探针检查机构以及检查装置

技术领域

本发明的实施方式涉及探针检查机构以及检查装置。

背景技术

以往，例如已知有在将一对探针压靠于二次电池的一对电极端子的状态下对二次电池进行检查的充放电检查装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特许第4209707号公报

发明内容

发明要解决的课题

上述那样的一对探针如果能够获得容易缩短正常与否的检查所需的时间的新构成的话是有益的。

用于解决课题的手段

实施方式的探针检查机构具备基座、一对可动体、可动体用弹性体及导电体。所述一对可动体分别以能够从以所述基座为基准的第1位置向第1方向移动的方式被支撑于所述基座，并具有能够与探针接触的与所述第1方向相反侧的第2方向的端部、以及与所述端部电连接的端子，该一对可动体在与所述第1方向交叉的方向上并列。所述一对可动体用弹性体针对每个所述可动体分别设置，夹设在所述可动体与所述基座之间，将所述可动体向所述第2方向弹性地推压。所述导电体被支撑于所述基座，通过与一对所述可动体的各所述端子接触而将各所述端子电连接。一对所述可动体的各所述端部能够与不同的所述探针接触。所述端子与所述导电体的状态为，与所述可动体的位置相应地被切换为该端子与该导电体接触的导通状态、以及该端子与该导电体分离的非导通状态。

附图说明

图1是第1实施方式的探针检查机构以及探针模组的示例性的主视图。

图2是第1实施方式的二次电池的示例性的立体图。

图3是第1实施方式的探针检查机构被压靠于探针模组的状态的示例性的图，是一对探针的双方正常的情况的图。

图4是第1实施方式的探针检查机构被压靠于探针模组的状态的示例性的图，是一对探针的一方异常的情况的图。

图5是第2实施方式的充放电检查装置的示例性的主视图。

图6是第2实施方式的探针模组的示例性的主视图。

图7是第2实施方式的探针模组的示例性的仰视图。

图8是第2实施方式的托盘的示例性的主视图，是托盘对探针检查机构进行了收容的状态的图。

图9是第2实施方式的托盘的示例性的俯视图，是托盘对探针检查机构进行了收容的状态的图。

图10是第2实施方式的充放电检查装置的示例性的框图。

图11是表示第2实施方式的控制装置的功能性构成的框图。

图12是第2实施方式的控制装置执行的探针检查处理的示例性的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行说明。另外，在以下的示例性的多个实施方式中包含有同样的构成要素。因此，以下，对同样的构成要素赋予共用的附图标记，并且省略重复的说明。

此外，在本说明书中，序数是为了方便对构件(部件)、部位等进行区分而赋予的，并不表示优先次序或顺序。此外，在本实施方式中，方便起见，定义了相互正交的三方向。X方向沿着探针检查机构1的进深方向(前后方向)，Y方向沿着探针检查机构1的左右方向(宽度方向)，Z方向沿着探针检查机构1的上下方向(高度方向)。下方D1是第1方向的一例，上方D2是第2方向的一例。

＜第1实施方式＞

图1是第1实施方式的探针检查机构以及探针模组的示例性的主视图。图1所示的探针检查机构1被使用于一对探针5的检查。一对探针5例如被使用于二次电池10(图2参照)的充放电检查。以下，依次详细地说明二次电池、探针、液压探针检查机构。

图2是第1实施方式的二次电池10的示例性的立体图。如图2所示那样，二次电池10具有壳体20、正极端子23及负极端子24。二次电池10例如是锂离子二次电池。

壳体20构成为扁平的长方体状。在壳体20的内部收容有作为发电部的电极体。

正极端子23以及负极端子24以被支撑于壳体20的顶壁22的状态向壳体20的外部露出。正极端子23以及负极端子24相互隔开间隔而在顶壁22(壳体20)的左右方向上并列。正极端子23以及负极端子24分别与电极体的正极以及负极电连接。正极端子23以及负极端子24分别是电极端子的一例。

接下来，详细地说明探针5。如图1所示那样，一对探针5以在与上下方向(上方D2以及下方D1)交叉的左右方向上并列的状态，被支撑于基座40。以后，在区分多个探针5的情况下，也将一对探针5称作探针5A、5B。一对探针5和基座40构成探针模组41。探针模组41也被称作探针单元。

探针5具有支撑体31、第1针32、第2针33、第1针用弹性体34及第2针用弹性体(未图示)。第1针32以及第2针33也被称作接触针或柱塞。第1针32是针的一例，第1针用弹性体34是针用弹性体的一例。

支撑体31以沿上下方向贯通基座40的状态被固定于基座40。支撑体31形成为带台阶的圆筒状。

第1针32形成为圆筒状。第1针32的一部分进入到支撑体31内，第1针32能够在支撑体31中滑动。第1针32被支撑体31沿上下方向进行引导。此外，第1针32在从支撑体31向下方D1突出了规定量的初始位置处与限位器抵接，被该限位器限制了向下方的移动。此外，第1针32被第1针用弹性体34向下方D1推压。第1针32中流动有电流。

第2针33的一部分进入到第1针32内，第2针33能够在第1针32中滑动。第2针33被第1针32沿上下方向进行引导。此外，第2针33在从第1针32向下方D1突出了规定量的初始位置处与限位器抵接，被该限位器限制了向下方的移动。此外，第2针33被第2针用弹性体向下方D1推压。第2针33上连接有电压计。即，第2针33是电压检测用。

接下来，详细地说明探针检查机构1。如图1所示那样，探针检查机构1具有基座50、一对可动体51及一对可动体用弹性体52。

基座50具有框架53及引导构件54。框架53形成为大致矩形框状，具有顶壁53a、底壁53b、以及一对侧壁53c、53d。框架53(基座50)的左右方向的宽度以及进深方向的宽度(长度)与二次电池10的壳体20的左右方向的宽度以及进深方向的宽度(长度)相同。基座50由合成树脂材料等绝缘材料构成。框架53也被称作躯体。

在顶壁53a的下表面设置有突出部53e。突出部53e从顶壁53a向下方D1突出。此外，在突出部53e的前端部固定有导电体55。即，导电体55被支撑于框架53。导电体55形成为平板状。导电体55在该导电体55的左右方向的两端部具有一对端子55a。导电体55由金属材料构成，具有导电性。

引导构件54具有筒部54a、上侧凸缘部54b及下侧凸缘部54c。筒部54a例如为圆筒状。筒部54a沿上下方向延伸，在上下方向上贯通框架53的顶壁53a。上侧凸缘部54b以及下侧凸缘部54c分别从筒部54a的外周部向筒部54a的径向外侧伸出。上侧凸缘部54b以及下侧凸缘部54c例如为圆环状。上侧凸缘部54b重叠于顶壁53a的上表面，下侧凸缘部54c重叠于顶壁53a的下表面。引导构件54通过由上侧凸缘部54b以及下侧凸缘部54c对顶壁53a的夹持而被固定于顶壁53a。引导构件54可以由多个构件的组合而构成。

一对可动体51以在与上下方向(上方D2以及下方D1)交叉的左右方向上并列的状态，配置于基座50的顶壁53a。以后，在区分说明一对可动体51的情况下，也将一对可动体51称作可动体51A以及可动体51B。

可动体51具有上端部51a及下端部51b。一对可动体51的各上端部51a能够与不同(非同一个)的的探针5接触。具体地说，可动体51A的上端部51a能够与探针5A接触，可动体51B的上端部51a能够与探针5B接触。

可动体51具有：带台阶的形状的圆柱部51c，包含上端部51a以及下端部51b；以及端子51g，从圆柱部51c伸出。可动体51由金属材料构成，具有导电性。即，上端部51a具有导电性。

圆柱部51c具有上侧大径部51d、下侧大径部51e及连接部51f。上侧大径部51d包含上端部51a。上侧大径部51d以及下侧大径部51e分别形成为圆柱状。上侧大径部51d与下侧大径部51e在上下方向上分离。上侧大径部51d位于顶壁53a的上方，下侧大径部51e位于顶壁53a的下方。连接部51f夹设在上侧大径部51d与下侧大径部51e之间，将上侧大径部51d与下侧大径部51e连接。连接部51f形成为圆柱状。连接部51f的径长比上侧大径部51d以及下侧大径部51e各自的径长小。连接部51f的位于上侧大径部51d与下侧大径部51e之间的一部分进入到引导构件54的筒部54a内，连接部51f能够在筒部54a中滑动。连接部51f、进而可动体51被筒部54a沿上下方向进行引导。

在可动体51位于以基座50为基准的第1位置P1的状态下，下侧大径部51e与引导构件54的筒部54a的下端部在上下方向上接触，可动体51的向上方D2的移动被筒部54a限制。即，筒部54a作为限位器发挥功能。可动体51以能够从第1位置P1向下方D1移动的方式被支撑于基座50。第1位置P1也被称作初始位置。

端子51g从下侧大径部51e向圆柱部51c的径向外侧伸出。端子51g形成为带板状。端子51g经由圆柱部51c而与上端部51a电连接。端子51g能够与导电体55的端子55a的下表面接触。具体地说，可动体51A的端子51g能够与一方(左侧)的端子55a接触，可动体51B的端子51g能够与另一方(右侧)的端子55a接触。在可动体51位于第1位置P1的状态下，端子51g与导电体55的端子55a的下表面接触，而与导电体55电连接。这样，端子51g能够与导电体55电连接。

可动体用弹性体52针对每个可动体51分别设置。可动体用弹性体52是螺旋弹簧。可动体用弹性体52以压缩状态夹设在可动体51的上侧大径部51d与基座50的引导构件54中的上侧凸缘部54b之间。可动体用弹性体52将可动体51向上方D2弹性地推压。

可动体51在下侧大径部51e与引导构件54的下侧凸缘部54c在上下方向上接触的状态下，被可动体用弹性体52向上方D2弹性地推压，由此，被保持于第1位置P1。如上述那样，在可动体51位于第1位置P1的状态下，端子51g与导电体55的端子55a的下表面接触，而与导电体55电连接。一对可动体51的双方的端子51g与导电体55的一对端子55a的接触的状态是导通状态。即，导通状态是一对可动体51的一对端子51g被电连接的状态。这样，导电体55通过与一对可动体51的各端子51g接触而将各端子51g电连接。

从导通状态起，上端部51a抵抗可动体用弹性体52的弹力而被向下方D1推压，由此，可动体51移动到比第1位置P1靠下方D1的位置，端子51g从导电体55的端子55a分离。一对可动体51的至少一方的端子51g与导电体55的端子55a分离的状态是非导通状态。非导通状态是一对可动体51的端子51g被电切断的状态。

如以上那样，在探针检查机构1中，端子51g与导电体55的状态为，与可动体51的位置相应地被切换为端子51g与导电体55接触的导通状态、以及该端子51g与该导电体55分离的非导通状态。

此外，可动体用弹性体52的将位于第1位置P1的可动体51向上方D2推压的力(弹力)，是比正常的探针5的第1针用弹性体34的将第1针32向下方D1推压的力大的。在此，正常的探针5在将朝向上方D2的规定的推压力施加到了第1针32的情况下，第1针32向上方D2移动。

在上述的构成的探针检查机构1中，在可动体51位于第1位置P1的情况下，端子51g与导电体55是所述导通状态。另一方面，在可动体51位于比第1位置P1靠下方D1的第2位置P2(参照图4)的情况下，端子51g与导电体55是非导通状态。

接下来，对使用了探针检查机构1的探针检查机构1的检查方法进行说明。图3是第1实施方式的探针检查机构1被压靠于探针模组41的状态的示例性的图，是一对探针5的双方正常的情况的图。图4是第1实施方式的探针检查机构1被压靠于探针模组41的状态的示例性的图，是一对探针5的一方(探针5A)异常的情况的图。

在探针检查机构1与探针模组41分离的状态(图1)起使探针检查机构1与探针模组41相对地接近，将一对可动体51的上端部51a压靠于一对探针5的第1针32以及第2针33各自的下端部(图3、4)。作为一例，使探针检查机构1朝向探针模组41移动规定的距离。

如上述那样，将位于第1位置P1的可动体51向上方D2推压的力(弹力)大于正常的探针5的第1针用弹性体34的将第1针32向下方D1推压的力。由此，在一对探针5正常的情况下，如图3所示那样，可动体51在位于第1位置P1的位置的状态下，抵抗第1针用弹性体34的力，使第1针32相对于基座40相对地向上方移动。该情况下，端子51g与导电体55的端子55a的下表面接触而与导电体55电连接，端子51g与导电体55成为导通状态。由此，若在一对探针5间施加电压，则在一对探针5间经由探针检查机构1流动电流。由此，通过检测到流动的电流，可知一对探针5的双方正常。

另一方面，一对探针5之中的一方(例如，探针5A)异常，在该探针5A中即使第2针33被可动体用弹性体52的弹力向上方推压也不相对于基座40相对地向上方移动、即第2针33相对于基座40不相对地移动的情况下，可动体51A下述那样动作。该情况下，如图4所示那样，可动体51A被探针5A的第1针用弹性体34的弹力，压下到比以框架53为基准的第1位置P1靠下方D1的第2位置P2。由此，端子51g从导电体55的端子55a的下表面分离而与导电体55电切断，端子51g与导电体55成为非导通状态。由此，即使在一对探针5的间施加电压，也不在一对探针5间经由探针检查机构1流动电流。由此，通过检测到未流动电流，可知一对探针5的至少一方异常。该异常(缺陷)例如可能是由于支撑体31与第1针32之间的位置偏移或晃动等导致第1针32钩挂到支撑体31上等而产生的。

如以上那样，在本实施方式中，探针检查机构1具备基座50、一对可动体51、一对可动体用弹性体52及导电体55。一对可动体51分别以能够从以基座50为基准的第1位置P1向下方D1(第1方向)移动的方式被支撑于基座50。一对可动体51具有能够与探针5接触的上端部51a(端部)、以及与上端部51a电连接的端子51g。一对可动体51在与下方D1交叉的方向(左右方向)上并列。一对可动体用弹性体52针对每个可动体51分别设置，夹设在可动体51与基座50之间，将可动体51向上方D2弹性地推压。导电体55被支撑于基座50，通过与一对可动体51的各端子51g接触而将各端子51g电连接。一对可动体51的各上端部51a能够与不同的探针5接触。端子51g与导电体55的状态为，与可动体51的位置相应地，被切换为该端子51g与该导电体55接触的导通状态、以及该端子51g与该导电体55分离的非导通状态。根据这样的构成，能够同时(在同一工序中)检查一对探针5，因此与对一对探针5分别进行检查的情况相比，容易缩短一对探针5正常与否的检查所需的时间。

此外，在本实施方式中，探针5具有：支撑体31；第1针32(针)，以能够向上方D2移动的方式被支撑于支撑体31，并且从支撑体31向下方D1突出，能够与上端部51a接触；以及第1针用弹性体34(针用弹性体)，将第1针32向下方D1推压。可动体用弹性体52的将位于第1位置P1的可动体51向上方D2推压的力，大于正常的探针5的第1针用弹性体34的将第1针32向下方D1推压的力。根据这样的构成，在探针5正常的情况下，可动体51即使被探针5推压也位于第1位置P1。

＜第2实施方式＞

图5是第2实施方式的充放电检查装置100的示例性的主视图。本实施方式是设置有第1实施方式的探针检查机构1的、充放电检查装置100的例子。

充放电检查装置100能够进行二次电池10的充放电检查以及探针5的检查。充放电检查装置100具有多个检查模组101及托盘102。另外，检查模组101以及托盘102的数量不限于图5所示的例子，也可以是图5所示的数量以外。充放电检查装置100是检查装置的一例。此外，检查装置也可以是充放电检查装置100以外的检查装置。

多个检查模组101相互在上下方向上重叠。检查模组101具有壳体110、移动机构111及探针模组112。

壳体110形成为矩形框状。在壳体110的内部收容有移动机构111以及探针模组112。

移动机构111具有基座板113、工作台114及多个伸缩机构115。基座板113被固定于检查模组101。基座板113也被称作基座。

工作台114与基座板113在上下方向上隔开间隔而设置。具体地说，工作台114位于基座板113的下方。工作台114具有板部114a及两个支撑部114b。支撑部114b具有一对导轨114c。一对导轨114c分别沿着壳体110的进深方向(X方向)延伸，并且，相互在左右方向上隔开间隔而并列。各支撑部114b分别能够支撑一个托盘102。即，一个工作台114能够支撑两个托盘102。此外，一对导轨114c能够将托盘102沿着壳体110的进深方向(X方向)进行引导。

多个伸缩机构115夹设在基座板113与工作台114之间。多个伸缩机构115能够在上下方向上伸缩。多个伸缩机构115通过借助驱动源(未图示)的驱动力而在上下方向上伸缩，从而能够使基座板113与工作台114在上下方向上相对地移动。具体地说，多个伸缩机构115使工作台14在上下方向上移动。伸缩机构115例如能够由液压缸、气压缸、滚珠丝杆等构成。

图6是第2实施方式的探针模组112的示例性的主视图。图7是第2实施方式的探针模组112的示例性的仰视图。如图6、7所示那样，本实施方式的探针模组112相对于第1实施方式的探针模组41而言，探针5的数量不同。本实施方式的探针模组112关于两个为一组的探针5具有多组。这些多组的探针5被支撑于基座40。

图8是第2实施方式的托盘102的示例性的主视图，是托盘102对探针检查机构1进行了收容的状态的图。图9是第2实施方式的托盘102的示例性的俯视图，是托盘102对探针检查机构1进行了收容的状态的图。如图8、9所示那样，托盘102能够收容(能够支撑)多个探针检查机构1。具体地说，如图9所示那样，托盘102具有对探针检查机构1的基座50中的框架53进行支撑的、多个凹状的收容部102a。收容部102a还能够代替支撑探针检查机构1而支撑二次电池10。即，托盘102构成为能够选择性地支撑二次电池10与探针检查机构1。二次电池10和探针检查机构1是托盘102所能够支撑的支撑对象(物体)。

托盘102通过搬运机构116(参照图10)而被搬运至工作台114的支撑部114b(一对导轨114c)。即，搬运机构116将托盘102向移动机构111供给。搬运机构116具有对托盘102进行引导的导轨、将托盘102沿着导轨进行搬运的搬运辊、以及驱动搬运辊的马达等驱动源(均未图示)。另外，也可以代替搬运机构116，而由机器人手臂等来将托盘102向移动机构111供给。搬运机构116或机器人手臂也被称作供给机构。

图10是第2实施方式的充放电检查装置100的示例性的模块。如图10所示那样，充放电检查装置100具备控制装置120。控制装置120是控制充放电检查装置100的整体动作、实现充放电检查装置100的各种功能的计算机。控制装置120具有CPU(Central ProcessingUnit)121、ROM(Read Only Memory)122以及RAM(Random Access Memory)123。CPU121根据ROM122或存储装置124等存储部中存储的各种程序来执行各种运算处理以及控制。CPU121是硬件处理器的一例。ROM122对CPU121执行的各种程序或各种数据进行存储。RAM123能够将CPU121执行的各种程序暂时地进行存储或者将各种数据以可改写的方式进行存储。

控制装置120上连接有存储装置124、移动机构111、搬运机构116、输入装置125、显示装置126及传感器127等。

输入装置125例如由键盘等构成，将与对该输入装置125的输入操作相应的信息向控制装置120输入。显示装置126例如由液晶显示器等构成，通过控制装置120的控制而显示各种信息。

传感器127对供给至移动机构111的工作台114的支撑部114b的、托盘102进行检测，并将检测结果向控制装置120输出。

控制装置120能够进行二次电池10的公知的充放电检查、探针5的检查(探针检查处理)。二次电池10的充放电检查例如为如下处理：在使探针模组112的一对探针5与收容在托盘102中的二次电池10的正极端子23以及负极端子24接触的状态下通过充放电电路进行二次电池10的充放电，基于充放电的结果，检查二次电池10正常与否。

接下来，对控制装置120所进行的探针检查处理进行说明。图11是表示第2实施方式的控制装置120的功能性构成的框图。如图11所示那样，控制装置120作为功能性构成而具有搬运控制部120a以及检测部120b。这些功能性构成作为由控制装置120的CPU121执行ROM122或存储装置124等存储部中存储的程序的结果而被实现。另外，在实施方式中，也可以是，这些功能性构成的一部分或者全部由专用的硬件(电路)实现。

搬运控制部120a控制搬运机构116。搬运控制部120a也被称作供给控制部。

检测部120b基于可动体51的端子51g与导电体55的状态来检测探针5的异常。检测部120b针对每个探针模组41分别进行检测探针5的异常的检测处理即探针检查处理。检测部120b当支撑有探针检查机构1的托盘102被供给至移动机构111时，进行检测与该移动机构111对应的探针模组41的探针5的异常的探针检查处理。

接下来，参照图12对控制装置120执行的探针检查处理进行说明。图12是第2实施方式的控制装置120执行的探针检查处理的示例性的流程图。本例子是在探针检查处理的开始时刻在各工作台114上未配设托盘102的例子。

如图12所示那样，搬运控制部120a向工作台114供给多个探针检查机构1(S1)。具体地说，搬运控制部120a将配设有多个探针检查机构1的两个托盘102向一个工作台114搬运。此外，搬运控制部120a向用于确定工作台14的特定信息未被存储在设置于RAM123的第1区域中的工作台114，供给探针检查机构1。第1区域是用于存储已结束检查的工作台114的区域。在此，工作台114的特定信息例如是编号等。

接下来，检测部120b以使被供给了托盘102的工作台114上升规定量的方式，控制移动机构111(S2)。被供给了托盘102的工作台114上升了规定量之后的位置也被称作检查位置。在探针检查机构1正常的情况下，如上述那样，端子51g与导电体55的端子55a的下表面接触而与导电体55电连接，端子51g与导电体55成为导通状态。另一方面，在探针检查机构1异常的情况下，如上述那样，端子51g不与导电体55的端子55a的下表面接触而与导电体55被电切断，端子51g与导电体55成为非导通状态。

接下来，检测部120b判定被供给至工作台114的多个探针5的异常的有无(S3)。被供给了多个探针5(托盘102)的工作台114基于传感器127的检测结果而确定。检测部120b在工作台114位于检查位置的状态下，通过充放电电路，对一对探针检查机构1间施加电压。该情况下，在探针检查机构1正常、端子51g与导电体55为导通状态的情况下，在一对探针5间经由探针检查机构1流动电流。检测部120b例如利用电流计来检测一对探针5间流动的电流。检测部120b在一对探针5间流动有电流的情况下，判定为一对探针5正常。另一方面，检测部120b在一对探针5间、在规定时间的期间未流动有电流的情况下，判定为一对探针5的至少一方异常。检测部120b将上述处理，针对每一对探针5、即针对每一个探针检查机构1进行。然后，检测部120b将进行过探针检查机构1的检查的、工作台114的特定信息存储在RAM123的第1区域中。S3的处理也被称作接触检查处理。

检测部120b判定为被供给至工作台114的多个探针5的全部都无异常，即被供给至工作台114的多个探针5的全部都正常的情况下(S4：否)，前进至S5。

另一方面，检测部120b判定为被供给至工作台114的多个探针5当中的至少一个中存在异常的情况下(S4：是)，前进至S6。S6中，检测部120b输出被供给至工作台114的多个探针5当中的至少一个中存在异常的意思的异常信息。具体地说，检测部120b将异常信息显示于显示装置126。异常信息包括工作台114的特定信息。

在S5中，检测部120b基于RAM123的第1区域中存储的工作台114的特定信息，来判定是否针对全部工作台114都结束了探针5的检查。检测部120b判定为还未针对全部工作台114都结束探针5的检查、即还存在未进行检查的工作台114的情况下(S5：否)，返回S1。另一方面，检测部120b判定为针对全部工作台114全都结束了探针5的检查的情况下(S5：是)，结束处理。

如以上那样，在本实施方式中，充放电检查装置100具备探针检查机构1、以及基于端子51g与导电体55的状态来检测探针5的异常的检测部120b。根据这样的构成，与第1实施方式同样，能够同时(在同一工序中)检查一对探针5，因此与对一对探针5分别进行检查的情况相比，容易缩短一对探针5正常与否的检查所需的时间。

此外，在本实施方式中，充放电检查装置100具备：探针模组，具有多个探针；以及托盘102(支撑器具)，能够支撑的支撑对象中包括二次电池10和探针检查机构1，使探针模组112与托盘102沿着下方D1相对地移动，使探针5与托盘102所支撑的支撑对象接触。根据这样的构成，能够通过同一充放电检查装置100进行二次电池10的检查和探针5的检查。

此外，在本实施方式中，托盘102能够选择性地支撑多个二次电池10与多个探针检查机构1。根据这样的构成，能够在二次电池10的检查和探针检查机构1的检查中共用托盘102。

此外，在本实施方式中，充放电检查装置100具备：多个探针模组41；针对每个探针模组41分别设置的多个托盘102；以及针对每个探针模组41分别设置的多个移动机构111。检测部120b针对每个探针模组41进行检测探针5的异常的检测处理。根据这样的构成，能够针对每个探针模组41检测探针5的异常。

此外，在本实施方式中，检测部120b当支撑有探针检查机构1的托盘102被供给至移动机构111时，进行检测与该移动机构111对应的探针模组41的探针5的异常的检测处理。根据这样的构成，能够依次检查探针模组41。

以上说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式只是作为例子而提示，并不意图限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式来实施，能够在不脱离发明的要旨的范围内进行各种省略、置换及变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围及要旨内，并且包含在权利要求书中记载的发明及其等同的范围内。