一种用于半导体设备中的泵与槽直连法兰结构

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体地说是一种用于半导体设备中的泵与槽直连法兰结构。

背景技术

半导体设备中清洗机台或者化学镀机台，基本涉及管路系统。此管路系统中涵盖了槽体、泵、阀、管道、管接头等；其中，槽体与泵占用空间最大，对配管及机台尺寸影响较大。目前，常见的安装是将槽体与泵单独安装，根据使用情况发现主要存在以下几点问题：

(1)两者独立安装会占用更多的空间，会造成部分空间浪费；

(2)两者之间的一段距离需要使用管道连接，必然使用管接头相互连接，这就存在管接头连接处又渗漏风险；

(3)管道内随液体流动，会出现气泡，管道内液体中气泡的堆积，会对管壁和泵造成不可逆转的损失，降低其使用寿命。

发明内容

本发明的目的就是要解决上述的不足而提供一种用于半导体设备中的泵与槽直连法兰结构，该直连法兰结构可使泵与槽直连在一起，减少了实际配管空间，降低了因槽与泵独立安装占用的设施空间，同时也避免了因泵与槽之间的配管接头过多导致漏液。

为实现上述目的设计一种用于半导体设备中的泵与槽直连法兰结构，包括：

法兰本体1，所述法兰本体1直接连接于泵6的进液口与槽体7之间；

所述法兰本体1底端设置有向下延伸的阶梯台阶8，所述阶梯台阶8上安装有二级密封圈3，所述法兰本体1带有阶梯台阶8的一侧与泵6的进液口端面相连，所述法兰本体1与泵6之间通过沉头螺栓4进行紧固，并在沉头螺栓4的紧固力下压紧二级密封圈3以实现法兰本体1与泵6之间的密封；

所述法兰本体1顶端面上设置有一圈凹槽9，所述凹槽9内装设有一级密封圈2，所述法兰本体1带有凹槽9的一侧与槽体7相连，所述法兰本体1通过外六角螺栓5固定在槽体7上，并在外六角螺栓5的紧固力下压紧一级密封圈2，以实现法兰本体1与槽体7之间的密封。

进一步地，所述法兰本体1上设置有与沉头螺栓4配合连接的沉头孔10，所述沉头孔10位于一级密封圈2的凹槽9外圈，且沿周向均匀分布，从而可防止液体从沉头孔10处渗漏。

进一步地，所述法兰本体1上设置有与外六角螺栓5配合连接的通孔11，所述通孔11位于沉头孔10外圈，且沿周向均匀分布，同样可防止液体从通孔11处渗漏。

进一步地，所述泵6的进液口端面设置有螺纹孔一12，所述螺纹孔一12与沉头螺栓4的沉头孔10对应布置，所述槽体7底部配置有螺纹孔二13，所述螺纹孔二13与外六角螺栓5的通孔11对应布置，从而可将泵6、法兰本体1一起安装在槽体7底部，确保法兰本体1受力平稳的同时，安装更为便捷、可靠。

进一步地，所述法兰本体1的阶梯台阶8与泵6的进液口端面之间预设有沿周向布置的一圈缝隙，所述二级密封圈3填充于缝隙内以防止泵6内液体沿轴向出现渗液。

进一步地，所述沉头螺栓4、外六角螺栓5均沿圆周布置，且数量相同，以实现法兰本体1平面受力均匀以及平面度变形量最小。

进一步地，所述法兰本体1为圆环形板状，所述法兰本体1与阶梯台阶8构成T字型结构，从而制造非常方便，可实现量产。

本发明同现有技术相比，提供了一种泵与槽直连法兰结构，该直连法兰结构中的法兰本体具有阶梯台阶、密封圈凹槽、沉头孔、通孔等，法兰的阶梯台阶、凹槽用来放置密封圈，用于液体密封，沉头孔用来沉头螺栓沉在法兰内部与泵连接固定，通孔是外侧的外六角螺栓穿过法兰来与槽进行压紧固定，同时起到压紧密封圈的作用；该直连法兰结构可使泵与槽直连在一起，减少了实际配管空间，降低了因槽与泵独立安装占用的设施空间，同时也避免了因泵与槽之间的配管接头过多导致漏液；另外，本发明能够避免气泡在泵与槽之间的管路中产生并堆积对泵造成损伤，且直连法兰的材质优于或等于槽体材质，从而便于增强直连法兰的使用寿命。

综上，本发明设计合理，结构简单，能够节省配管空间，减少物料的消耗，同时可实现泵与槽体在可靠的直连的情况下进行工作，值得推广应用。

附图说明

图1是本发明的爆炸图；

图2是本发明的内部结构示意图；

图3是本发明的立体结构示意图；

图4是本发明法兰本体的剖视图；

图5是本发明法兰本体的立体结构示意图；

图中：1、法兰本体 2、一级密封圈 3、二级密封圈 4、沉头螺栓5、外六角螺栓 6、泵7、槽体 8、阶梯台阶 9、凹槽 10、沉头孔 11、通孔 12、螺纹孔一 13、螺纹孔二。

具体实施方式

如附图所示，本发明提供了一种用于半导体设备中的泵与槽直连法兰结构，包括法兰本体1，法兰本体1直接连接于泵6的进液口与槽体7之间；法兰本体1底端设置有向下延伸的阶梯台阶8，阶梯台阶8上安装有二级密封圈3，法兰本体1带有阶梯台阶8的一侧与泵6的进液口端面相连，法兰本体1与泵6之间通过沉头螺栓4进行紧固，并在沉头螺栓4的紧固力下压紧二级密封圈3以实现法兰本体1与泵6之间的密封；法兰本体1顶端面上设置有一圈凹槽9，凹槽9内装设有一级密封圈2，法兰本体1带有凹槽9的一侧与槽体7相连，法兰本体1通过外六角螺栓5固定在槽体7上，并在外六角螺栓5的紧固力下压紧一级密封圈2，以实现法兰本体1与槽体7之间的密封。

法兰本体1上设置有与沉头螺栓4配合连接的沉头孔10，沉头孔10位于一级密封圈2的凹槽9外圈，且沿周向均匀分布，从而可防止液体从沉头孔10处渗漏；法兰本体1上设置有与外六角螺栓5配合连接的通孔11，通孔11位于沉头孔10外圈，且沿周向均匀分布，同样可防止液体从通孔11处渗漏。法兰本体1的阶梯台阶8与泵6的进液口端面之间预设有沿周向布置的一圈缝隙，二级密封圈3填充于缝隙内以防止泵6内液体沿轴向出现渗液。法兰本体1为圆环形板状，法兰本体1与阶梯台阶8构成T字型结构，从而制造非常方便，可实现量产。

泵6的进液口端面设置有螺纹孔一12，螺纹孔一12与沉头螺栓4的沉头孔10对应布置，槽体7底部配置有螺纹孔二13，螺纹孔二13与外六角螺栓5的通孔11对应布置，从而可将泵6、法兰本体1一起安装在槽体7底部，确保法兰本体1受力平稳的同时，安装更为便捷、可靠。沉头螺栓4、外六角螺栓5均沿圆周布置，且数量相同，以实现法兰本体1平面受力均匀以及平面度变形量最小。

本发明泵与槽直连法兰结构的原理为：先将二级密封圈安装在直连法兰的阶梯台阶上，再将直连法兰本体带有阶梯台阶的一侧安放到泵的进液口端面，并用沉头螺栓进行紧固，使用沉头螺栓的紧固力来实现二级密封圈与泵之间进行密封；将一级密封圈放在凹槽内，再将泵与直连法兰一起用外六角螺栓固定在槽体上，同样使用外六角螺栓的紧固力来压紧密封圈，用来实现与槽体之间的密封，防止渗液；泵的固定板需要与槽体形成一体化，避免造成外部拉扯力，使直连法兰与槽体相连的之间产生缝隙，使其渗液。

本发明主要由五个子部分组成：直连泵与槽的法兰本体1；与泵进液口进行密封的二级密封圈3；用于紧固法兰与泵，并压紧二级密封圈的沉头螺栓4；位于法兰与槽中间的一级密封圈2以及最外侧的固定法兰并同时实现压紧一级密封圈的外六角螺栓5。其中，

(1)直连泵与槽的法兰本体1：因其可直接将泵与槽体相连接，极大的缩短了泵与槽之间的距离；相当于泵进液口与槽相连，节省配管空间，同时接头配件也相应减少，也节省了物料成本。

(2)一级密封圈2：位于直连法兰本体与槽体之间，在外六角螺栓紧固力下，实现与密封法兰本体与槽体直接的缝隙，避免漏液，且一级密封圈的凹槽位于沉头孔内侧，从而可防止液体从沉头孔处渗漏。

(3)二级密封圈3：放置在法兰本体的阶梯台阶处，用于填充密封泵与法兰本体之间的缝隙，以防止泵内液体沿轴向出现渗液。

(4)沉头螺栓4：采用八颗螺栓沿圆周布置，可实现锁紧力度大，并且满足对二级密封圈的压紧力分布平均，同时也使法兰本体受力均匀，使其法兰本体平面度变形量最小。

(5)外六角螺栓5：同样采用八颗沿圆周分布，可使法兰平面受力均匀，每次压紧一级密封圈的力也大致相同，防止因受力不均出现密封不牢。

本发明提供的用于半导体设备中的泵与槽直连法兰结构，其设计合理，结构简单，能在节省配管空间，减少物料的消耗，同时可实现泵与槽体在可靠的直连的情况下进行工作。

下面结合附图和具体实施例对本发明作以下进一步说明：

实施例1

如图所示，法兰本体1位于泵与槽体之间，此时连接方式是安装于槽体底部；安装时，首先将二级密封圈3安装在法兰本体1的一级阶梯台处，再将沉头孔与泵的螺纹孔对齐，然后使用沉头螺栓4进行对角紧固，确保直连法兰本体受力平稳，使二级密封圈3受压均匀，密封效果达到最佳效果；

将一级密封圈2放置在法兰本体1的密封圈凹槽内，此时泵与直连法兰1合一体，再将泵与直连法兰本体一起安装在槽体底部，槽体底部需配有对应的螺纹孔，然后对齐螺纹孔后，使用外六角螺栓5进行对位安装紧固，此处有两个目的：(1)是将泵、法兰一起安装在槽体底部；(2)可随着螺栓的旋紧，压缩一级密封圈使其受压均匀，达到较好的密封效果，防止渗漏现象。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术，其使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

本发明并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。