镁光、东芝、海力士、三星等。

优选地,步骤二中指定温度为120-180℃。

优选地,步骤三中取出网兜后在乙醇和清水中分别清洗两次。

有益效果:

采用本发明技术方案产生的有益效果如下:

(1)存储器卡壳及晶圆片的分离一次完成,晶圆片表面无胶体和塑料残留,分离效果显著,分离率可达99%,晶圆片损坏率低于5‰,分离过程温和,无溶剂气体外露,环境友好,适合1000-2000片以上规模化分离操作。

(2)不同晶圆片在叠加过程中,采用不同的密封胶,其根本原理是有机溶剂的相似相溶原理,不同的密封胶在不同溶剂中的溶解度也不相同,复合溶剂起到渗透和溶解作用,采用不同溶剂和配比也是为了达到最好的渗透和溶解效果,合适的复配溶剂对某一特定的晶圆片间的密封胶有较好的渗透和溶解效果,可以使得晶圆片更容易分离开,针对性强的复配溶剂可以对特定晶圆片的分离率达到99%;如果渗透和溶解效果不好,壳体与晶圆片间的胶没有溶解,会造成壳体与晶圆片仍旧胶连,产生应力,从而破坏晶圆片,晶圆片会受挤压而破碎,反之好的复配溶剂能够有效渗透和溶解密封胶,晶圆片与壳体分离,则没有应力产生,极大降低晶圆片损坏率。

具体实施方式

为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式是本发明一部分实施方式,而不是全部的实施方式。因此,以下对本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围,而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本发明保护的范围。

本实施方式提供了一种废弃存储器晶圆片拆分用复合溶剂,包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂选自乙二胺、三乙胺和二乙烯三胺中的一种,所述复配溶剂选自1,4-二氧六环、甲苯、二甲苯、丙酮、氯仿、氯苯、二甲亚砜、乙二醇、乙二醇丁醚、乙二醇乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇丁醚和二乙二醇乙醚中两种以上的组合物。

作为一种优选的实施方式,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为(50%-70%):(30%-50%)。

作为一种优选的实施方式,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和二甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和二甲苯的含量为(50%-70%):(30%-50%)。

作为一种优选的实施方式,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环、二甲苯和乙二醇丁醚;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环、二甲苯和乙二醇丁醚的含量为(40%-70%):(20%-30%):(10%-30%)。

作为一种优选的实施方式,所述主要溶剂为三乙胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为(50%-70%):(30%-50%)。

作为一种优选的实施方式,按质量百分比计,所述复配溶剂占所述主要溶剂的20%-50%。

本实施方式还提供了一种废弃存储器晶圆片的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至指定温度,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应10-24小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇中清洗后再在清水中清洗,人工分捡卡壳和晶圆片。

作为一种优选的实施方式,步骤一中网兜内的废弃存储器带壳卡片数量为500-2000片,这里带拆分卡片的品牌有镁光、东芝、海力士、三星等。

作为一种优选的实施方式,步骤二中指定温度为120-180℃。

作为一种优选的实施方式,步骤三中取出网兜后在乙醇和清水中分别清洗两次。

下面通过几组实施例对本发明中拆分用复合溶剂及拆分方法的有益效果进行进一步的介绍。

实施例一:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例二:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片2联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和二甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和二甲苯的含量为70%:30%,所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例三:

本实施例中海力士牌废弃存储卡(晶圆片2联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环、二甲苯和乙二醇丁醚;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环、二甲苯和乙二醇丁醚的含量为50%:30%:20%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例四:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的20%。

实施例五:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的50%。

实施例六:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为50%:50%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例七:

本实施例中东芝牌废弃存储卡(晶圆片2联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为三乙胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例七:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(小卡,晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为乙二胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例八:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为丙酮和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中丙酮和甲苯的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例九:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为氯仿和二甲亚砜;且按质量百分比计,所述复配溶剂中氯仿和二甲亚砜的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例十:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为氯苯和乙二醇;且按质量百分比计,所述复配溶剂中氯苯和乙二醇的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例十一:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和乙二醇丁醚;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和乙二醇丁醚的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例十二:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和乙二醇乙醚;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和乙二醇乙醚的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例十三:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和二乙二醇二甲醚;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和二乙二醇二甲醚的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例十四:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和二乙二醇丁醚;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和二乙二醇丁醚的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例十五:

本实施例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和二乙二醇乙醚;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和二乙二醇乙醚的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的30%。

实施例十六:

本对比例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的15%。

实施例十七:

本对比例中镁光牌废弃存储卡(晶圆片4联)的拆分方法,包括如下步骤:

步骤一,将装在网兜内的1000片废弃存储器带壳卡片,放入装有复合溶剂的特制反应容器中;

步骤二,将反应容器加热至150℃,使溶剂气体经冷凝系统回流至复合溶剂体系内,保温反应18小时;

步骤三,将反应容器降温至50℃以下取出网兜,在乙醇和清水中分别清洗两次,人工分捡卡壳和晶圆片。

其中复合溶剂包括主要溶剂和复配溶剂,所述主要溶剂为二乙烯三胺,所述复配溶剂为1,4-二氧六环和甲苯;且按质量百分比计,所述复配溶剂中1,4-二氧六环和甲苯的含量为70%:30%;所述复配溶剂占所述主要溶剂的55%。

对实施例一至十七中的分离率和晶圆片损坏率进行测试,各组实施例的测试结果如表1:

表1各组实施例中卡壳及晶圆片的分离率及晶圆片损坏率测试结果

如表1所示,实施例一至十七中存储器卡壳及晶圆片的分离均可一次完成,晶圆片表面无胶体和塑料残留,分离效果显著,分离率可达99%,晶圆片损坏率低于5‰,分离过程温和,无溶剂气体外露。

以上所述仅为本发明的优选实施方式而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

技术分类

06120116086513