液体热循环清洗装置

技术领域

本发明涉及清洗设备技术领域，尤其涉及液体热循环清洗装置。

背景技术

在现有技术中，清洗设备行业普遍使用在清洗槽进行槽内加热的方式完成硅片的清洗操作。槽内加热一般使用加热板和加热棒放置在清洗槽的槽体内部进行加热，此种方式会占用较多槽内空间，且在清洗清洗槽时死角较多，不易清洗，容易残留药液，若需更换加热板则需将手进入槽体内部，槽内残留的药液容易损伤人体。

随着光伏行业的发展，硅片尺寸由原来的156毫米*156毫米的尺寸，发展到现在常用的182毫米*182毫米及210毫米*210毫米。硅片花篮的尺寸也在随之不断地变大，这对清洗硅片所用清洗槽的容积也提出了越来越高的要求。

考虑到以上情况，现有技术中常会使用带循环管道的清洗槽来清洗晶体硅片，清洗槽中装有液体状的药液，这样既能用流动中的清洗液来清洗晶体硅片以获得更好的清洗效果和提高清洗效率，又能节省药液。

然而，现有的循环管道循环能力差，难以与清洗槽的结构产生配合，这致使清洗槽的循环方式和结构布局难以优化，这致使清洗设备的循环方式趋于单调，整体的结构复杂繁琐。

发明内容

本发明的目的在于提供液体热循环清洗装置，以改进液体循环模块的循环能力，优化清洗槽的循环方式和结构布局。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

液体热循环清洗装置，用于清洗待清洗产品，包括清洗槽、收集槽和液体循环模块；所述清洗槽用于容纳所述待清洗产品和清洗液；所述收集槽用于收集溢出所述清洗槽的所述清洗液；所述液体循环模块包括循环管路、第一排放管路和第二排放管路，所述循环管路的一端连通所述收集槽，另一端用于向所述清洗槽注入所述清洗液，所述循环管路上设有泵浦和在线加热器，所述泵浦用于将所述清洗液从所述收集槽输送至所述清洗槽，所述在线加热器用于加热流经所述在线加热器的所述清洗液，所述第一排放管路选择性排放所述清洗槽内的所述清洗液，所述第二排放管路选择性排放所述在线加热器内的所述清洗液。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述第二排放管路的一端连通于所述循环管路，另一端连通于回收池，且所述第二排放管路与所述循环管路连通的一端低于所述在线加热器。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述第一排放管路的一端连通于所述清洗槽的槽底，另一端连通于回收池。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述收集槽为环形槽，围设于所述清洗槽的外侧。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述泵浦的下游还设有调流阀，所述调流阀用于调节所述泵浦的流量。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述循环管路上还设有流量开关，所述流量开关能监测所述循环管路的流量，所述流量开关用于控制所述在线加热器开启或关闭。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述液体热循环清洗装置还包括槽内清洗模块，所述槽内清洗模块设于所述清洗槽内，所述循环管路背离所述收集槽的一端连通于所述槽内清洗模块。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述槽内清洗模块包括输出管道、末端管帽和注液组件，所述循环管路与所述输出管道、所述注液组件和所述末端管帽依次连接，所述注液组件包括若干首尾相连的注液单元，所述注液单元能排出所述清洗液。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述注液单元通过快拆接头与所述输出管道、所述末端管帽、另一个所述注液单元中的一个相连接。

作为液体热循环清洗装置的优选技术方案，所述注液单元包括循环主管和循环翅管，若干所述循环翅管均与所述循环主管周向固定连通，所述循环主管上间隔均布有若干用于排放所述清洗液的第一排液口，所述循环翅管上间隔均布有若干用于排放所述清洗液的第二排液口。

本发明的有益效果：

该液体热循环清洗装置借助收集槽收集清洗槽溢出的清洗液设计，能够让清洗槽在清洗液蓄满后溢流到收集槽内，实现对清洗液的充分收集。配合循环管路的设置，使收集槽内的清洗液得以通过循环管路再次回到清洗槽内。在线加热器的设置达到了对清洗液的加热目的，保证了对待清洗产品的加热效果，在线加热器在循环管路上的利用能够有效减小对清洗槽的容积需求以及减少对化学品的使用，有助于提高液体热循环清洗装置维护的安全性及效率。第一排放管路和第二排放管路的设置能够分别完成对清洗槽和在线加热器的排液操作，从而保障了后续的维护和清理操作能够顺利完成。循环管路的循环方式能够有效提高清洗槽内清洗液的均匀性，提高待清洗产品清洗操作的良品率，减少待清洗产品的生产损失。以上设计得以循环并加热清洗液，并能高效完成清洗槽和在线加热器的排液动作，改进了液体循环模块的循环能力，优化清洗槽的循环方式和结构布局。

附图说明

图1是本发明实施例提供的液体热循环清洗装置的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的槽内清洗模块的结构示意图。

图中：

100、清洗槽；200、收集槽；

300、槽内清洗模块；310、快拆接头；320、输出管道；330、循环主管；331、连通管；340、末端管帽；350、循环翅管；

400、液体循环模块；410、泵浦；420、在线加热器；430、流量开关；440、调流阀；450、通断阀；460、回收池。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

如图1和图2所示，本实施例提供了液体热循环清洗装置，用于清洗待清洗产品，包括清洗槽100、收集槽200和液体循环模块400；清洗槽100用于容纳待清洗产品和清洗液；收集槽200用于收集溢出清洗槽100的清洗液；液体循环模块400包括循环管路、第一排放管路和第二排放管路，循环管路的一端连通收集槽200，另一端用于向清洗槽100注入清洗液，循环管路上设有泵浦410和在线加热器420，泵浦410用于将清洗液从收集槽200输送至清洗槽100，在线加热器420用于加热流经在线加热器420的清洗液，第一排放管路选择性排放清洗槽100内的清洗液，第二排放管路选择性排放在线加热器420内的清洗液。

该液体热循环清洗装置借助收集槽200收集清洗槽100溢出的清洗液设计，能够让清洗槽100在清洗液蓄满后溢流到收集槽200内，实现对清洗液的充分收集。配合循环管路的设置，使收集槽200内的清洗液得以通过循环管路再次回到清洗槽100内。在线加热器420的设置达到了对清洗液的加热目的，保证了对待清洗产品的加热效果，在线加热器420在循环管路上的利用能够有效减小对清洗槽100的容积需求以及减少对化学品的使用，有助于提高液体热循环清洗装置维护的安全性及效率。第一排放管路和第二排放管路的设置能够分别完成对清洗槽100和在线加热器420的排液操作，从而保障了后续的维护和清理操作能够顺利完成。循环管路的循环方式能够有效提高清洗槽100内清洗液的均匀性，提高待清洗产品清洗操作的良品率，减少待清洗产品的生产损失。以上设计得以循环并加热清洗液，并能高效完成清洗槽100和在线加热器420的排液动作，改进了液体循环模块400的循环能力，优化清洗槽100的循环方式和结构布局。

本实施例中，待清洗产品为硅片，清洗液为清洗硅片所用的药液。

在本实施例中，第二排放管路的一端连通于循环管路，另一端连通于回收池460，且第二排放管路与循环管路连通的一端低于在线加热器420。具体地，第二排放管路上设有通断阀450，通断阀450用于控制第二排放管路的通断；通断阀450为气动的隔膜阀。借助以上设置，得以在清洗或维护循环管路时排尽循环管路中的清洗液，以上操作能够按照操作人员的意愿完成，运行简单且操作方便，有助于快速排净在线加热器420内的清洗液。

示例性地，第一排放管路的一端连通于清洗槽100的槽底，另一端连通于回收池460。具体地，第一排放管路上设有通断阀450，通断阀450用于控制第一排放管路的通断；通断阀450为气动的隔膜阀。借助以上设置，得以在清洗或维护清洗槽100时排尽清洗槽100内的清洗液，以上操作能够按照操作人员的意愿完成，运行简单且操作方便，有助于快速排净清洗槽100内的清洗液。

在本实施例中，收集槽200为环形槽，围设于清洗槽100的外侧。以上设计实现了清洗槽100在内、收集槽200在外的结构布局，优化了液体热循环清洗装置的整体结构，减少了清洗槽100和收集槽200所占用的空间，实现了收集槽200对清洗槽100所溢出清洗液的完全收集，大幅降低了清洗液因意外而溢出的风险，保证了工作环境的整洁程度。具体地，收集槽200远离清洗槽100一侧的槽壁高于清洗槽100的槽壁。

示例性地，泵浦410的下游还设有调流阀440，调流阀440用于调节泵浦410的流量。具体地，调流阀440为手动的隔膜阀。调流阀440的设置实现了对循环管路内的流量调节，进而得以根据清洗槽100的需求控制向清洗槽100内注入清洗液的速度，方便了操作人员对待清洗产品的清洗情况的调控。

在本实施例中，循环管路上还设有流量开关430，流量开关430能监测循环管路的流量，流量开关430用于控制在线加热器420开启或关闭。在本实施例的其他实施方式中，流量开关430用于监测泵浦410是否工作。通过设置流量开关430的方式，能够判断清洗液在循环管路内的流动状态。若循环管路内充满清洗液时，则流量开关430控制在线加热器420进行工作即可完成对清洗液的加热操作，而当循环管路内清洗液不足时，则流量开关430控制在线加热器420停止工作，防止在线加热器420干烧的情况发生，由此大幅降低了在线加热器420损伤的风险，降低了液体热循环清洗装置的维护频率。流量开关430在循环管路上的利用进一步减小对清洗槽100的容积需求以及减少对化学品的使用，有助于提高液体热循环清洗装置维护的安全性及效率。

示例性地，液体热循环清洗装置还包括槽内清洗模块300，槽内清洗模块300设于清洗槽100内，循环管路背离收集槽200的一端连通于槽内清洗模块300。槽内清洗模块300的设计简单可靠，限定了清洗液的注入位置，有助于提升对清洗槽100内待清洗产品的清洗效果和加热效果。

进一步地，槽内清洗模块300包括输出管道320、末端管帽340和注液组件，循环管路与输出管道320、注液组件和末端管帽340依次连接，注液组件包括若干首尾相连的注液单元，注液单元能排出清洗液。输出管道320的设置实现了槽内清洗模块300与循环管路之间的顺利连接，借助末端管帽340能够对注液组件的末端进行锁死，避免清洗液出现规划外的流动情况。而注液组件的设置使得清洗液的注入得以按照规划顺利完成，保障了槽内清洗模块300能够达到预期的注入情况和加热效果，不仅扩展了注液的位置，还使清洗槽100内的清洗液浓度及温度得以被调控。

示例性地，注液单元通过快拆接头310与输出管道320、末端管帽340、另一个注液单元中的一个相连接。快拆接头310的设置提升了槽内清洗模块300的各构件之间的拆装速度，有效地提高槽内清洗模块300各构件的拆装及维护效率，增加了维护的便利性和安全性。同时快拆接头310还能够提升各构件之间的连接稳定性，有助于槽内清洗模块300的各构件之间进行分体设计，从而得以进一步的降低槽内清洗模块300的生产和制造难度。

现有技术中，常见的槽内清洗模块300采用的单循环管或双循环管的设计，满足不了清洗槽100内清洗液的均匀性要求。

在本实施例中，注液单元包括循环主管330和循环翅管350，若干循环翅管350均与循环主管330周向固定连通，循环主管330上间隔均布有若干用于排放清洗液的第一排液口，循环翅管350上间隔均布有若干用于排放清洗液的第二排液口。循环管路将清洗液输送到循环主管330后，通过循环主管330周面上的连通管331与循环翅管350相连通，清洗液从第一排液口和第二排液口排出。循环主管330和循环翅管350的设计有助于扩大注液单元的注液范围，由此得以确定清洗液注入位置，进而得以改善加热的效果。以上设计使清洗槽100内的清洗液浓度及温度更均匀，有助于对清洗槽100进行轻量化改进。具体地，循环翅管350为8字型，一条长边通过两个连通管331与循环主管330相连接。

循环主管330和循环翅管350的分布方式以及第一排液口和第二排液口间隔均布的设计能够进一步地提高清洗槽100内清洗液的均匀性，提高待清洗产品清洗操作的良品率，减少待清洗产品的生产损失。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。