一种上下料装置及检测系统

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，特别涉及一种上下料装置及检测系统。

背景技术

在相关技术中，对料片进行检测是半导体加工中不必可少的步骤，料片一般装于料盒之中，需要检测时通过人工或机械手依次将料片由料盒中取出检测完成后再放回，而现有技术中对一个料盒中的所有料片检测完毕后，需更换新的待检测的料盒进行置换，此时机械手及相关的检测装置需停机，造成检测效率降低。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种上下料装置，能够同时存放多个料盒，在取出检测完毕的料盒时不影响检测的进行，提升检测效率。

本发明还提出一种具有上述上下料装置的检测系统。

根据本发明的第一方面实施例的上下料装置，包括：

机架，包括主体和多个沿竖直方向间隔设置的载板，所述机架设置有第一容置腔；

移载机构，容置于所述第一容置腔内，所述移载机构包括移载组件，所述移载组件能够沿竖直方向移动，所述移载组件包括安装件和承载组件，所述承载组件包括连接件和承载件，所述连接件具有设定的长度，所述承载件连接于所述连接件并能沿所述连接件的长度方向移动，所述承载件用于承载料片；

多个料盒组，与所述载板一一对应并安装于所述载板上，所述料盒组包括料盒，所述料盒可拆卸连接于所述载板，所述料盒设置第二容置腔，所述料盒的内壁还设置有多个沿竖直方向间隔分布的承载部，所述承载部用于承载料片；

其中，所述载板能够相对于所述主体移动而将所述料盒组移出或移入所述第一容置腔，所述承载件能够沿所述连接件的长度方向移动至部分突入所述第二容置腔内。

根据本发明实施例的上下料装置，至少具有如下有益效果：多个料盒组连接于沿竖直方向间隔设置的不同载板，载板能够相对于主体移动以将对应的料盒组移出第一容置腔，料盒可拆卸连接于载板，因此在同一载板上的料盒中的料片均被检测完后，载板可以相对于主体移动以将对应的料盒组移出第一容置腔，将未检测的料盒与检测完毕的料盒进行更换，此时移载组件可以对安装于其余载板的料盒中的料片进行取料检测，不会在进行料盒的更换时停止检测，提升了检测效率。

根据本发明的一些实施例，所述移载组件还包括安装件，所述承载组件转动连接于所述安装件，所述承载组件的转动轴线竖直设置，所述料盒组包括多个所述料盒，多个所述料盒绕所述承载组件的转动轴线的周向方向间隔设置且距所述转动轴线的距离相等，所述承载组件能够相对于所述安装件转动至与各所述料盒相对应。

根据本发明的一些实施例，所述承载件设置有承载面，所述承载面设置有吸附孔，所述吸附孔用于连通真空源，所述承载面用于承载料片。

根据本发明的一些实施例，还包括两个第一限位组件，所述第一限位组件连接于所述载板，所述第一限位组件包括第一限位件和第二限位件，沿第一方向，所述第一限位件和所述第二限位件间隔设置，所述第一方向平行于所述承载组件的转动轴线的径向方向，两个所述第一限位组件沿第二方向间隔设置，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述第一限位组件用于固定所述料盒。

根据本发明的一些实施例，所述第一限位件设置有相互垂直的第一限位面和第二限位面，所述第二限位件设置有第三限位面，所述第一限位面与所述第三限位面相互平行且相互之间具有设定距离，两个第一限位件设置的所述第二限位面朝向相反，两个所述第二限位面相互平行且相互之间具有设定距离，所述料盒具有设定的长度和宽度，所述料盒包括主体部和底座，所述主体部连接于所述底座，所述主体部设置有所述承载部，所述底座包括沿所述料盒宽度方向延伸的安装部以及连接两个所述安装部的连接部，所述安装部抵接于所述第一限位面与所述第三限位面之间，两个所述第二限位面抵接于所述安装部相互朝向的表面。

根据本发明的一些实施例，还包括第三限位件，所述第三限位件连接于所述载板，所述第三限位件沿所述承载组件的转动轴线的径向方向间隔设置有多个定位槽，所述连接部容置于所述定位槽并抵接于所述定位槽的槽壁。

根据本发明的一些实施例，所述移载机构包括第一驱动件、第二驱动件和第三驱动件，所述第一驱动件连接于所述机架，所述移载组件连接于所述第一驱动件，所述第一驱动件能够驱动所述移载组件沿竖直方向移动，所述第二驱动件连接于所述安装件，所述承载组件连接于所述第二驱动件，所述第二驱动件能够驱动所述承载组件相对于所述安装件转动，所述第三驱动件安装于所述承载件和连接件之间，所述第三驱动件能够沿所述连接件的长度方向驱动所述承载件移动。

根据本发明的一些实施例，所述料盒具有设定的长度和宽度，所述料盒包括两个沿宽度方向间隔设置的第一主体部和第二主体部，所述第一主体部沿竖直方向设置有多个第一承载部，所述第二主体部沿竖直方向设置有多个第二承载部，各所述第一承载部与各所述第二承载部一一对应，所述第一承载部和所述第二承载部共同用于承载料片，对应的所述第一承载部和所述第二承载部之间限定出开口。

根据本发明的一些实施例，还包括传感器，所述传感器连接于所述移载机构并朝向于所述料盒，所述传感器用于检测所述料盒中料片的位置及数量。

根据本发明的第二方面实施例的检测系统，包括：

检测台，用于承载待检测料片；

相机，设置于所述检测台上方并朝向于所述检测台；

上述第一方面实施例所提供的上下料装置，所述承载件能够移动至对应于所述检测台进行下料，以及将检测后的料片承接。

根据本发明实施例的检测系统，至少具有如下有益效果：检测系统由于使用了上述实施例所提供的上下料装置，而至少具有上下料装置的全部优点，承载件能够将待检测料片移动至检测台由相机进行拍照检测，且能够将检测完毕的料片重新吸附并移回料盒，完成检测功能。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：

图1为本发明实施例上下料装置的示意图；

图2为本发明实施例移载机构的示意图；

图3为本发明实施例料盒与载板的装配示意图；

图4为本发明实施例第一限位件、第三限位件与载板的装配示意图；

图5为本发明实施例料盒的示意图。

附图标记：

机架100、载板110、导轨111、第一容置腔120、主体130；

移载机构200、移载组件210、安装件211、承载组件212、连接件213、承载件214、承载面2141、吸附孔2142；

第一驱动件220、第二驱动件230、第三驱动件240；

料盒组300、料盒310、第二容置腔311、承载部312、第一承载部313、第二承载部314、开口315、主体部316、第一主体部3161、第二主体部3162、安装部317、连接部318、底座319；

第一限位组件400、第一限位件410、第一限位面411、第二限位面412、第二限位件420、第三限位面421、第三限位件430、定位槽431；

传感器500、料片600。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。

本发明的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

参照图1至图5，本发明第一方面实施例提供了一种上下料装置，包括机架100、移载机构200和多个料盒组300。其中，机架100包括主体和多个沿竖直方向间隔设置的载板110，机架100设置有第一容置腔120。移载机构200容置于第一容置腔120内，移载机构200包括移载组件210，移载组件210能够沿竖直方向移动，移载组件210包括安装件211和承载组件212，承载组件212包括连接件213和承载件214，连接件213具有设定的长度，承载件214连接于连接件213并能沿连接件213的长度方向移动，承载件214用于承载料片600。多个料盒组300与载板110一一对应并安装于载板110上，料盒组300包括料盒310，料盒310可拆卸连接于载板110，料盒310设置第二容置腔311，料盒310的内壁还设置有多个沿竖直方向间隔分布的承载部312，承载部312用于承载料片600。

其中，载板110能够相对于主体移动而将料盒组300移出或移入第一容置腔120，承载件214能够沿连接件213的长度方向移动至部分突入第二容置腔311内。具体地，载板110与主体之间设置有导轨111，通过电机驱动导轨111能够使料盒310进出第一容置腔120。

多个料盒组300连接于沿竖直方向间隔设置的不同载板110，载板110能够相对于主体移动以将对应的料盒组300移出第一容置腔120，料盒310可拆卸连接于载板110，因此在同一载板110上的料盒310中的料片600均被检测完后，载板110可以相对于主体移动以将对应的料盒组300移出第一容置腔120，将未检测的料盒310与检测完毕的料盒310进行更换，此时移载组件210可以对安装于其余载板110的料盒310中的料片600进行取料检测，不会在进行料盒310的更换时停止检测，提升了检测效率。

参照图2，在一些实施例中，移载组件210还包括安装件211，承载组件212转动连接于安装件211，承载组件212的转动轴线竖直设置，料盒组300包括多个料盒310，多个料盒310绕承载组件212的转动轴线的周向方向间隔设置且距转动轴线的距离相等，使承载组件212能够通过相对于安装件211的转动而对应于同一料盒组300的不同料盒310，提高的上下料设备的空间利用率，在连接于同一载板110的多个料盒310中的料盘均检测完成并放回料盒310后，才需将该载板110移除第一容置腔120并将上述多个料盒310进行更换，有效提升了料盒310更换效率，减少载板110移动的次数。此外，多个料盒310距承载组件212的转动轴线的距离相等，使承载件214在沿连接件213的长度方向移动时，移动相同距离即可。

参照图2，在一些实施例中，承载件214设置有承载面2141，承载面2141设置有吸附孔2142，吸附孔2142用于连通真空源，承载面2141用于承载料片600。吸附时，承载件214移动至对应于料片600后，沿竖直方向继续移动至与料片600接触，料片600被吸附孔2142吸附而固定于承载面2141，避免在承载件214移动时料片600与承载件214发生相对移动而掉落，随后承载件214相对于连接件213移动而将料片600移出第二容置腔311，实现对待检测料片600的下料。料片600检测完成后装回料盒310的步骤与上述过程相反，即承载件214相对于连接件213移动将料片600移入第二容置腔311并放置于空闲的承载部312之上，随后去除吸附孔2142对料片600的吸力即可。

参照图4，在一些实施例中，上下料装置还包括两个第一限位组件400，第一限位组件400连接于载板110，第一限位组件400包括第一限位件410和第二限位件420，沿第一方向，第一限位件410和第二限位件420间隔设置，第一方向平行于承载组件212的转动轴线的径向方向，两个第一限位组件400沿第二方向间隔设置，第二方向垂直于第一方向，第一限位组件400用于固定料盒310，在第一方向上以及第二方向上固定料盒310的位置，保证在上下料的过程中料盒310的位置确定。此外，料盒310能够由平行于承载组件212的转动轴线方向移动而与载板110分离，便于料盒310的取放。

参照图4和图5，进一步地，第一限位件410设置有相互垂直的第一限位面411和第二限位面412，第二限位件420设置有第三限位面421，第一限位面411与第三限位面421相互平行且相互之间具有设定距离，两个第一限位件410设置的第二限位面412朝向相反，两个第二限位面412相互平行且相互之间具有设定距离，料盒310具有设定的长度和宽度，料盒310包括主体部316和底座319，主体部316连接于底座319，主体部316设置有承载部312，底座319包括沿料盒310宽度方向延伸的安装部317以及连接两个安装部317的连接部318，安装部317抵接于第一限位面411与第三限位面421之间，两个第二限位面412抵接于安装部317相互朝向的表面，实现料盒310在第一方向和第二方向的定位，此外，各个限位件之间还可以设置有多个设定距离不等的限位面，以实现对不同尺寸料盒310的定位。

参照图4，在一些实施例中，上下料装置还包括第三限位件430，第三限位件430连接于载板110，第三限位件430沿承载组件212的转动轴线的径向方向间隔设置有多个定位槽431，连接部318容置于定位槽431并抵接于定位槽431的槽壁。具体地，第三限位件430设置于两个第一限位组件400之间，连接部318卡接于定位槽431而能够加强各个限位件对料盒310的定位能力，保证料盒310在使用时不发生位移，且不同尺寸的料盒310设置的连接部318能够卡接于不同的定位槽431，以实现料盒310的定位。

参照图2，在一些实施例中，移载机构200包括第一驱动件220、第二驱动件230和第三驱动件240，第一驱动件220连接于机架100，移载组件210连接于第一驱动件220，第一驱动件220能够驱动移载组件210沿竖直方向移动，第二驱动件230连接于安装件211，承载组件212连接于第二驱动件230，第二驱动件230能够驱动承载组件212相对于安装件211转动，第三驱动件240安装于承载件214和连接件213之间，第三驱动件240能够沿连接件213的长度方向驱动承载件214移动。其中，第一驱动件220可以选择为电机配合滚珠丝杠，实现对移载组件210在竖直方向上的精确定位，第二驱动件230可以选择为电机，第三驱动件240可以选择为直线电机模组。

参照图2，在一些实施例中，承载机构包括多个承载件214，多个承载件214沿竖直方向间隔设置。具体地，本实施例设置有两个承载件214，使用时一个承载件214承载并吸附待检测的料片600移动至检测台，另一个空的承载件214将承载台上已经检测完成的料片600吸附，实现检测完成的料片600的下料与待检测料片600的上料，随后承载机构将承载有检测完成的承载件214移回料盒310进行下料，同时另一个空闲的承载件214吸附待检测的料片600，往复循环，相较于仅使用一个承载件214在检测台与料盒310之间多次往复，提高了检测效率。

参照图3，在一些实施例中，料盒310具有设定的长度和宽度，料盒310包括两个沿宽度方向间隔设置的第一主体部3161和第第二主体部3162，第一主体部3161沿竖直方向设置有多个第一承载部313，第第二主体部3162沿竖直方向设置有多个第二承载部314，各第一承载部313与各第二承载部314一一对应，第一承载部313和第二承载部314共同用于承载料片600，对应的第一承载部313和第二承载部314之间限定出开口315。进行下料时，承载件214由两个料片600之间的间隙穿入第二容置腔311，随后向上移动至穿过开口315并将料片600顶升吸附，再由第二驱动件230驱动承载件移出第二容置腔311，实现料片600的下料。

参照图2，在一些实施例中，上下料装置还包括传感器500，传感器500连接于移载机构200并朝向于料盒310，传感器500用于检测料盒310中料片600的位置及数量，保证承载件214能够承载吸附到待检测的料片600。具体地，传感器500连接于连接件213，第二驱动件230驱动承载组件212转动而带动传感器500对应于不同的料盒310，承载件214由第三驱动件240控制，在确定相应的承载部312上承载有料片600后，第三驱动件240驱动承载件214移动设置距离即可对应于料片600，随后进行料片600的下料。

本发明第二方面实施例提供了一种检测系统(图上未示出)，包括检测台、相机和上述第一方面实施例所提供的上下料装置。其中，检测台用于承载待检测料片600。相机设置于检测台上方并朝向于检测台。承载件214能够移动至对应于检测台进行下料，以及将检测后的料片600承接。检测系统由于使用了上述实施例所提供的上下料装置，而至少具有上下料装置的全部优点，承载件214能够将待检测料片600移动至检测台由相机进行拍照检测，且能够将检测完毕的料片600重新吸附并移回料盒310，完成检测功能。

上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。