一种远紫外负滤光片及其制备方法

技术领域

本发明涉及光学成像技术领域，特别涉及一种远紫外负滤光片及其制备方法。

背景技术

极光是由地球高轨道的高能带电粒子与大气层中的N

如美国Polar的UVI载荷采用三个反射镜和一个透射式滤光片来分别对LBH-S和LBH-L带成像。反射镜是由35层LaF

发明内容

本发明要解决现有技术中LBH-S和LBH-L反射镜带外反射率高的技术问题，提供一种远紫外负滤光片及其制备方法，该滤光片是采用等效层折射率匹配方法分别设计了LBH-S和LBH-L的反射镜，采用热蒸发方法制备了该反射镜，制备的反射镜具有较好的带外反射率抑制能力。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案具体如下：

一种远紫外负滤光片，包括设置在基底上的LBH-S膜系、和设置在基底上的LBH-L膜系；

所述LBH-S膜系为交替结构的非周期的LaF

所述LBH-L膜系为交替结构的非周期的LaF

在上述技术方案中，所述LBH-S膜系在工作波长的平均反射率为42.87％，在121.6nm、130.4nm、135.6nm、161-180nm、181-220nm的反射率分别为6.09％、2.12％、5.52％、4.65％、1.69％。

在上述技术方案中，所述LBH-L膜系在工作波长的平均反射率为48.53％，在121.6nm、130.4nm、135.6nm、140-159nm、181-220nm的反射率分别为4.81％、2.71％、1.60％、6.74％、4.35％。

在上述技术方案中，所述基底为微晶玻璃。

一种远紫外负滤光片的制备方法，包括以下步骤：

步骤1、基片前处理

使用高纯水超声波清洗基片，并离心甩干；

步骤2、制备LBH-S膜系

将LaF

步骤3、制备LBH-L膜系

将LaF

在上述技术方案中，步骤2和3中，镀膜过程中的沉积速率为0.2nm/s。

在上述技术方案中，步骤2和3中，镀膜过程中本底真空度为2.5*10

在上述技术方案中，步骤2和3中，基底加热温度为170℃。

本发明具有以下有益效果：

本发明的远紫外负滤光片，该滤光片是采用等效层折射率匹配方法分别设计了LBH-S和LBH-L的反射镜，其中LBH-S和LBH-L膜系均为结构相同的非周期LaF

实验结果表明，本发明的远紫外负滤光片，LBH-S膜系在工作波长的平均反射率为42.87％，在121.6nm、130.4nm、135.6nm、161-180nm、181-220nm的反射率分别为6.09％、2.12％、5.52％、4.65％、1.69％；LBH-L膜系在工作波长的平均反射率为48.53％，在121.6nm、130.4nm、135.6nm、140-159nm、181-220nm的反射率分别为4.81％、2.71％、1.60％、6.74％、4.35％。说明本发明制备的远紫外负滤光片具有较好的带外反射率抑制能力。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1为单层LaF

图2为LaF

图3为(0.5LH0.5L)and(0.5HL0.5H)等效层的理论计算等效折射率示意图。

图4为LBH-S和LBH-L反射镜的理论设计反射率曲线示意图，其中(a)为LBH-S，(b)为LBH-L。

图5为LBH-S膜系或LBH-L膜系的结构示意图。

图6为LBH-S和LBH-L反射镜的试验反射率曲线示意图，其中(a)为LBH-S，(b)为LBH-L。

具体实施方式

本发明的发明思想为：我国风云三号D星的广角极光成像仪探测LBH带，采用了22层的非周期LaF

本发明采用等效层匹配基底和入射介质的方法设计了非周期LaF

膜系设计：反射镜采用微晶玻璃做为基底，薄膜材料选用LaF

膜系制备：基片采用微晶玻璃，镀膜前用高纯水超声波清洗，并离心甩干。将LaF

表1膜系的要求、设计和试验结果。

下面通过实施例对本发明进行清楚、完整的描述。

实施例

本发明的远紫外负滤光片，包括设置在基底上的LBH-S膜系、和设置在基底上的LBH-L膜系；所述LBH-S膜系为交替结构的非周期的LaF

本发明的远紫外负滤光片的制备方法，包括以下步骤：

步骤1、基片前处理

基片采用微晶玻璃，镀膜前用高纯水超声波清洗，并离心甩干；

步骤2、制备LBH-S膜系

将LaF

步骤3、制备LBH-L膜系

将LaF

图6给出了本实施例制备的LBH-S和LBH-L反射镜的反射率曲线。LBH-S膜系在工作波长的平均反射率为42.87％，在121.6nm、130.4nm、135.6nm、161-180nm、181-220nm的反射率分别为6.09％、2.12％、5.52％、4.65％、1.69％；LBH-L膜系在工作波长的平均反射率为48.53％，在121.6nm、130.4nm、135.6nm、140-159nm、181-220nm的反射率分别为4.81％、2.71％、1.60％、6.74％、4.35％。由此可知本发明制备的远紫外负滤光片具有较好的带外反射率抑制能力。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。