光罩盒密封

本申请案主张在2020年4月30日申请的第63/017,825号美国临时申请案的权益及优先权，所述美国申请案出于所有目的以引用方式并入本文中。

技术领域

本公开涉及用于光罩的光罩盒。更具体来说，本公开涉及用于在光罩盒中提供密封的表面。

背景技术

光罩盒用于容纳光罩，例如(举例来说)用于半导体处理中的光刻掩模。光罩盒可用于光罩的存储及运输。光罩盒可包含在处理期间由一或多个工具处置及操纵的金属内盒。内盒包含底板及盖，且底板及盖含有光罩且保护光罩在运输、存储及处理期间免受污染或物理损伤。光罩盒包含(例如)用于与极紫外线(EUV)光刻工具一起使用的EUV盒。光罩盒可包含具有盒门的外盒及含有内盒的盒圆顶。

发明内容

本公开涉及用于光罩的光罩盒。更具体来说，本公开涉及用于在光罩盒中提供密封的表面。

在实施例中，一种盒包含具有盖主体的盖、具有底板主体的底板及一或多个密封表面。所述一或多个密封表面形成于所述底板主体及所述盖主体中的一或多者上以在所述盖与所述底板之间提供密封。所述一或多个密封表面各自包含具有约或大于70的洛氏C硬度的耐磨最外层涂层。

在实施例中，所述耐磨最外层涂层具有约或大于80的洛氏C硬度。

在实施例中，所述一或多个密封表面包含第一密封表面。所述底板包含所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层且所述第一密封表面形成于所述底板主体上。所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层经安置以当所述盖放置于所述底板上时直接接触所述盖。

在实施例中，所述一或多个密封表面包含第二密封表面。所述盖包含所述第二密封表面的所述耐磨最外层涂层且所述第二密封表面形成于所述盖主体上。所述盖的所述耐磨最外层涂层经安置以当所述盖放置于所述底板上时直接接触所述底板的耐磨最外层涂层。

在实施例中，所述盒包含外盒圆顶及外盒门。当所述外盒门附接到所述外盒圆顶时，所述外盒圆顶及所述外盒门经配置以将所述底板及所述盖容纳于所述外盒圆顶内。在实施例中，所述盒是EUV光罩盒。

在实施例中，一种产生光罩盒的方法包含使一或多个密封表面形成于底板的底板主体及盖的盖主体中的至少一者上。形成所述一或多个密封表面以在所述底板与所述盖之间提供密封。所述一或多个密封表面中的每一者包含具有约或大于70的洛氏C硬度的耐磨最外层涂层。

在实施例中，形成所述一或多个密封表面包含使耐磨最外层涂层形成于所述底板主体上。所述耐磨最外层涂层经安置以当所述盖放置于所述底板上时直接接触所述盖。

在实施例中，形成所述一或多个密封表面包含使耐磨最外层涂层形成于所述盖主体上。所述耐磨最外层涂层经安置以当所述盖放置于所述底板上时直接接触所述底板。

附图说明

应考虑结合附图的各种说明性实施例的以下描述更全面地理解本公开。

图1A是光罩盒的内盒的实施例的横截面图。

图1B是根据实施例的当打开时图1A中的内盒的横截面图。

图2是光罩盒中的底板的实施例的俯视图。

图3是光罩盒的盖的实施例的仰视图。

图4是接触光罩盒的底板及盖的密封表面的实施例的横截面图。

图5是光罩盒的实施例的透视图。

尽管本公开可适于各种修改及替代形式，但其细节已在图式中以实例的方式展示且将详细描述。然而，应理解，并非意在使本公开的方面受限于所描述的特定说明性实施例。相反，意在涵盖落入本公开的精神及范围内的所有修改、等效物及替代方案。

具体实施方式

本公开涉及用于光罩的光罩盒，以及用于在光罩盒内提供密封的表面。

图1A及1B展示光罩盒的内盒1的实施例的横截面图。图1A展示关闭时的内盒1。图1B展示打开时的内盒1。内盒1具有含用于容纳光罩5的光罩容置部分3的内部空间。盒1可包含用于将光罩5支撑及限制于内盒1内的光罩容置部分3内的光罩支撑件7A及光罩接触件7B。

内盒1包含底板10及盖40。底板10及盖40经配置以接合在一起。如图1A中所展示，通过将盖40放置于底板10上来围封(例如关闭)内盒1的内部空间。盖40直接接触底板10。特定来说，盖40的底部42接触底板10的顶部12。通过移动盖40远离底板10(例如通过在方向D

底板10及盖40包含经配置以在底板10与盖40之间提供密封的一或多个密封表面。例如，密封经配置以减少或防止外部污染物(例如空气、灰尘等)通过在底板10与盖40之间通过而进入盒1。底板10可包含当盖40放置于底板10上时直接接触盖40的一或多个密封表面。盖40包含经配置以当盖40放置于底板10上时直接接触底板10的一或多个密封表面。例如，底板10可包含经配置以直接接触盖40的第一密封表面(例如密封表面14)，且盖40可包含经配置以直接接触底板10的第二密封表面(例如密封表面44)。

图2是光罩盒的底板10的实施例的俯视图。图2展示底板10的顶部12。盖40经配置以放置于底板10的顶部12上。底板10还可包含光罩支撑件7A。

底板10包含密封表面14及底板主体16。密封表面14形成于底板主体16上。下文更详细地描述密封表面14及底板主体16的配置。图2中的底板10包含单个连续密封表面14。密封表面14沿底板10的整个周长延伸。然而，在实施例中，底板10可包含多个密封表面。例如，可在底板10与盖40之间可发生较大量磨损的位置提供单独密封表面14。在实施例中，底板10的(若干)密封表面14可仅沿底板10的周长的部分延伸。

如图2中所展示，一或多个密封表面14经安置以覆盖小于75％的底板10。在实施例中，一或多个密封表面14经安置以覆盖小于50％的底板10。

图3是内盒的盖40的实施例的仰视图。图3展示盖40的底部42。盖40的底部42经配置以当盖40放置于底板10上时接触底板40的顶部12。盖40还可包含接触内盒内的光罩的上表面的光罩容置部分3及光罩接触件7B。

盖40包含密封表面44及盖主体46。密封表面44形成于盖主体46上。下文更详细地描述密封表面44及盖主体46的配置。图3中的盖40包含单个连续密封表面44。然而，在实施例中，盖40可包含多个密封表面。例如，密封表面44中的每一者仅沿底板40的周长的部分延伸。例如，可在底板10与盖40之间发生较大量磨损的位置提供单独密封表面44。

密封表面44沿盖40的整个周长延伸。因此，当盖40被放置于底板10上时，密封表面44经安置以沿底板10的整个周长延伸。在一些实施例中，底板10的一或多个密封表面14及盖40的一或多个密封表面44可经安置以组合地围绕底板10的整个周长延伸。例如，底板10的(若干)密封表面14可不沿底板10的整个周长延伸，而盖40的(若干)密封表面44沿无(若干)密封表面14的底板10的周长的若干)部分延伸。当组合考虑时，底板10的(若干)密封表面14及盖40的密封表面44可沿底板10的整个周长延伸。

提供(若干)密封表面44以覆盖小于75％的盖40。在实施例中，(若干)密封表面44覆盖小于50％的盖40。形成内盒1的(若干)密封表面14、44以覆盖小于75％的底板10及盖40。在实施例中，形成(若干)密封表面14、44以覆盖小于50％的底板10及盖40。

图4是跨底板10及盖40的密封表面14、44的横截面图。例如，图4中的横截面延伸穿过图2中的虚线A

密封表面14形成于底板主体16上，且密封表面44形成于盖主体46上。底板主体16及盖主体46分别由金属形成。底板主体16及盖主体46可由相同金属形成。在实施例中，底板主体16包含铝，且密封表面14形成于底板主体16的铝上。在实施例中，盖主体46包含铝，且密封表面44形成于盖主体46的铝上。

每一密封表面14、44包含耐磨最外层涂层14A、44A。每一耐磨最外层涂层14A、44A沿其密封表面14、14的整个长度延伸。例如，耐磨最外层涂层14A将沿底板12的整个周长延伸，如上文类似地描述及图2中针对密封表面14所展示。

返回图4，沿底板10的每一密封表面14，耐磨最外层涂层14A提供底板10的外表面18。沿盖40的每一密封表面44，耐磨最外层涂层44A提供盖40的外表面48。因此，当放置于底板10上时，盖40仅经由一或多个耐磨最外表面14A、44A接触底板10。

每一耐磨最外层涂层14A、44A具有约或大于70的洛氏C硬度。根据ASTM E18-20测量及确定洛氏C硬度。在实施例中，耐磨最外层涂层14A、44A具有约或大于80的洛氏C硬度。例如，耐磨涂层14A及/或44A可为(但不限于)氮化钛、氮化铬、类金刚石碳及金刚石-镍复合物。在一个实施例中，耐磨涂层14A及/或44A是金刚石-镍复合物。在另一实施例中，耐磨涂层14A及/或44A为类金刚石碳。在其它实施例中，耐磨涂层14A及/或44A是氮化钛或氮化铬。还考虑并入具有约或大于70的洛氏C硬度的钴或钴复合物的耐磨涂层。

耐磨最外层涂层14A、44A具有小于涂层形成于其上的底板主体16或盖主体46的厚度的厚度T

如图4中所展示，在耐磨最外层涂层14A与底板主体16之间提供内层20。内层20形成于底板主体16上，且耐磨最外层涂层14A位于堆栈的内层20及底板主体16上。例如，内层20可为(但不限于)镍。在实施例中，底板10可不包含内层20。例如，耐磨最外层涂层14A可直接形成于底板主体16的材料上。在另一实施例中，可在耐磨最外层涂层14A与底板主体16之间提供多个内层20。例如，底板主体16可包含(若干)内层20，改进底板10的一或多个性质(例如降低反应性、增加强度等)及/或耐磨最外层涂层14A的一或多个性质(例如增加强度、耐磨最外层涂层的增加附着力等)。在实施例中，盖40可依类似方式包含内层50，如上文所描述。

在图1A到4中，底板10及盖40两者都具有含耐磨最外层涂层14AA、44A的至少一个密封表面14、44。底板10的密封表面14直接接触盖40的密封表面44。更特定来说，底板10的耐磨最外层涂层14A直接接触盖40的耐磨最外层涂层44A。在其它实施例中，密封表面及其耐磨最外层涂层可不接触相对密封表面的耐磨最外层涂层。密封表面14、44及其耐磨最外层涂层14A、44A可直接接触除耐磨最外层涂层的外的材料。例如，密封表面14、44及其耐磨外涂层14A、44A可直接接触相对底板主体16或盖主体46的金属，或所述相对底板主体16或盖主体上的涂层(例如层20、层50等)。

然而，应理解，在一些实施例中，仅底板10及盖40中的一者可具有(若干)密封表面。例如，盖40可具有一或多个密封表面44而底板10不包含任何密封表面，或反之亦然。在此配置中，盖40的耐磨最外层涂层44A将接触底板10的不同材料(例如底板主体16的金属、层20等)。

图5是根据实施例的光罩盒200的透视图。光罩盒200包含内盒210及外盒220。例如，光罩盒200可为(但不限于)用于光刻掩模的极紫外线(“EUV”)处理的光罩盒。

内盒210包含盖212及底板214。盖212及底板214经配置以接合在一起。当接合在一起时，盖212及底板214界定经设定大小及整形以含有供使用的光罩230的内部空间。例如，光罩230可为(但不限于)将在极紫外线(EUV)处理中使用的光刻掩模。在一些实施例中，盖212及底板214中的至少一者包含一或多个密封表面216，如上文针对图1A到3中的底板10及盖40类似地讨论。在一些实施例中，盖212及底板214各自包含至少一个密封表面216(在图5中由于盖212而被隐蔽)。密封表面216中的每一者包含耐磨最外层涂层。耐磨最外层涂层可为(例如)上文对于图4所描述的耐磨最外层涂层14A。盖212可为(例如)上文所描述且在图1A、1B及3中所展示的盖40。底板214可为(例如)上文所描述且在图1A、1B及2中所展示的底板10。

外盒220包含外盒圆顶222及外盒门224。外盒220经配置以在由外盒圆顶222及外盒门224界定的内部空间内容纳内盒210。外盒圆顶222可固定到外盒门224以(例如)在光罩盒200的运输及处置期间围封内部空间且含有内盒210。外盒圆顶222及外盒门224可各自包含或全部由一或多种聚合物材料制成。

图6是产生光罩盒的方法300的框图。例如，方法300可形成如上文及图5中所描述的光罩盒300，或形成上文及图1A到4中所描述的光罩盒的底板10及盖40中的一者或两者。在实施例中，光罩盒是EUV光罩盒。方法300在310处开始。

在310处，提供用于光罩盒的底板(例如底板10、底板214)及盖(盖40、盖212)。在实施例中，310可包含形成底板及盖中的一者或两者。接着，方法300进行到320。

在320处，使一或多个密封表面(例如密封表面14、密封表面44、密封表面216)形成于底板的底板主体(例如底板主体16)及盖的盖主体(例如盖主体46)中的至少一者上。一或多个密封表面经配置以在底板与盖之间提供密封。一或多个密封表面中的每一者包含具有约或大于70的洛氏C硬度的耐磨最外层涂层(例如耐磨最外层涂层14A、耐磨最外层涂层44A)。可如何形成耐磨最外层涂层的非限制性实例包含物理气相沉积、溅镀沉积、化学气相沉积及等离子体增强化学气相沉积。

在实施例中，形成一或多个密封表面320包含使密封表面形成于底板主体上322。使密封表面形成于底板主体上322将包含使耐磨最外层涂层(例如耐磨最外层涂层14A)形成于底板主体上。耐磨最外层涂层安置于底板主体上，以当盖放置于底板上时直接接触盖。

在实施例中，形成一或多个密封表面320包含使至少一个密封表面形成于盖主体324上。使密封表面形成于盖主体上324将包含使耐磨最外层涂层(例如耐磨最外层涂层44A)形成于盖主体上。耐磨最外层涂层安置于盖主体上，以当盖放置于底板上时直接接触底板。

在一些实施例中，形成一或多个密封表面320包含使密封表面形成于底板主体上322及使密封表面形成于盖主体上324。在其它实施例中，形成一或多个密封表面220可仅包含使密封表面形成于底板主体上322或使密封表面形成于盖主体上324中的一者。

在一些情况中，在其形成之后，可抛光耐磨最外层涂层到所要表面粗糙度或平滑度，以增强接触表面积且最小化耐磨涂层中的表面缺陷。

应了解各种实施例中的方法300可被修改以实现可与上文相对于图1A到4中的底板10及盖40所讨论的特征相比较的(若干)特征。例如，实施例中的方法300可形成一或多个密封表面320以沿底板的整个周长延伸。

方面1到12中的任一者可与方面13到20中的任一者组合。

方面1.一种盒，其包括：盖，其包含盖主体；底板，其包含底板主体；及一或多个密封表面，其经形成于所述底板主体及所述盖主体的一或多者上以在所述盖与所述底板之间提供密封，所述一或多个密封表面各自包含具有约或大于70的洛氏C硬度的耐磨最外层涂层。

方面2.根据方面1所述的盒，其中所述耐磨最外层涂层的所述洛氏C硬度是约或大于80。

方面3.根据方面1或2所述的盒，其中所述耐磨最外层涂层是氮化钛、氮化铬及类金刚石碳中的一者。

方面4.根据方面1到3中任一方面所述的盒，其中所述耐磨最外层涂层具有约0.1微米到约100微米的厚度。

方面5.根据方面1到4中任一方面所述的盒，其中所述一或多个密封表面覆盖小于75％的所述底板及小于75％的所述盖。

方面6.根据方面1到4中任一方面所述的盒，其中所述一或多个密封表面包含形成于所述底板主体上的第一密封表面，所述底板包含所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层，当所述盖放置于所述底板上时，所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层经安置以直接接触所述盖。

方面7.根据方面6所述的盒，其中所述底板主体包含铝，所述耐磨最外层涂层形成于所述铝上。

方面8.根据方面6或7所述的盒，其中所述一或多个密封表面包含形成于所述盖主体上的第二密封表面，所述盖包含所述第二密封表面的所述耐磨最外层涂层，当所述盖放置于所述底板上时，所述盖的所述耐磨最外层涂层经安置以直接接触所述底板的所述耐磨最外层涂层。

方面9.根据方面1到8中任一方面所述的盒，其中当所述盖放置于所述底板上时仅经由所述一或多个密封表面的所述一或多个耐磨最外表面接触所述底板。

方面10.根据方面1到9中任一方面所述的盒，其中所述一或多个密封表面的所述一或多个耐磨外表面沿所述底板的整个周长延伸。

方面11.根据方面1到9中任一方面所述的盒，其中所述盒是EUV光罩盒。

方面12.根据方面1到11中任一方面所述的盒，其进一步包括：外盒圆顶及外盒门，所述外盒圆顶及所述外盒门经配置以当所述外盒门附接到所述外盒圆顶时将所述底板及所述盖容纳于所述外盒圆顶内。

方面13.一种产生光罩盒的方法，其包括：使一或多个密封表面形成于底板的底板主体及盖的盖主体中的至少一者上以在所述底板与所述盖之间提供密封，所述一或多个密封表面各自包含具有约或大于70的洛氏C硬度的耐磨最外层涂层。

方面14.根据方面13所述的方法，其中所述耐磨最外层涂层的所述洛氏C硬度是约或大于80。

方面15.根据方面13或14所述的方法，其中所述耐磨最外层涂层是氮化钛、氮化铬及类金刚石碳中的一者。

方面16.根据方面13到15中任一方面所述的方法，其中所述耐磨最外层涂层具有约0.1微米到约100微米的厚度。

方面17.根据方面13到16中任一方面所述的方法，其中使所述一或多个密封表面形成于所述底板主体及所述盖主体中的所述至少一者上包含形成所述一或多个密封表面以覆盖小于75％的所述底板主体的所述至少一者及小于75％的所述盖。

方面18.根据方面13至17中任一方面所述的方法，其中所述一或多个密封表面包含第一密封表面，且形成所述一或多个密封表面包含使所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层形成于所述底板主体上，当盖放置于所述底板上时，所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层经安置以直接接触所述盖。

方面19.根据方面13到18中任一方面所述的方法，其中所述底板主体包含铝，且形成所述一或多个密封表面包含使所述第一密封表面的所述耐磨最外层涂层形成于所述底板的所述铝上。

方面20.根据方面13到19中任一方面所述的方法，其中形成所述一或多个密封表面包含形成所述一或多个密封表面的所述一或多个耐磨外表面以沿所述底板的整个周长延伸。

本申请案所公开的实例在所有方面中被视为说明而非限制。本公开的范围由所附权利要求书而非前述描述指示；且在权利要求书的等效意义及范围内的所有改变均希望含于其中。