一种半导体石英厚板凹槽检测装置

技术领域

本发明涉及检测装置技术领域，尤其涉及一种半导体石英厚板凹槽检测装置。

背景技术

半导体石英厚板在半导体制造过程中扮演着重要的角色，常用于光刻、化学气相沉积和物理气相沉积等工艺中。半导体石英厚板凹槽检测装置是一种用于检测半导体石英厚板表面凹槽的设备。它主要用于生产和质量控制过程中，确保半导体石英厚板的表面凹槽符合规格要求,对半导体石英厚板生产和质量控制起到了关键的作用。

现有技术中一种超厚板平面度的检测调整设备(公开号：CN217560600U)存在以下弊端：上述专利中通过设有轨道槽和滚柱，有利于检测装置的移动，随时调整检测间距，提高了检测效率，但是该设备只能对厚板的上表面进行检测，而后还需要翻面检测，对于体积较大的厚板来说操作费时费力，并且该设备的检测装置容易受到厚板残留的浮灰等杂质影响，导致检测数据不够精准。

发明内容

本发明的目的是解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体石英厚板凹槽检测装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种半导体石英厚板凹槽检测装置，包括检测台和厚板本体，所述检测台顶部设有传送机构，所述厚板本体通过传送机构进行传送转移位置，所述传送机构一侧设有固定机构，所述传送机构顶部和底部分别设有第一吹气箱和第二吹气箱，所述第一吹气箱和第二吹气箱内分别固定安装有多个检测器，每个所述检测器检测端均朝向厚板本体，所述检测台顶部两侧分别滑动安装有L型支架，两个所述L型支架顶部均固定安装有第一电动伸缩杆，所述第一吹气箱两相对侧分别与两个第一电动伸缩杆的伸缩端固定安装，所述传送机构内部一侧滑动安装有支撑架，所述第二吹气箱固定安装于支撑架顶部，所述支撑架底部和相邻的L型支架之间设有连接杆，所述支撑架通过连接杆与L型支架固定连接。

作为本发明的进一步方案，所述第一吹气箱一侧固定安装有阀门，所述阀门设有进气端和两个出气端，两个所述出气端分别安装有第一气管和第二气管，所述第一气管另一端与第一吹气箱内部接通，所述第二气管另一端与第二吹气箱内部接通。

作为本发明的进一步方案，所述检测台顶部固定安装有鼓风机，所述鼓风机设有进气口和出气口，所述进气口内固定安装有第三气管，所述出气口内固定安装有柔性气管，所述柔性气管另一端与阀门的进气端固定连接。

作为本发明的进一步方案，所述检测台内部呈空心结构，所述检测台顶部中间开设有用于收集浮灰的的敞口，所述敞口内固定安装有集尘漏斗，所述集尘漏斗一侧开设有贯穿其表面的方孔，所述集尘漏斗外侧固定安装有过滤箱，所述过滤箱内设有用于过滤灰尘的滤芯，所述过滤箱靠近集尘漏斗一侧呈敞开结构，且将方孔罩住，所述第三气管一端与过滤箱内部接通。

作为本发明的进一步方案，所述检测台一侧铰接有两个检修门，所述检测台顶部一侧设有控制台，所述控制台内固定安装有直线电机，所述直线电机移动端与相邻的L型支架一侧固定安装。

作为本发明的进一步方案，所述传送机构包括两块传送挡板，两块所述传送挡板固定安装于检测台顶部两侧，两块所述传送挡板之间转动安装有多根传送辊，每根所述传送辊靠近传送挡板一端表面均固定套接有从动齿盘，所述传送挡板一侧还转动安装有主动齿盘，所述主动齿盘和多个从动齿盘之间套接有链条。

作为本发明的进一步方案，所述主动齿盘一侧转动中心固定安装有主轴，所述传送挡板表面开设有通孔，所述检测台内部固定安装有伺服电机，所述主轴一端穿过传送挡板与伺服电机输出端之间套接有皮带。

作为本发明的进一步方案，所述固定机构包括挡条、活动条和推板，所述挡条和活动条相邻一侧分别与厚板本体两相对侧相抵，所述挡条固定安装于传送挡板靠近传送辊一侧，所述活动条一侧中间固定安装有多根推杆，多根所述推杆另一端均穿过传送挡板并与推板一侧固定安装。

作为本发明的进一步方案，所述检测台顶部一侧固定安装有侧板，所述侧板一侧固定安装有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆伸缩端穿过侧板与推板另一侧固定安装，所述推板一侧固定安装有顶杆，所述顶杆一端顶部开设有斜面。

作为本发明的进一步方案，两块所述传送挡板之间滑动安装有呈“凸”字型结构的挡块，所述挡块一侧固定安装有凸块，所述凸块底部滑动安装于顶杆的斜面表面。

本发明的有益效果为：

1、通过设置第一吹气箱和第二吹气箱分别位于传送机构上方和下方，通过第一吹气箱底部和第二吹气箱顶部开设的气孔，可对厚板本体上下表面吹气进行清洁，避免厚板本体表面附着浮灰，影响检测的精准性，设置多个检测装置安装于第一吹气箱和第二吹气箱内，可在直线电机驱动下，带动检测装置同时对厚板本体上下表面进行全面检测，避免翻转厚板本体，提高了设备的检测效率；

2、通过设置传送机构结合固定机构用于支撑和传送厚板本体，并在检测时将厚板本体进行固定，提高了设备在检测过程的稳定性，设置传送机构，还可以在检测后将不合格的厚板本体向前传送，便于工作人员对厚板本体进行打磨处理，避免搬运，提高了设备使用的便捷性。

附图说明

图1为本发明提出的一种半导体石英厚板凹槽检测装置的结构示意图；

图2为本发明提出的一种半导体石英厚板凹槽检测装置的侧视结构示意图；

图3为图2中A部分的放大结构示意图；

图4为本发明提出的一种半导体石英厚板凹槽检测装置的俯视结构示意图；

图5为图4中B部分的放大结构示意图；

图6为本发明提出的一种半导体石英厚板凹槽检测装置的仰视结构示意图；

图7为本发明提出的一种半导体石英厚板凹槽检测装置的传送机构结构示意图；

图8为本发明提出的一种半导体石英厚板凹槽检测装置的检测装置安装结构示意图；

图9为本发明提出的一种半导体石英厚板凹槽检测装置的挡块结构示意图。

图中：1、检测台；2、检修门；3、固定机构；4、传送机构；5、鼓风机；6、柔性气管；7、阀门；8、第一吹气箱；9、检测器；10、厚板本体；11、第一气管；12、第二气管；13、第三气管；14、第二吹气箱；15、集尘漏斗；16、侧板；17、L型支架；18、第一电动伸缩杆；19、直线电机；20、支撑架；21、过滤箱；401、传送挡板；402、传送辊；403、主动齿盘；404、从动齿盘；405、链条；406、主轴；407、伺服电机；301、挡条；302、活动条；303、推板；304、推杆；305、第二电动伸缩杆；306、挡块；307、凸块；308、顶杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

参照附图1-附图9，一种半导体石英厚板凹槽检测装置，包括检测台1和厚板本体10，检测台1顶部设有传送机构4，厚板本体10通过传送机构4进行传送转移位置，传送机构4一侧设有固定机构3，传送机构4顶部和底部分别设有第一吹气箱8和第二吹气箱14，第一吹气箱8和第二吹气箱14内分别固定安装有多个检测器9，每个检测器9检测端均朝向厚板本体10，检测台1顶部两侧分别滑动安装有L型支架17，两个L型支架17顶部均固定安装有第一电动伸缩杆18，第一吹气箱8两相对侧分别与两个第一电动伸缩杆18的伸缩端固定安装，传送机构4内部一侧滑动安装有支撑架20，第二吹气箱14固定安装于支撑架20顶部，支撑架20底部和相邻的L型支架17之间设有连接杆，支撑架20通过连接杆与L型支架17固定连接，第一吹气箱8一侧固定安装有阀门7，阀门7设有进气端和两个出气端，两个出气端分别安装有第一气管11和第二气管12，第一气管11另一端与第一吹气箱8内部接通，第二气管12另一端与第二吹气箱14内部接通，检测台1顶部固定安装有鼓风机5，鼓风机5设有进气口和出气口，进气口内固定安装有第三气管13，出气口内固定安装有柔性气管6，柔性气管6另一端与阀门7的进气端固定连接，检测台1内部呈空心结构，检测台1顶部中间开设有用于收集浮灰的的敞口，敞口内固定安装有集尘漏斗15，集尘漏斗15一侧开设有贯穿其表面的方孔，集尘漏斗15外侧固定安装有过滤箱21，过滤箱21内设有用于过滤灰尘的滤芯，过滤箱21靠近集尘漏斗15一侧呈敞开结构，且将方孔罩住，第三气管13一端与过滤箱21内部接通，检测台1一侧铰接有两个检修门2，检测台1顶部一侧设有控制台，控制台内固定安装有直线电机19，直线电机19移动端与相邻的L型支架17一侧固定安装。

在使用时，通过启动鼓风机5，气流从集尘漏斗15顶部敞口进入，经过过滤箱21和第三气管13进入鼓风机5，然后通过柔性气管6进入阀门7，然后通过第一气管11和第二气管12分别进入第一吹气箱8和第二吹气箱14，通过第一吹气箱8底部和第二吹气箱14顶部开设的气孔，对厚板本体10的上下表面同时进行吹气除尘，灰尘进入击集尘漏斗15内，提高了检测器9的检测精度，设置多个检测器9分别安装于第一吹气箱8和第二吹气箱14内，可对厚板本体10上下表面进行同步检测，避免费时费力的翻转厚板本体10，启动直线电机19，带动L型支架17在检测台1顶部滑动，通过两个L型支架17的滑动可带动第一吹气箱8、第二吹气箱14和多个检测器9从厚板本体10一端移动至另一端，可对厚板本体10进行全面的检测，提高了设备的检测效率。

本实施例中，传送机构4包括两块传送挡板401，两块传送挡板401固定安装于检测台1顶部两侧，两块传送挡板401之间转动安装有多根传送辊402，每根传送辊402靠近传送挡板401一端表面均固定套接有从动齿盘404，传送挡板401一侧还转动安装有主动齿盘403，主动齿盘403和多个从动齿盘404之间套接有链条405，主动齿盘403一侧转动中心固定安装有主轴406，传送挡板401表面开设有通孔，检测台1内部固定安装有伺服电机407，主轴406一端穿过传送挡板401与伺服电机407输出端之间套接有皮带。

在使用时，传送机构4可将厚板本体10传送至检测位置，避免人工移动厚板本体10，提高了设备的检测的便捷性，当检测厚板本体10表面不合格时，可将厚板本体10传送至更远端，将厚板本体10悬空支撑在传送机构4一端，离开检测区域，便于人们对厚板本体10进行打磨精修，避免搬运厚板本体10，提高了设备使用的实用性。

本实施例中，固定机构3包括挡条301、活动条302和推板303，挡条301和活动条302相邻一侧分别与厚板本体10两相对侧相抵，挡条301固定安装于传送挡板401靠近传送辊402一侧，活动条302一侧中间固定安装有多根推杆304，多根推杆304另一端均穿过传送挡板401并与推板303一侧固定安装，检测台1顶部一侧固定安装有侧板16，侧板16一侧固定安装有第二电动伸缩杆305，第二电动伸缩杆305伸缩端穿过侧板16与推板303另一侧固定安装，推板303一侧固定安装有顶杆308，顶杆308一端顶部开设有斜面，两块传送挡板401之间滑动安装有呈“凸”字型结构的挡块306，挡块306一侧固定安装有凸块307，凸块307底部滑动安装于顶杆308的斜面表面。

在使用时，先将厚板本体10从传送机构4一端放置于传送辊402表面，然后将整个厚板本体10完全传送至检测台1顶部，同时启动第二电动伸缩杆305带动推板401通过多根推杆304推动活动条302抵紧厚板本体10一侧，同时推板401带动顶杆308推动凸块307向顶杆308顶部滑动，进而带动挡块306向上滑动，直至厚板本体10传送方向前端与挡块306相抵，此时活动条302推动厚板本体10另一侧与挡条301抵紧，起到对厚板本体10的固定作用，提高了设备检测时的稳定性。

从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：在使用时，先将厚板本体10通过行吊吊放于传送机构4的传送辊402表面，启动伺服电机407带动主动齿盘403转动，进而通过链条405带动所有从动齿盘404转动，然后带动所有传送辊402转动，将厚板本体10完全传送至检测台1顶部，同时启动第二电动伸缩杆305带动推板303向传送机构4移动，进而通过推杆304和顶杆308分别推动活动条302逐渐推动厚板本体10夹紧厚板本体10，顶杆308带动挡块306向上滑动，直至厚板本体10一侧与挡块306相抵，停止传送，同时活动条302将厚板本体10夹紧；

启动直线电机19带动L型支架17在检测台1顶部滑动，使得两个L型支架17配合支撑架20带动第一吹气箱8和第二吹气箱14以及多个检测器9从厚板本体10一端移动至另一端，同时对所经过的厚板本体10上下表面进行吹气清理和检测，提高了对厚板本体10的检测效率；

清理掉的灰尘通过集尘漏斗15进行收集，集尘漏斗15底部铰接有密封门，便于清理收集的灰尘，当检测结束后，若厚板本体10检测不合格时，可通过第二电动伸缩杆305收缩解除对厚板本体10的限位，启动伺服电机407，通过传送机构4带动厚板本体10继续向前传送，直至离开检测区域，便于对厚板本体10进行转移，或者直接对其进行打磨精修，提高了设备使用的便捷性。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。