高真空设备压力补偿装置、系统、方法和处理设备

技术领域

本发明涉及高真空设备领域，尤其涉及高真空设备压力补偿装置、系统、方法和处理设备。

背景技术

真空压力计是高真空设备必备部件。真空压力计主要采用电容薄膜真空计，它由电容式薄膜规管和测量仪器两部分组成。

实际应用中，在进行一段时间的工艺制程后，电容式薄膜规管的薄膜会附着反应副产物或蚀刻介质，这会导致真空压力计显示压力失真，即零点漂移，零点漂移既可能往正方向漂移，也可能往负方向漂移。而如果往负方向漂移，用于显示真空压力计压力值的人机交互界面会一直显示零，工作人员难以发现异常，这势必导致制程异常，影响较长时间的产能。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供高真空设备压力补偿装置、系统、方法和处理设备，旨在解决工作人员难以及时发现真空压力计负方向的零点漂移，进而针对真空压力计出现的零点漂移对高真空设备进行相应调节的问题。

第一方面，本申请提供了一种高真空设备压力补偿装置。所述高真空设备压力补偿装置应用于高真空设备，所述高真空设备包括真空压力计和自动压力控制器，所述真空压力计用于检测所述高真空设备的真空腔的压力，所述自动压力控制器用于调节所述真空腔的压力，所述压力补偿装置包括：

检测模块，与所述真空压力计的输出端连接，用于获取所述输出端的输出电压；

处理模块，与所述检测模块连接，用于接收所述输出电压，并根据所述输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的所述测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。

本实施例中，在非反应过程中，真空腔的实际压力值应为零，非反应过程中测量的压力值不为零则代表出现了零点漂移，基于此，根据非反应过程中的测量压力信息可以确定出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，进而根据零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取真空腔的实际压力值，避免了反应过程中真空压力计的人机交互界面显示错误导致工作人员难以获取真空腔测量的实际压力值的问题，并使得工作人员能够及时发现异常，进行处理，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

可选地，所述高真空设备还包括自动压力控制器，所述自动压力控制器用于调节所述真空腔的压力，所述处理模块与所述自动压力控制器连接，所述处理模块根据所述零点漂移点对应的实际压力值和预设的参考曲线对所述自动压力控制器的开度进行补偿，以调节所述真空腔的压力。

本实施例中，通过处理模块可以确定非反应过程中出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，进而在后续反应过程中，在处于零点漂移点时，根据零点漂移点对应的实际压力值和参考曲线对自动压力控制器的开度进行补偿，自动调节自动压力控制器的开度，无需工作人员手动进行调节，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

可选地，所述检测模块包括：电压表和模数转换单元，所述电压表与所述真空压力计的输出端连接，所述电压表与所述模数转换单元连接，所述电压表用于采集所述输出端的电压信号，所述模数转换单元用于对所述电压信号进行模数转换以生成所述输出电压，并将所述输出电压输出给所述处理模块。

本实施例中，通过将电压表与真空压力计的输出端连接，从而使电压表采集真空压力计的输出端的电压信号，而电压表用于测量电压，因此，通过电压表可直接测量出真空压力计的输出端的电压并进行显示，以便于工作人员进行点检。另外，通过模数转换单元对电压信号进行模数转换生成输出电压，从而便于处理模块识别输出电压，并基于输出电压确定测量压力信息。

可选地，所述高真空设备压力补偿装置还包括监控模块，所述监控模块与所述模数转换单元连接，用于接收所述输出电压，根据所述输出电压确定并显示所述测量压力信息，并在所述测量压力信息异常时进行报警。

本实施例中，通过将监控模块与所述模数转换单元连接，从而使监控设备可实时获取输出电压，进而根据所述输出电压确定并显示所述测量压力信息，以便工作人员及时了解高真空设备的工作信息。另外，通过使监控设备在测量压力信息异常时进行报警，从而及时提醒工作人员进行异常处理，从而大大减少制程异常反应时间。

第二方面，本申请还提供了一种高真空设备压力补偿系统。所述高真空设备压力补偿系统包括真空压力计、自动压力控制器以及如上所述的高真空设备压力补偿装置，所述高真空设备压力补偿装置的输入端与所述真空压力计的输出端连接，所述高真空设备压力补偿装置的输出端与所述自动压力控制器连接。

本实施例中，高真空设备实时补偿装置通过获取真空压力计的输出端的输出电压，根据输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，从而输出电压可以确定真空腔的实际压力值，避免了人机交互界面显示错误导致工作人员难以获取真空压力计测量的实际压力值的问题。另外，通过处理模块可以确定出现零点漂移的零点漂移点，进而在后续反应过程中，在处于零点漂移点时，根据零点漂移点对应的测量压力信息和参考曲线对自动压力控制器的开度进行补偿，自动调节自动压力控制器的开度，无需工作人员手动进行调节，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

第三方面，本申请还提供了一种高真空设备压力补偿方法。所述高真空设备压力补偿方法应用于如上所述的高真空设备实时补偿装置，所述方法包括以下步骤：

获取所述真空压力计的输出端的输出电压；

根据所述输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的所述测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点，以及根据所述零点漂移点对应的测量压力信息和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。

本实施例中，在非反应过程中，真空腔的实际压力值应为零，非反应过程中测量的压力值不为零则代表出现了零点漂移，基于此，根据非反应过程中的测量压力信息可以确定出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，进而根据零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取真空腔的实际压力值，避免了反应过程中真空压力计的人机交互界面显示错误导致工作人员难以获取真空腔测量的实际压力值的问题，并使得工作人员能够及时发现异常，进行处理，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

可选地，所述高真空设备还包括自动压力控制器，所述自动压力控制器用于调节所述真空腔的压力，所述高真空设备压力补偿方法还包括：

根据所述零点漂移点对应的实际压力值和预设的参考曲线对所述自动压力控制器的开度进行补偿，以调节所述真空腔的压力；其中，所述参考曲线为所述压力信息与所述自动压力控制器的开度之间的标准关系曲线。

本实施例中，通过非反应过程中出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，可以在后续反应过程中，在处于零点漂移点时，根据零点漂移点对应的实际压力值和参考曲线对自动压力控制器的开度进行补偿，自动调节自动压力控制器的开度，无需工作人员手动进行调节，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

第四方面，本申请还提供了一种处理设备。所述处理设备包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现以下步骤：

获取所述真空压力计的输出端的输出电压；

根据所述输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的所述测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点，以及根据所述零点漂移点对应的测量压力信息和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。

第五方面，本申请还提供了一种计算机可读存储介质。所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：

获取所述真空压力计的输出端的输出电压；

根据所述输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的所述测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点，以及根据所述零点漂移点对应的测量压力信息和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。

第六方面，本申请还提供了一种计算机程序产品。所述计算机程序产品包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：

获取所述真空压力计的输出端的输出电压；

根据所述输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的所述测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点，以及根据所述零点漂移点对应的测量压力信息和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。

附图说明

图1至图4为不同实施例的高真空设备压力补偿装置的结构框图；

图5为一个实施例的高真空设备压力补偿系统的结构框图；

图6为一个实施例的高真空设备压力补偿方法的流程示意图；

图7为一个实施例的处理设备的内部结构图。

附图标记说明：

11-真空压力计，12-自动压力控制器，13-检测模块，131-电压表，132-模数转换单元，14-处理模块，15-监控设备。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。

高真空设备在进行一段时间的工艺制程后，电容式薄膜规管的薄膜会附着反应副产物或蚀刻介质，这会导致真空压力计显示压力失真，即零点漂移，零点漂移既可能往正方向漂移，也可能往负方向漂移。而如果往负方向漂移，用于显示真空压力计压力值的人机交互界面会一直显示零，工作人员难以发现异常，这势必导致制程异常，影响较长时间的产能。

基于此，本申请希望提供一种能够解决上述技术问题的方案，其详细内容将在后续实施例中得以阐述。

在一个实施例中，如图1所示，提供了一种高真空设备压力补偿装置。高真空设备压力补偿装置应用于高真空设备，高真空设备包括真空压力计11和自动压力控制器12，真空压力计11用于检测高真空设备的真空腔的压力，自动压力控制器12用于调节真空腔的压力，压力补偿装置包括：检测模块13和处理模块14。检测模块13与真空压力计11的输出端连接，用于获取输出端的输出电压；处理模块14与检测模块13连接，用于接收输出电压，并根据输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。

其中，处理模块14可以包括可编程逻辑控制器(Programmable LogicController，PLC)，通过PLC调节自动压力控制器12的开度。

具体地，真空压力计11实质是监测电压的变化再转换成压力值，在此基础上，在高真空设备处于非反应过程，即真空腔中无反应发生时，真空压力计11测量压力值应为零值，通过检测模块获取真空压力计11的输出电压，基于判断输出电压确定的测量压力信息是否为零可以确定零点漂移点，各零点漂移点的测量压力信息的值为各零点漂移点对应的漂移值。在高真空设备处于反应过程时，在零点漂移点对测量压力信息补偿对应漂移值，即可得到真空腔的实际压力值，从而降低零点漂移所带来的制程异常。

应用中，处理模块14会对测量压力信息以及对应的时间点进行储存，并基于测量压力信息以及对应的时间点建立数据库，从而获取一个工作周期中出现零点漂移的时间点，即零点漂移点。则在后续工作周期中，则可以在对应的零点漂移点进行实时补偿。另外，可以不断存储测量压力信息以及对应的时间点，并基于最新的存储数据不断更新和优化数据库，从而不断对该数据库进行优化，提高补偿的准确度。

本实施例中，根据非反应过程中的测量压力信息可以确定出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，进而根据零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取真空腔的实际压力值，避免了反应过程中真空压力计11的人机交互界面显示错误导致工作人员难以获取真空腔测量的实际压力值的问题，并使得工作人员能够及时发现异常，进行处理，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

在一个实施例中，如图2所示，所述高真空设备还包括自动压力控制器12，自动压力控制器12用于调节真空腔的压力，处理模块14与自动压力控制器12连接，处理模块14根据零点漂移点对应的实际压力值和预设的参考曲线对自动压力控制器12的开度进行补偿，以调节所述真空腔的压力。

其中，参考曲线为在无零点漂移的情况下得到的压力值-自动压力控制器12开度曲线图，则将零点漂移点对应的测量压力信息和预设的参考曲线进行比较，可得到与零点漂移点对应的测量压力信息相匹配的自动压力控制器12的开度，进而通过补偿自动压力控制器12的开度来调节真空腔的压力。

本实施例中，通过非反应过程中出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，可以在后续反应过程中，在处于零点漂移点时，根据零点漂移点对应的实际压力值和参考曲线对自动压力控制器12的开度进行补偿，自动调节自动压力控制器12的开度，无需工作人员手动进行调节，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

在一个实施例中，如图3所示，检测模块13包括：电压表131和模数转换单元132，电压表131与真空压力计11的输出端连接，电压表131与模数转换单元132连接，电压表131用于采集输出端的电压信号，模数转换单元132用于对电压信号进行模数转换以生成输出电压，并将输出电压输出给处理模块14。

其中，基于经验数据可以确定真空压力计11的输出端的电压范围，根据该电压范围选取相应的电压表131，以便电压表131能采集真空压力计11的输出端的电压信号。至于模数转换单元132可以采用研华ADAM系列的元件，例如ADAM-4017。

可以理解，电压表131是用于测量电压的仪表，电压表131能够显示测量电压。因此，电压表131可以采集对真空压力计11的输出端的电压信号，并能够显示采集的电压信号的大小，则工作人员可以查看电压表131的读数确定真空压力计11的输出端的电压，从而通过电压表131实时监控真空压力计11漂移方向和大小，进而便于工作人员对高真空设备进行点检。

本实施例中，通过将电压表131与真空压力计11的输出端连接，从而使电压表131采集真空压力计11的输出端的电压信号，而电压表131用于测量电压，因此，通过电压表131可直接测量出真空压力计11的输出端的电压并进行显示，以便于工作人员进行点检。另外，通过模数转换单元132对电压信号进行模数转换生成输出电压，从而便于处理模块14识别输出电压，并基于输出电压确定测量压力信息。

在另一个实施例中，检测模块13包括：电压传感器和模数转换单元132，电压传感器与真空压力计11的输出端连接，电压传感器与模数转换单元132连接，电压传感器用于采集输出端的电压信号，模数转换单元132用于对电压信号进行模数转换以生成输出电压，并将输出电压输出给处理模块14。

在一个实施例中，检测模块13还包括：转接器，电压表131通过转接器与真空压力计11的输出端连接。

其中，转接器可以是三头接头，三头接头的两头正常接入真空压力计11的原接头，剩下一头与电压表131连接，从而将真空压力计11输出端的电压信号传输至电压表131。

本实施例中，通过设置转接器，并使电压表131通过转接器与真空压力计11的输出端连接，从而使得电压表131可采集到真空压力计11的输出端的电压信号。

在一个实施例中，如图4所示，该高真空设备压力补偿装置还包括监控模块，监控模块与模数转换单元132连接，用于接收输出电压，根据输出电压确定并显示测量压力信息，并在测量压力信息异常时进行报警。

其中，监控模块可以为带有显示界面的计算机设备，计算机设备根据输出电压确定测量压力信息，然后再显示界面显示出该测量压力信息，以便工作人员查阅。计算机设备可以不断接收各时间点的测量压力信息，因此，为了方便查看，可以以时间点-测量压力信息曲线的方式展示各时间点的压力信息，并方便工作人员查看测量压力信息的变化趋势。另外，通过预设报警值，当测量压力信息或输出电压异常时进行报警声。报警信息包括声音信息、灯光信息、振动信息和文字信息中的至少一种。

本实施例中，通过将监控模块与模数转换单元132连接，从而使监控设备15可实时获取输出电压，进而根据输出电压确定并显示测量压力信息，以便工作人员及时了解高真空设备的工作信息。另外，通过使监控设备15在测量压力信息异常时进行报警，从而及时提醒工作人员进行异常处理，从而大大减少制程异常反应时间。

在一个实施例中，如图5所示，本申请还提供了一种高真空设备压力补偿系统。高真空设备压力补偿系统包括真空压力计11、自动压力控制器12以及如上的高真空设备压力补偿装置，高真空设备压力补偿装置的输入端与真空压力计11的输出端连接，高真空设备压力补偿装置的输出端与自动压力控制器12连接。

本实施例中，高真空设备实时补偿装置通过获取真空压力计11的输出端的输出电压，根据输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，从而输出电压可以确定真空腔的实际压力值，避免了人机交互界面显示错误导致工作人员难以获取真空压力计测量的实际压力值的问题。另外，通过处理模块可以确定出现零点漂移的零点漂移点，进而在后续反应过程中，在处于零点漂移点时，根据零点漂移点对应的测量压力信息和参考曲线对自动压力控制器12的开度进行补偿，自动调节自动压力控制器12的开度，无需工作人员手动进行调节，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

在一个实施例中，如图6所示，本申请还提供了一种高真空设备压力补偿方法。高真空设备压力补偿方法应用于如上的高真空设备实时补偿装置，方法包括以下步骤：

S601：获取真空压力计的输出端的输出电压；

S602：根据输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点，以及根据零点漂移点对应的测量压力信息和对应的漂移量，根据零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取真空腔的实际压力值。

具体地，输出电压为真空压力计11输出端的电压，真空压力计11根据输出电压得到真空腔的压力值。则基于输出电压可以确定测量压力信息，而无需采用真空压力计11确定测量压力信息，避免真空压力计11无法显示负方向漂移后的压力值的问题。从而在真空压力计11显示压力失真时，依然能得到与真空压力计11测量压力值对应的测量压力信息，解决真空压力计11的显示范围不足的问题。

本实施例中，在非反应过程中，真空腔的实际压力值应为零，非反应过程中测量的压力值不为零则代表出现了零点漂移，基于此，根据非反应过程中的测量压力信息可以确定出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，进而根据零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取真空腔的实际压力值，避免了反应过程中真空压力计11的人机交互界面显示错误导致工作人员难以获取真空腔测量的实际压力值的问题，并使得工作人员能够及时发现异常，进行处理，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

在一个实施例中，所述高真空设备还包括自动压力控制器，所述自动压力控制器用于调节所述真空腔的压力，该高真空设备压力补偿方法还包括：

根据零点漂移点对应的实际压力值和预设的参考曲线对自动压力控制器的开度进行补偿，以调节真空腔的压力；其中，参考曲线为压力信息与自动压力控制器的开度之间的标准关系曲线。

具体地，通过将零点漂移点对应的测量压力信息和预设的参考曲线进行比较，可得到与零点漂移点对应的测量压力信息相匹配的自动压力控制器12开度，进而通过补偿自动压力控制器12开度来调节真空腔的压力。

本实施例中，通过非反应过程中出现零点漂移的零点漂移点和对应的漂移量，可以在后续反应过程中，在处于零点漂移点时，根据零点漂移点对应的实际压力值和参考曲线对自动压力控制器12的开度进行补偿，自动调节自动压力控制器12的开度，无需工作人员手动进行调节，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

在一个实施例中，根据零点漂移点对应的测量压力信息和参考曲线对自动压力控制器的开度进行补偿，包括：将零点漂移点对应的测量压力信息与参考曲线图比较，确定对应零点漂移点的开度补偿值；根据开度补偿值对自动压力控制器的开度进行补偿的步骤。

示例性地，基于参考曲线，压力信息为1pa时，自动压力控制器12开度为50°。当真空压力计11零点漂移时，其压力显示为1.5pa，基于真空压力计11测量压力值调节自动压力控制器12开度，自动压力控制器12开度为30°，但此时真空腔的实际压力为1pa，自动压力控制器12开度与实际情况不相对应。因此，根据输出电压确定测量压力信息为1pa时，将测量压力信息与参考曲线比较，确定自动压力控制器12开度应为50°，进而得出对应零点漂移点的开度补偿值为20°，将自动压力控制器12的开度补偿20°，使自动压力控制器12的开度为50°。

本实施例中，零点漂移点对应的测量压力信息与参考曲线图比较，可确定测量压力信息对应的自动压力控制器12的开度，进而可以确定对应零点漂移点的开度补偿值，根据开度补偿值自动对自动压力控制器12的开度进行补偿，从而降低零点漂移所带来的制程异常，保证产能的正常推进。

应该理解的是，虽然如上所述的各实施例所涉及的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，如上所述的各实施例所涉及的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

在一个实施例中，提供了一种处理设备，该处理设备可以是终端，其内部结构图可以如图7所示。该处理设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、通信接口、显示屏和输入装置。其中，该处理设备的处理器用于提供计算和控制能力。该处理设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统和计算机程序。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该处理设备的通信接口用于与外部的终端进行有线或无线方式的通信，无线方式可通过WIFI、移动蜂窝网络、NFC(近场通信)或其他技术实现。该计算机程序被处理器执行时以实现一种高真空设备压力补偿方法。该处理设备的显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，该处理设备的输入装置可以是显示屏上覆盖的触摸层，也可以是处理设备外壳上设置的按键、轨迹球或触控板，还可以是外接的键盘、触控板或鼠标等。

本领域技术人员可以理解，图7中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的处理设备的限定，具体的处理设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。

在一个实施例中，提供了一种处理设备，包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现以下步骤：

获取所述真空压力计的输出端的输出电压；

根据所述输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的所述测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点，以及根据所述零点漂移点对应的测量压力信息和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：

根据所述零点漂移点对应的实际压力值和预设的参考曲线对所述自动压力控制器的开度进行补偿，以调节所述真空腔的压力；其中，所述参考曲线为所述压力信息与所述自动压力控制器的开度之间的标准关系曲线。

在一个实施例中，处理器执行计算机程序时还实现以下步骤：

将零点漂移点对应的测量压力信息与参考曲线图比较，确定对应零点漂移点的开度补偿值；根据开度补偿值对自动压力控制器的开度进行补偿。

在一个实施例中，本申请还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：

获取所述真空压力计的输出端的输出电压；

根据所述输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的所述测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点，以及根据所述零点漂移点对应的测量压力信息和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：

根据所述零点漂移点对应的实际压力值和预设的参考曲线对所述自动压力控制器的开度进行补偿，以调节所述真空腔的压力；其中，所述参考曲线为所述压力信息与所述自动压力控制器的开度之间的标准关系曲线。

在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：

将零点漂移点对应的测量压力信息与参考曲线图比较，确定对应零点漂移点的开度补偿值；根据开度补偿值对自动压力控制器的开度进行补偿。

在一个实施例中，本申请还提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：

获取所述真空压力计的输出端的输出电压；

根据所述输出电压确定测量压力信息，根据非反应过程中的所述测量压力信息确定出现零点漂移的零点漂移点，以及根据所述零点漂移点对应的测量压力信息和对应的漂移量，根据所述零点漂移点和对应的漂移量对反应过程中的测量压力信息进行补偿，以获取所述真空腔的实际压力值。

在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：

根据所述零点漂移点对应的实际压力值和预设的参考曲线对所述自动压力控制器的开度进行补偿，以调节所述真空腔的压力；其中，所述参考曲线为所述压力信息与所述自动压力控制器的开度之间的标准关系曲线。

在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：

将零点漂移点对应的测量压力信息与参考曲线图比较，确定对应零点漂移点的开度补偿值；根据开度补偿值对自动压力控制器的开度进行补偿。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器(Read-OnlyMemory，ROM)、磁带、软盘、闪存、光存储器、高密度嵌入式非易失性存储器、阻变存储器(ReRAM)、磁变存储器(Magnetoresistive Random Access Memory，MRAM)、铁电存储器(Ferroelectric Random Access Memory，FRAM)、相变存储器(Phase Change Memory，PCM)、石墨烯存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)或外部高速缓冲存储器等。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器(Static Random Access Memory，SRAM)或动态随机存取存储器(Dynamic RandomAccess Memory，DRAM)等。本申请所提供的各实施例中所涉及的数据库可包括关系型数据库和非关系型数据库中至少一种。非关系型数据库可包括基于区块链的分布式数据库等，不限于此。本申请所提供的各实施例中所涉及的处理器可为通用处理器、中央处理器、图形处理器、数字信号处理器、可编程逻辑器、基于量子计算的数据处理逻辑器等，不限于此。应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。