加压用吸附台和具备该加压用吸附台的加压装置

技术领域

本发明涉及加压用吸附台和具备该加压用吸附台的加压装置。

背景技术

吸附台具有承载薄膜等对象物的吸附面，通过从该吸附面吸引对象物，从而将该对象物吸附于吸附面。被吸附于吸附面的对象物以平坦状保持于吸附面。然后，如果停止所述吸引，则解除了对所述对象物的保持，从而该对象物成为仅承载于吸附面的状态、即适合于将该对象物移动到其他位置的状态。

作为这样的吸附台的改善方案，如日本特开2005-205507号公报(以下称为专利文献1)所记载的那样，提出有将被保持的对象物可靠地保持成平坦状的结构。另外，如日本特开平5-344284号公报(以下称为专利文献2)所记载的那样，还提出有适合于拍摄保持于吸附台的对象物的结构。

但是，在所述专利文献1记载的结构中，如该专利文献1的图4和图5所示，在对象物(半导体晶片W)的下方隔着承载部11存在有凸部18a，因此如果从上方对该对象物加压，则该对象物产生由于加压而引起的压力不均。具体而言，在对象物的位于凸部18a的上方的部分，对象物由于加压而受到的压力比其他部分高。如果产生这样的压力不均，则对象物的加压引起加工精度降低。因此，所述专利文献1记载的结构不适用于加压。

另外，在所述专利文献2记载的结构中，如该专利文献2的图3所示，承载对象物(掩膜)的多孔板41配置在平坦的玻璃板42上，因此能够抑制前述的加压引起的压力不均。但是，在所述专利文献2记载的结构中，从安装于多孔板41的侧面的喷嘴44进行吸引，因此在接近该侧面的位置亦即多孔板41的外周部，吸引产生的吸附力比其他部分高，产生吸附不均。在这种情况下，不能将该对象物适当地保持于多孔板41。因此，所述专利文献2记载的结构也不适用于加压。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种加压用吸附台和具备该加压用吸附台的加压装置，能将对象物保持在适合加压的状态。

为了解决上述课题，第1发明的加压用吸附台包括：多孔体，具有能承载对象物的吸附面；弹性构件，直接或间接地设置于所述多孔体；框体，通过所述弹性构件支承多孔体；吸引空间，形成于所述多孔体与框体之间；以及吸引器，能够通过对所述吸引空间进行吸引而将对象物吸附于吸附面，所述多孔体具有位于所述吸附面的相反侧的相反面，所述框体具有承接面，在由于对承载于所述吸附面的对象物朝向所述吸附面进行加压而使弹性构件弹性变形时，所述承接面承接相反面，所述加压用吸附台构成为在所述相反面被承接面承接时，从多孔体朝向被加压的对象物均匀地产生反作用力。

另外，第2发明的加压用吸附台在第1发明的加压用吸附台的基础上，所述多孔体的相反面以及框体的承接所述相反面的承接面均平坦，所述框体具有与吸引空间连通的吸引口，所述吸引口形成于所述承接面以外的位置，所述吸引器与所述吸引口连接。

此外，第3发明的加压用吸附台在第1或第2发明的加压用吸附台的基础上，多孔体具有侧面，所述多孔体的侧面和相反面面向所述吸引空间。

而且，第4发明的加压用吸附台在第1或第2发明的加压用吸附台的基础上，弹性构件是与所述框体呈一体且安装于多孔体的构件。

另外，第5发明的加压用吸附台在第1或第2发明的加压用吸附台的基础上，框体具有安装于所述多孔体的支承构件，所述弹性构件是将所述支承构件与框体的承接面连接的弹簧和/或橡胶。

另外，第6发明的加压用吸附台在第1或第2发明的加压用吸附台的基础上，多孔体含有碳。

另外，第7发明的加压装置包括：第1或第2发明的加压用吸附台；以及加压机，对承载于加压用吸附台的吸附面的对象物朝向所述吸附面加压。

根据所述加压用吸附台，能够将所述对象物保持在适合加压的状态。

附图说明

图1是在中央横切本发明实施方式1的加压用吸附台的剖视立体图。

图2是表示对承载于同一加压用吸附台的对象物进行加压的状态的剖视立体图。

图3是具备同一加压用吸附台的加压装置的剖视图。

图4是表示用同一加压装置加压对象物的状态的剖视图。

图5是在中央横切本发明实施方式2的加压用吸附台的剖视立体图。

图6是表示对承载于同一加压用吸附台的对象物进行加压的状态的剖视立体图。

图7是表示同一加压用吸附台中的弹簧的配置的俯视图。

图8是表示同一加压用吸附台中的弹簧的其他配置的俯视图。

图9是本发明其他实施方式的加压用吸附台的剖视图。

具体实施方式

以下基于附图，对本发明实施方式1和实施方式2的加压用吸附台以及具备该加压用吸附台的加压装置进行说明。本发明实施方式1和实施方式2的加压用吸附台均通过基于负压(吸引)的吸附来保持所加压的对象物。

[实施方式1]

如图1所示，本实施方式1的加压用吸附台1具备：多孔体2，具有能承载对象物O的吸附面20；弹性构件3，直接设置于该多孔体2；以及框体5，通过该弹性构件3支承多孔体2。在所述多孔体2与框体5之间形成有吸引空间4。另外，所述加压用吸附台1具备吸引器6，所述吸引器6能够通过对所述吸引空间4进行吸引而将对象物O吸附于吸附面20。所述多孔体2具有位于所述吸附面20的相反侧的相反面21。如图2所示，所述框体5具有承接面51，在承载于所述吸附面20的对象物O被朝向所述吸附面20加压，从而所述弹性构件3弹性变形时，所述承接面51承接所述相反面21。所述加压用吸附台1构成为：在由承接面51承接所述相反面21时，从多孔体2朝向被加压的对象物O均匀地产生反作用力。

如图1所示，所述多孔体2只要是如下的多孔体则没有特别限制，即：具有所述吸附面20和相反面21，与所述框体5之间形成有吸引空间4，并且如果被所述框体5的承接面51承接，则向对象物O赋予均匀的反作用力。另外，所述多孔体2由具有大量的孔的材料(陶瓷等)构成。在本发明的实施方式1中(后述的实施方式2中也同样如此)，作为优选的方式，示出了所述多孔体2将吸附面20和相反面21分别设为上表面和下表面、且具有侧面23的长方体的例子。该长方体的多孔体2形成为：其侧面23的一部分安装于弹性构件3，其侧面23中的未安装有弹性构件3的部分面向吸引空间4。另外，所述多孔体2形成为：所述相反面21平坦，并且面向吸引空间4。此外，所述多孔体2配置成使所述吸附面20与弹性构件3和框体5齐平。另外，所述平坦的相反面21优选表面粗糙度在12.5以下(Ra≤12.5)。

所述对象物O为粉体材料的情况下的优选的多孔体2的孔径在50μm以下(φ≤50μm)、或者吸附面20的表面粗糙度在12.5以下(Ra≤12.5)。如果是这样的孔径或者表面粗糙度，则即便粉体材料(对象物O)由于所述加压而一边滑动一边扩展，与所述吸附面20接触的粉体材料的面也不会变得粗糙。当然，更优选满足所述孔径和表面粗糙度双方。另外，所述多孔体2优选含有碳，更优选由碳构成。由此，所述多孔体2作为将粉体材料静电成膜时的盒发挥功能。所述对象物O不限于粉体材料的单体，也可以在金属箔等上吸附有粉体材料。在该情况下，吸附面20的表面粗糙度由于加压而通过金属箔转印于粉体材料，因此也优选该表面粗糙度在12.5以下(Ra≤12.5)。

所述弹性构件3只要是如下的弹性构件则没有特别限定，即：直接设置于所述多孔体2，并且由于所述加压而弹性变形直至相反面21被承接面51承接。在本发明的实施方式1中，作为优选的方式，示出了所述弹性构件3是与所述框体5呈一体且安装于多孔体2的构件的例子。在此，所述弹性构件3的弹性系数E在用所述加压产生的力F(参见图2)除以所述相反面21与承接面51之间的间隙d(参见图1)所得的值以下(E≤F/d)。如果是这样的弹性系数E，则所述弹性构件3由于所述加压而弹性变形直至相反面21被承接面51承接。

如图1所示，所述框体5只要是如下的框体则没有特别限定，即：与所述多孔体2之间形成有吸引空间4，并且具有承接所述相反面21的承接面51。在本发明的实施方式1中(后述的实施方式2中也同样如此)，作为优选的方式，示出了所述框体5具有上表面成为平坦的承接面51的底板52、以及从该底板52的外边缘立起的侧板53的例子。在这些侧板53的上部安装有所述弹性构件3。所述吸引空间4是被这些侧板53的内表面和底板52的上表面(承接面51)、以及所述多孔体2包围的空间。这些侧板53中的一张侧板形成有与所述吸引空间4连通的吸引口54。所述吸引器6通过管7或者软管等连接于该吸引口54。另外，所述平坦的承接面51优选表面粗糙度在12.5以下(Ra≤12.5)。

所述吸引器6只要是如下的吸引器则没有特别限定，即：能够通过对所述吸引空间4进行吸引而将对象物O吸附于吸附面20，例如是排气泵。该排气泵具有在所述加压时由所述吸附面20适当地吸附对象物O的程度的性能。

接下来，基于图3和图4对具备所述加压用吸附台1的加压装置100进行说明。

如图3和图4所示，所述加压装置100具备所述加压用吸附台1和加压机10，所述加压机10对承载于所述加压用吸附台1的吸附面20的对象物O朝向该吸附面20进行加压。

所述加压机10例如具备固定式的主体15和相对于该主体15进出的加压销12。在所述加压销12中，对所述对象物O进行加压的面与吸附面20平行，进出的方向与吸附面20正交。

以下，对所述加压用吸附台1和具备该加压用吸附台1的加压装置100的制造方法进行说明。

在所述加压用吸附台1的制造中，如图3所示，以使多孔体2的吸附面20、弹性构件3的上表面和框体5的侧板53的上端面齐平的方式，将多孔体2、弹性构件3和框体5连接。另一方面，将吸引器6通过管7等连接于在框体5的侧板53上形成的吸引口54。由此，制造出所述加压用吸附台1。

在所述加压装置100的制造中，如图4所示，以使从加压机10的主体15突出的加压销12位于对承载于多孔体2的对象物O进行加压的位置的方式，相对于所述加压用吸附台1配置加压机10。由此，制造出所述加压装置100。

以下，对所述加压用吸附台1和具备该加压用吸附台1的加压装置100的使用方法进行说明。

如图3所示，使用者将对象物O承载于加压用吸附台1的吸附面20，另一方面，利用吸引器6对吸引空间4进行吸引。由此，多孔体2被从面向该吸引空间4的侧面23和相反面21大范围地吸引，因此被从吸附面20的各孔均匀地吸引，其结果是，由吸附面20均匀地吸附对象物O。此外，多孔体2被从侧面23和相反面21大范围地吸引，从而能够从吸附面20的各孔充分地吸引，因此由吸附面20充分地吸附对象物O。在此，多孔体2含有碳，因此多孔体2作为将粉体材料静电成膜时的盒发挥功能。因此，利用静电成膜而使粉体材料(对象物O)在承载于多孔体2的吸附面20的金属箔(省略图示)上均匀地成膜(承载)，因而无需另行使成膜后的粉体材料移动到吸附面20，能够防止由于这样的移动而导致粉体材料塌陷。

而且，如图4所示，使用者通过使加压销12从加压机10的主体15突出，从而由加压销12将对象物O朝向吸附面20加压。利用该加压，弹性构件3弹性变形，多孔体2的相反面21被框体5的承接面51承接。此时，从承接面51经由多孔体2向对象物O产生反作用力。在此，由于多孔体2的相反面21和承接面51均平坦(优选表面粗糙度在12.5以下)，因此从承接面51经由多孔体2向对象物O产生的反作用力也均匀。另外，通过使孔径在50μm以下和/或使吸附面20的表面粗糙度在12.5以下，从而在对象物O为粉体材料的情况下，即便粉体材料(对象物O)由于加压而一边在吸附面20上滑动一边扩展，与所述吸附面20接触的粉体材料的面也不会变得粗糙，能维持高精度。

这样，根据所述加压用吸附台1和具备该加压用吸附台1的加压装置100，所述对象物O被吸附面20均匀地吸引，并且从多孔体2朝向所述被加压的对象物O均匀地产生反作用力，因此能够将所述对象物O保持在适合加压的状态。

另外，通过使所述相反面21和承接面51均平坦(优选表面粗糙度在12.5以下)，从而更均匀地维持所述反作用力，因此能够将所述对象物O保持在更适合加压的状态。

此外，通过使所述弹性构件3与框体5呈一体，从而不会从所述弹性构件3与框体5之间产生吸引泄漏，其结果是，所述对象物O被吸附面20更均匀地吸附，因此能够将所述对象物O保持在更适合加压的状态。

此外，通过使孔径在50μm以下和/或使吸附面20的表面粗糙度在12.5以下，从而在对象物O为粉体材料的情况下，与所述吸附面20接触的粉体材料的面不会变得粗糙，因此能够提高利用所述加压而形成的对象物O的精度。

另外，通过使多孔体2含有碳，从而多孔体2作为将粉体材料静电成膜于金属箔时的盒发挥功能，因此无需另行将成膜后的粉体材料(对象物O)移动到吸附面20，其结果是，能够防止由于这样的移动而导致粉体材料塌陷，能够提高利用所述加压而形成的粉体材料(对象物O)的精度。

[实施方式2]

以下基于图5～图8对本发明实施方式2的加压用吸附台1进行说明。在本实施方式2中，着眼于与所述实施方式1不同的结构、即弹性构件3及其附近进行说明，并且针对与所述实施方式1相同的结构标注同一附图标记并省略其说明。另外，关于加压装置100，在所述实施方式1和本实施方式2中，仅该加压装置100所具备的加压用吸附台1不同。因此，以下省略加压装置100的说明。

如图5和图6所示，本实施方式2的加压用吸附台1的框体5具有安装于多孔体2的支承构件8。如图5所示，该支承构件8配置成与多孔体2的吸附面20齐平。所述加压用吸附台1的弹性构件3是将所述支承构件8与框体5的承接面51连接的弹簧30和/或橡胶。即，本实施方式2的加压用吸附台1的弹性构件3(弹簧30和/或橡胶)间接地(通过所述支承构件8)设置于所述多孔体2。另外，在图5～图8和以下的记载中，为了便于说明，将所述弹性构件3作为弹簧30进行说明。

在所述实施方式1中，安装于所述多孔体2的构件(弹性构件3)由于加压而挠曲，但是在本实施方式2中，如图6所示，安装于所述多孔体2的构件(支承构件8)不会由于加压而挠曲，而是追随多孔体2移动。因此，优选的是，在所述框体5的侧板53与支承构件8之间设置有抑制所述吸引泄漏的O型圈等密封构件9。

所述弹簧30在俯视时的配置优选为：直至所述相反面21被承接面51承接为止的期间也使向对象物O产生的反作用力均匀。在图7和图8中示出该优选的配置的例子。作为一个例子，如图7所示，优选俯视时在所述支承构件8的四角配置有弹簧30。作为其他例子，如图8所示，优选俯视时使相邻的弹簧30以等间隔s配置。

这样，根据本实施方式2的加压用吸附台1和具备该加压用吸附台1的加压装置100，安装于所述多孔体2的构件(支承构件8)不会由于加压而挠曲，而是追随多孔体2移动，因此能够将所述对象物O保持在更适合加压的状态。

另外，利用前述的弹簧30(和/或橡胶)的优选配置，直至相反面21被承接面51承接为止的期间，从多孔体2朝向被加压的对象物O的反作用力也均匀，因此能够将对象物O保持在更适合加压的状态。

然而，在所述实施方式1和所述实施方式2中，说明了框体5和多孔体2在俯视时呈矩形，但是不限于此，也可以是圆形等其他形状。

另外，在所述实施方式1和所述实施方式2中，说明了所述相反面21和承接面51均平坦，在所述框体5的侧板53形成有吸引口54，但是不限于此。例如图9所示，也可以在所述框体5的承接面51形成有凸部57，所述相反面21是与承接面51(包含凸部57)一致的凹凸形状。在这种情况下可以构成为：在所述多孔体2中，被所述凸部57承接的部分27(厚度小的部分)的刚性高，被该凸部57以外的承接面51承接的部分28(厚度大的部分)的刚性低，其结果是，当所述多孔体2的相反面21被承接面51承接时，从多孔体2(27、28)朝向被加压的对象物O均匀地产生反作用力。即便被所述凸部57承接的部分27(厚度小的部分)的刚性低，被该凸部57以外的承接面51承接的部分28(厚度大的部分)的刚性高，只要其结果是在所述多孔体2的相反面21被承接面51承接时，从多孔体2(27、28)朝向被加压的对象物O均匀地产生反作用力即可。另外，只要是从多孔体2朝向被加压的对象物O均匀地产生反作用力的结构，则如图9所示，也可以在凸部57等形成有所述吸引口54。

此外，所述实施方式1和所述实施方式2在所有方面都是例示的，而非限制性的。本发明的范围不是由前述的说明来表示，而是由权利要求来表示，并意图包含与权利要求等同的内容以及权利要求的范围内的所有变更。所述实施方式和实施例中说明的结构中的除了在“发明内容”中作为第1发明记载的结构以外，可以是任意的结构，能够适当地删除和变更。