一种防止真空管道回压系统

技术领域

本发明涉及半导体以及面板领域。

背景技术

在半导体工艺中，因为泵突然停止就会导致气体逆流而污染腔体，回流的气体造成腔体污染后必定会增加晶圆不良率的发生，就会产生不良品，并且回流的气体污染腔体后，还需要对腔体进行清洁保养；这样势必会影响生产计划，降低产能；所以能有效的解决气体回流，那么将能大大的提高生产效率；同时还能降低晶圆的不良率。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种防止真空管道回压系统能有效的防止气体回流，避免污染腔体的效果。

技术方案：为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种防止真空管道回压系统，包括内环结构；所述内环结构两侧对称设置有法兰盖结构，形成气腔室；所述气腔室通过法兰盖结构中部开设有通孔与外界连通；一侧的所述法兰盖结构内壁固设有截断结构；所述截断结构的拦截端运动堵住另一侧法兰盖结构的通孔；便于气体流通，同时气体回流时通过截断结构堵住进气端，防止回流。

进一步的，所述内环结构侧壁环向开设有若干螺纹孔；所述法兰盖结构边缘开设有若干安装孔；所述安装孔与螺纹孔中轴对应设置，且螺栓贯穿安装孔和螺纹孔固定于内环结构和法兰盖结构；用于稳固形成气腔室，便于气体流通。

进一步的，所述内环结构两侧壁环向开设有环槽；所述法兰盖结构侧壁封闭于环槽；所述环槽内填设有密封圈；保证气腔室的密封性。

进一步的，所述通孔内对应设置有接通管道；所述接通管道一端延伸入气腔室内；所述接通管道另一端向外延伸，所述接通管道延伸端侧壁固设有连接环；所述连接环靠近通孔一侧外环边缘处开设有反扣环槽；所述连接环环向侧壁开设有嵌合槽；所述嵌合槽内对应嵌设有密封圈；便于连接，同时防止脱出

所述接通管道远离通孔一侧内壁边缘开设有对接槽；方便对接。

进一步的，所述接通管道伸入气腔室的一端侧壁渐进减小；所述截断结构包括固定柱和导向结构；所述导向结构通过固定柱固定于法兰盖结构内壁上，且所述固定柱环绕间距接通管道设置；所述导向结构悬空于气腔室中部，且所述导向结构侧壁与气腔室内壁之间间距设置；所述接通管道与间距形成聚散气道；便于气体正向流通。

进一步的，设置所述固定柱的一端为聚散气道出气端；所述聚散气道另一端为进气端；所述导向结构包括环板结构和挡板结构；所述环板结构中部开设有中空孔；所述挡板结构封堵于中空孔；所述中空孔靠近聚散气道一侧边缘为喇叭口；所述固定柱一端固定于环板结构侧壁，且环绕喇叭口设置；方便回流的气体冲击推动挡板结构。

进一步的，所述中空孔靠近聚散气道一侧边缘开设有放置槽；所述挡板结构对应嵌设于放置槽内；保证挡板结构在气体正向流通时不会堵住进气端；

所述放置槽槽口边缘环向固设有若干导向柱；所述导向柱另一端延伸至接通管道减小端处，且间隙设置；所述接通管道减小端与导向柱之间形成滑动通道；。

进一步的，气流通过聚散气道进气端进入气腔室内时，气流挤压挡板结构嵌入放置槽内，形成正向扩散流向；气流通过聚散气道出气端进入气腔室内时，气流推挤挡板结构运动，所述挡板结构移动堵塞接通管道减小端，形成逆向直通流向；避免回流的气体回灌到腔体内，避免腔体受到污染。

有益效果：本发明能防止气体逆流回泵的腔体内，避免腔体受到污染；包括但不限于以下有益效果：

1)这样采用拼接固定的方式将内环结构和法兰盖结构拼接在一起形成密封的气腔室，这样能满足气体流通的压强；同时在气腔室内设置截断结构，防止气体逆流回泵的腔体内，避免腔体受到污染；

2)这样在滑动通道内设置挡板结构；当气体回流时，气体先是冲击在挡板结构上；然后推挤挡板结构堵住接通管道，这样的话就能避免气体回流到腔体内。

附图说明

附图1为系统结构图；

附图2为系统结构截面图；

附图3为稳定结构图；

附图4为接通管道结构图；

附图5为聚散气道原理图；

附图6为导向结构图；

附图7为滑动通道结构图；

附图8为逆向直通流向原理图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。

如附图1-8：一种防止真空管道回压系统，包括内环结构1；所述内环结构两侧对称设置有法兰盖结构2，形成气腔室3；所述气腔室3通过法兰盖结构2中部开设有通孔21与外界连通；一侧的所述法兰盖结构2内壁固设有截断结构4；所述截断结构4的拦截端运动堵住另一侧法兰盖结构2的通孔21。多个法兰盖结构2夹设住内环结构1；而内环结构1中部与法兰盖结构2的通孔21形成一个通气道；这样气体就能通过气腔室3流通；而当气体逆向流通时，截断结构4的拦截端在逆流的作用下运动，然后堵住通孔21位置，这样就能防止气体逆流。

所述内环结构1侧壁环向开设有若干螺纹孔11；所述法兰盖结构2边缘开设有若干安装孔22；所述安装孔22与螺纹孔11中轴对应设置，且螺栓贯穿安装孔22和螺纹孔11固定于内环结构1和法兰盖结构2；所述内环结构1两侧壁环向开设有环槽13；所述法兰盖结构2侧壁封闭于环槽13；所述环槽13内填设有密封圈131。这样通过螺栓稳固后的内环结构1和法兰盖结构2能够保证气腔室3内的密封性，然后再通过密封圈131进行密封处理，从而加强气腔室3内的密封性，这样就保证正常的泵对气体的推动，保证正压，便于气体正向流动。

所述通孔21内对应设置有接通管道211；所述接通管道211一端延伸入气腔室3内；所述接通管道211另一端向外延伸，所述接通管道211延伸端侧壁固设有连接环212，用于与腔体和管道接通；所述连接环212靠近通孔21一侧外环边缘处开设有反扣环槽213，与腔体和管道接通时，能防止气腔室3内压强差而脱节；所述连接环212环向侧壁开设有嵌合槽214；所述嵌合槽214内对应嵌设有密封圈131，保证密封性良好；所述接通管道211远离通孔21一侧内壁边缘开设有对接槽215，便于对接安装连接。

所述接通管道211伸入气腔室3的一端侧壁渐进减小；所述截断结构4包括固定柱41和导向结构42；所述导向结构42通过固定柱41固定于法兰盖结构4内壁上，且所述固定柱41环绕间距接通管道211设置；所述导向结构42悬空于气腔室3中部，且所述导向结构42侧壁与气腔室3内壁之间间距32设置；所述接通管道211与间距32形成聚散气道321。设置所述固定柱41的一端为聚散气道321出气端；所述聚散气道321另一端为进气端；这样气体从聚散气道321进气端进入气腔室3后，由于原先进入时的方向受到截断结构4的阻挡，因此气体从截断结构4周围的间距32通过，然后再汇聚从聚散气道321出气端流出。

所述导向结构42包括环板结构421和挡板结构43；所述环板结构421中部开设有中空孔422；所述挡板结构43封堵于中空孔422；所述中空孔422靠近聚散气道321一侧边缘为喇叭口423；所述固定柱41一端固定于环板结构421侧壁，且环绕喇叭口423设置。当气流正向流通时，气体挤压挡板结构43牵涉在放置槽421内，这样的话气体就能从环板结构421边缘通过。

所述中空孔422靠近聚散气道321一侧边缘开设有放置槽424；所述挡板结构43对应嵌设于放置槽424内；所述放置槽424槽口边缘环向固设有若干导向柱44；所述导向柱44另一端延伸至接通管道211减小端处，且间隙设置；所述接通管道211减小端与导向柱44之间形成滑动通道441。当聚散气道321进气端处的泵停止时，聚散气道321出气端处的气压大于聚散气道321进气端处的气压，产生压强差；这样气体就会逆向流动，逆向流动的气体通过喇叭口423和中空孔422冲击到挡板结构43上；挡板结构43就会顺着滑动通道441运动，然后堵住接通管道211的减小端；这样防止气体逆流回泵的腔体内，避免造成腔体的污染，减少的对腔体的清洁维护，能有效提高产能；同时也减少的产品不良率的发生。

气流通过聚散气道321进气端进入气腔室3内时，气流挤压挡板结构43嵌入放置槽424内，形成正向扩散流向45；气体从聚散气道321进气端进入，并且进入的气体挤压挡板结构43嵌在放置槽内，然后通过间距32之后从聚散气道321出气端流出，这样的流通方式为正向扩散流向45；气流通过聚散气道321出气端进入气腔室3内时，气流推挤挡板结构43运动，所述挡板结构43移动堵塞接通管道211减小端，形成逆向直通流向46；当泵停止时，聚散气道321进气端处没有通入气体，而聚散气道321出气端处还有气体，这样在气腔室3内的两侧就形成压强差，因此聚散气道321出气端处的气体逆向流动，逆流的气体通过喇叭口和中空孔冲击在挡板结构43上，而挡板结构43在滑动通道225内运动至接通管道减小端处，这样的流通方式为逆向直通流向46；而挡板结构43运动堵住了接通管道211，那么气体就不能流回泵的腔体内；这样就避免了腔体受到污染。

以上是本发明的优选实施方案，对于本技术领域普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提的情况下，还可以做出若干改进和润色，这些改进和润色同样视为本发明的保护范围。