废气过滤装置

技术领域

本发明是关于一种废气过滤装置，特别是一种改善气体过滤效能并改善空间使用效率的废气过滤装置。

背景技术

在半导体制程中，常会产生需多废气，该些废气需被收集并过滤杂质，以避免该些杂质散发至外部而造成污染。如图1所示，先前技术的废气过滤装置900在收集废气时，废气会先从入口流道910流入废气过滤装置900，并且沿着多块隔板920形成的弯折的气体流道921流动。设置在弯折的气体流道921上的过滤板930会过滤废气。喷头960会对废气喷洒液体以使废气和过滤板930保持湿润，以提升过滤的效率。处理液槽940、940a会收集喷头960喷出的液体。除雾板950会适当得吸收水气，以避免废气的湿度太高。设置在出口流道980的风机970会抽取废气，以使废气在弯折的气体流道921里，沿着气体流动方向X蜿蜒得流动至出口流道980。如此一来，废气可以流经过滤板930而顺利被过滤。

然而，在先前技术的废气过滤装置900中，当喷头960喷洒液体及废气的流动方向为相反方向时，可以最有效地降低废气的流速以提升过滤效果，因此气体流道921会设计成弯折的形状，才能让废气上下往返流动而改变流向；然而，弯折的气体流道921会降低空间的使用效率，且废气改变流向时往往会产生压力损失的问题。因此，有必要提供一种新的废气过滤装置，其可改善上述问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种改善气体过滤效能并改善空间使用效率的废气过滤装置。

为达成上述的目的，本发明的一种废气过滤装置包括一入口流道、一过滤室、一出口流道和多块废气过滤板。过滤室包括一横向气体流道，并连通入口流道。出口流道连通横向气体流道。多块废气过滤板设于横向气体流道，各个废气过滤板包括一气体流入面和一气体流出面。在任两个相邻的废气过滤板中，其中一废气过滤板的气体流入面朝向另一废气过滤板的气体流出面。

根据本发明的一实施例，废气过滤装置更包括：多块可挠性吸附板，其是以具有可挠性和吸附性的材质所制成；以及多块波浪板，藉由一黏着剂连接该多块可挠性吸附板，该多块可挠性吸附板和该多块波浪板交错排列并互相连接，各个波浪板包括多块弯折片，该多块弯折片两两连接并形成波浪型，该多块弯折片和该多块可挠性吸附板之间形成多个三角形结构。

根据本发明的一实施例，废气过滤装置更包括：多块可挠性吸附板，其是以具有可挠性和吸附性的材质所制成；以及多块波浪板，连接该多块可挠性吸附板，且该多块波浪板两两相连，该多块可挠性吸附板设置于相连的任两个波浪板之间，各个波浪板包括多块弯折片，该多块弯折片两两连接并形成波浪型，该多块弯折片和该多块可挠性吸附板之间形成多个三角形结构。

根据本发明的一实施例，废气过滤装置更包括：多块可挠性吸附板，其是以具有可挠性和吸附性的材质所制成；以及多块波浪板，连接该多块可挠性吸附板，且该多块可挠性吸附板两两相连，该多块波浪板设置于相连的任两个可挠性吸附板之间，各个波浪板包括多块弯折片，该多块弯折片两两连接并形成波浪型，该多块弯折片和该多块可挠性吸附板之间形成多个三角形结构。

根据本发明的一实施例，其中过滤室更包括一顶部壳体和多个底部壳体，横向气体流道位于顶部壳体和多个底部壳体之间。

根据本发明的一实施例，其中多块废气过滤板连接顶部壳体和多个底部壳体。

根据本发明的一实施例，废气过滤装置更包括至少一处理液槽，处理液槽位于横向气体流道下方。

根据本发明的一实施例，废气过滤装置更包括至少一除雾板，除雾板连接顶部壳体和其中一底部壳体并设于横向气体流道。

根据本发明的一实施例，其中除雾板朝向该其中一废气过滤板的气体流出面。

根据本发明的一实施例，废气过滤装置更包括多个喷头，多个喷头设于横向气体流道。

根据本发明的一实施例，其中多个喷头用以喷洒液体至多块废气过滤板。

根据本发明的一实施例，废气过滤装置更包括一风机，风机设于出口流道。

根据本发明的一实施例，其中处理液槽的数量为多个，且其中一底部壳体分隔任二个相邻的处理液槽。

附图说明

图1是先前技术的废气过滤装置的示意图。

图2是本发明的一实施例的废气过滤装置的示意图。

图3A是本发明的一实施例的废气过滤板的示意图。

图3B是本发明的一实施例的废气过滤板的示意图。

图3C是本发明的一实施例的废气过滤板的示意图。

图4是本发明的一实施例的废气过滤板的部分放大图。

图5是本发明的一实施例的可挠性吸附板和波浪板的立体分解图。

先前技术：

废气过滤装置900

入口流道910

隔板920

气体流道921

过滤板930

处理液槽940、940a

除雾板950

喷头960

风机970

出口流道980

气体流动方向X

本发明：

废气过滤装置1

入口流道10

过滤室20

横向气体流道21

顶部壳体22

底部壳体23、23a

废气过滤板30

气体流入面31

气体流出面32

可挠性吸附板33、33a、33b、33c

波浪板34、34a、34b、34c

弯折片341

三角形结构35

黏着剂36

处理液槽40、40a

除雾板50

喷头60

风机70

出口流道80

气体流动方向A、B

具体实施方式

为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，特举较佳具体实施例说明如下。

以下请一并参考图2关于本发明的一实施例的废气过滤装置。图2是本发明的一实施例的废气过滤装置的示意图。图3A、图3B和图3C分别是本发明的不同实施例的废气过滤板的示意图。图4是本发明的一实施例的废气过滤板的部分放大图。图5是本发明的一实施例的可挠性吸附板和波浪板的立体分解图。

如图2所示，在本发明的一实施例中，废气过滤装置1可以改善气体过滤效能并改善空间使用效率。废气过滤装置1包括一入口流道10、一过滤室20、四个废气过滤板30、二个处理液槽40、40a、二个除雾板50、多个喷头60、一风机70和一出口流道80。

在本发明的一实施例中，入口流道10为一长条型的流道，其具有三个入风口以供废气进入，入口流道10的底部连通过滤室20。然而，入风口的数量不以三个为限，其可依照设计需求而增减。

在本发明的一实施例中，过滤室20用以接收从入口流道10流入的废气，并让废气在过滤室20内进行过滤。过滤室20包括一横向气体流道21、一顶部壳体22和多个底部壳体23、23a。顶部壳体22位于过滤室20的顶部。多个底部壳体23、23a位于过滤室20的底部。横向气体流道21为一横向的流道，其位于顶部壳体22和多个底部壳体23、23a之间，废气可以在横向气体流道21沿着气体流动方向B横向流动。由于横向气体流道21没有弯折的回流道结构，因此可以提升空间使用效率，且省去回流道结构的空间可以规划为装设额外的废气过滤板30，以进一步增加过滤效率；另外，横向气体流道21内的废气只沿着气体流动方向B横向流动，不会转弯流动，因此可以减少压力损失。

在本发明的一实施例中，四个废气过滤板30用以过滤横向流动的废气里的杂质，四个废气过滤板30平行得设于横向气体流道21并且连接顶部壳体22和多个底部壳体23、23a。各个废气过滤板30包括一气体流入面31和一气体流出面32。在任两个相邻的废气过滤板30中，其中一废气过滤板30的气体流入面31朝向另一废气过滤板30的气体流出面32，如此一来，当废气沿着气体流动方向B从气体流出面32流出时，可以直接流向相邻的废气过滤板30的气体流入面31以再次过滤，如此一来可以提高过滤效率；另外，四个平行的废气过滤板30的摆放方式可以增加与废气的接触面积并减缓气流速度，故可以更进一步提高过滤效率。然而，废气过滤板30的数量不以四个为限，其可依照设计需求而增减。

在本发明的一实施例中，废气过滤板30方便制作成客制化尺寸和形状。故废气过滤板30更包括多块可挠性吸附板33a、多块波浪板34a和黏着剂36a。

在本发明的一实施例中，可挠性吸附板33a用以吸收、吸附或分解废气里的杂质以进行过滤，可挠性吸附板33a是以具有可挠性和吸附性的材质所制成，例如聚丙烯(PP)纤维布、聚苯硫醚(PPS，例如由Chevron Phillips Chemical公司所生产的

在本发明的一实施例中，参考图4、图5和图3A，黏着剂36是以滚筒涂布在可挠性吸附板33a的两面。各个波浪板34a藉由黏着剂36，可以用堆栈的方式连接各个可挠性吸附板33a。多块可挠性吸附板33a和多块波浪板34a交错排列并互相连接。波浪板34a包括多块弯折片341，多块弯折片341两两连接并形成波浪型。多块弯折片341和连接的可挠性吸附板33a之间形成多个三角形结构35的气道。废气可以在多个三角形结构35的气道流动，并且在废气碰触可挠性吸附板33a时，废气里的杂质会被可挠性吸附板33a吸收、吸附或分解。

在本发明的一实施例中，参考图5和图3B，多块波浪板34b两两相连。多块可挠性吸附板33b设置于相连的任两个波浪板34b之间。当多块可挠性吸附板33b设置在相连的任两个波浪板34b之间时，使用者可以对相连的多块波浪板34b施压，让相连的多块波浪板34b迭合并夹住可挠性吸附板33，如此一来，废气过滤板30便会形成类似图2、图4的废气过滤板30的立方体的结构。

在本发明的一实施例中，参考图5和图3C，多块可挠性吸附板33c两两相连。多块波浪板34c设置于相连的任两个可挠性吸附板33c之间。当多块波浪板34c设置于相连的任两个可挠性吸附板33c之间时，使用者可以对相连的多块可挠性吸附板33c施压，让相连的多块可挠性吸附板33c迭合并夹住波浪板34c，如此一来，废气过滤板30亦会形成类似图2、图4的废气过滤板30的立方体的结构。

在本发明的一实施例中，使用者可以依照自己的需求，让任意数量的可挠性吸附板33和波浪板34以交错排列的方式堆栈和连接，以形成不同厚度的废气过滤板30，例如，可以只将一个可挠性吸附板33和一个波浪板34互相堆栈和连接而形成废气过滤板30。用户也可以裁切堆栈后的多块可挠性吸附板33和多块波浪板34，以让废气过滤板30形成使用者需要的形状。

在本发明的一实施例中，二个处理液槽40、40a用以容纳多个喷头60喷出的处理液。二个处理液槽40、40a位于横向气体流道21下方，其中一底部壳体23a分隔二个相邻的处理液槽40、40a。然而，处理液槽40、40a的数量不以二个为限，其可依照设计需求而增减。

在本发明的一实施例中，二个除雾板50是以吸水材质(例如海绵)制成的板子，其用以去除废气中多余的水分，以控制废气的湿度。各个除雾板50连接顶部壳体22和底部壳体23、23a并设于横向气体流道21。除雾板50朝向其中一废气过滤板30的气体流出面32，以去除被过滤后的废气的水分。然而，除雾板50的数量不以二个为限，其可依照设计需求而增减。

在本发明的一实施例中，多个喷头60设于横向气体流道21，多个喷头60用以水平喷洒雾态液体至多块废气过滤板30，使得废气过滤板30有效保持湿润，以提升过滤废气的效率。多个喷头60喷洒出的多余液体会流入处理液槽40、40a。另外，由于二个处理液槽40、40a已被底部壳体23a分隔，因此多个喷头60可以设计成喷洒不同的液体，例如左半部的喷头60设计成喷洒酸液，右半部的喷头60喷洒碱液，酸液会流入其中一处理液槽40，碱液则会流入另一处理液槽40a，因此可以避免不同的液体互相污染，以增加液体的使用效率，且液体还可供后续回收循环使用，进一步降低维护成本。

在本发明的一实施例中，出口流道80连通横向气体流道21，出口流道80用以让被过滤后的废气流出至外部。风机70设于出口流道80，风机70用以产生吸力以驱动废气从横向气体流道21流向出口流道80。

在废气过滤装置1过滤废气之前，首先，多个喷头60会先喷洒液体至多块废气过滤板30，使得废气过滤板30保持湿润，以提升过滤废气的效率，且多余的液体会流入处理液槽40、40a。接着，当废气过滤装置1开始过滤废气时，废气会从入口流道10的入风口流入，并沿着气体流动方向A从入口流道10的底部流入过滤室20。废气进入过滤室20之后，会在横向气体流道21内沿着气体流动方向B横向流动并穿过二个废气过滤板30，二个废气过滤板30会过滤废气里的杂质；接着，废气会继续沿着气体流动方向B横向流动并穿过除雾板50以除去水分；接着，废气会继续沿着气体流动方向B横向流动并穿过另外二个废气过滤板30和另一个除雾板50，以再次过滤废气里的杂质并除去水分；最后，风机70的吸力会驱动被多次过滤后的废气，从横向气体流道21流向出口流道80再排放至外部。

藉由本发明的废气过滤装置1的设计，可以省去回流道结构的空间并改善空间使用效率，省去回流道结构的空间规划为装设额外的废气过滤板，以进一步增加过滤效率；横向气体流道内的废气只会横向流动，不会转弯流动，因此可以减少压力损失；平行的废气过滤板的摆放方式可以增加与废气的接触面积并减缓气流速度，故可以更进一步提高过滤效率。喷头可以使废气过滤板有效保持湿润，以提升过滤废气的效率，且喷头喷洒出的多余液体会分别流入不同的处理液槽，可以避免不同的液体互相污染，以增加液体的使用效率，且液体还可供后续回收循环使用，进一步降低维护成本。

本发明无论就目的、手段及功效，均显示其迥异于现有技术的特征。惟应注意的是，上述诸多实施例是为了便于说明而举例，本发明所主张的保护范围自应以权利要求所述为准，而非仅限于上述实施例。