电解槽体结构

技术领域

本发明有关于一种电解槽体结构，特别是有关于一种具有倾斜的底壁的电解槽体结构。

背景技术

近年来，由于半导体制程的快速发展，对于晶圆表面平坦化的要求也越来越高，因此化学机械研磨的制程也越显重要。化学机械研磨的制程会产生大量的废水，这些废水可以用化学混凝处理，但是化学混凝处理后的水，由于加入的酸碱药剂及混凝剂使其导电度偏高，使处理后的水不易回收使用。

因此现今发展出电解混凝法，其主要是使化学机械研磨的废水通过电解槽，其阳极释放出二价铁离子，废水中的二氧化硅(Silica)颗粒或硅酸盐与二价铁离子进行电性中和后附着在阳极板上形成阳极污泥。另外，二价铁离子在溶液中会与水分子及水中溶氧形成水合的胶状悬浮物，而吸附二氧化硅颗粒，并沉降至电解槽底部形成槽底污泥。如此分离出二氧化硅的净化后的水可供再循环利用。

请参阅图1及图2，其表示现有技术的电解混凝法的电解槽T，在槽体T1中复数个阳极电极板A与复数个阴极电极板C交替设置，各阳极电极板A(通电阳极板)利用电夹头A1以及导线A2并联至电源B的高电位，阴极电极板C(通电阴极板)利用电夹头C1以及导线C2并联至电源B的低电位，废水由进水口T2进入电解槽T，在电解槽T经由上述机制将废水中的二氧化硅或硅酸盐分离出来，净化后的水由出水口T3流出电解槽T，可供回收利用。

但是现有技术的电解槽T，由于其每个阳极电极板A与阴极电极板C均连接至电源B，在电解混凝法的制程中，每个阳极电极板A与阴极电极板C都需要消耗电力，因此整体需要消耗大量的电力。另外，由于每个阳极电极板A与每个阴极电极板C需要分别安装在槽体T1的插槽中，清洁及更换电极板相当繁复不便。在电解混凝法的制程中会产生一些具有腐蚀性的气体，这些腐蚀性气体会腐蚀电夹头A1及电夹头C1等电气元件。现有技术的电解槽T对二氧化硅或硅酸盐的去除效果不佳。另外，如图3所示，在拆卸电极板时，容易碰触到相邻的极性相反的电极板而造成短路。

另外，含二氧化硅的污泥会沉积在电解槽T的槽体T1的底部。就现有技术的电解槽T的结构而言，如果要清除槽体T1底部的污泥，就必须先拆卸阳极电极板A与阴极电极板C，才能清除槽体T1底部的污泥，甚为不便。或者，废水由进水口T2进入电解槽T，在电解槽T经由上述机制将废水中的二氧化硅或硅酸盐分离出来，接着由出水口T3流出到外接的大型沉淀槽以收集污泥，然而通常沉淀槽所占的面积相当大，因此造成厂房建置的成本相当高。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种电解槽体结构，其用于解决现有技术的电解污泥沉积在电解槽底部，清除电解污泥的程序繁复的问题。

本发明所采用的技术手段如下所述。

为了解决上述问题，本发明的电解槽体结构的一实施例用于容纳一电解模组以及电解液，其包括：一第一侧壁、一第二侧壁、一第三侧壁、一第四侧壁以及一底壁。第一侧壁设有一进流口，该电解液经由该进流口进入该电解槽体结构。第二侧壁相对于该第一侧壁设置且设有一出流口，该电解液由该出流口流出该电解槽体结构。第三侧壁连接该第一侧壁以及该第二侧壁。第四侧壁相对于该第三侧壁并连接该第一侧壁以及该第二侧壁。底壁连接该第一侧壁、该第二侧壁、该第三侧壁以及该第四侧壁，且其形成倾斜状，该底壁的最低处设有一污泥排出口。第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁、第四侧壁及底壁围成一容置空间，电解模组设置于容置空间，电解模组包含间隔设置的一第一电极板与一第二电极板。

在另一实施例中，底壁与第一侧壁的连接处的高度大于底壁与第二侧壁的连接处的高度。

在另一实施例中，底壁自其与第一侧壁的连接处线性倾斜下降至其与第二侧壁的连接处。

在另一实施例中，底壁分别自其与第三侧壁的连接处以及其与第四侧壁的连接处朝底壁的中央处倾斜。

在另一实施例中，底壁分别自其与第三侧壁的连接处以及其与第四侧壁的连接处线性倾斜下降至底壁的中央处。

在另一实施例中，污泥排出口为一圆孔。

在另一实施例中，污泥排出口为一槽孔。

在另一实施例中，槽孔沿底壁的纵长方向自底壁与第一侧壁的连接处延伸至底壁与第二侧壁的连接处。

在另一实施例中，槽孔沿底壁的宽度方向自底壁与第三侧壁的连接处延伸至底壁与第四侧壁的连接处。

在另一实施例中，更包括一多孔隔板，其对应于底壁设置且与底壁形成一间距，多孔隔板具有复数个透孔。

在另一实施例中，更包括一进流口遮板，其邻近于进流口，且其顶缘高于进流口。

在另一实施例中，更包括一出流口遮板，其邻近于出流口，且其顶缘高于出流口。

在另一实施例中，第三侧壁设有复数个第一定位槽，第四侧壁设有复数个第二定位槽，第二定位槽对应于第一定位槽。

本发明的电解槽体结构借由底壁设置呈倾斜状，可以使电解污泥借由重力沿着底壁流动至最低处，然后由污泥排出口排出。因此使用本发明的电解槽体结构的电解槽在清除电解污泥时，不需要拆卸电解用的阴阳极板即可实施，相当简便。

附图说明

第图1为现有技术的电解混凝法的电解槽的立体图。

第图2为图1的电解槽的剖视图。

第图3为图1的电解槽在拆卸电极板时由于电极板接触而产生短路的示意图。

第图4为废水净化装置的一实施例的立体图。

第图5为图4废水净化装置的剖视图。

第图6A为感应件组的一实施例的立体图。

第图6B为感应件组的另一实施例的立体图。

第图6C为感应件组的又另一实施例的结构示意图。

第图7感应件组的绝缘连结件的一实施例的立体图。

第图8为两个感应件组排列的结构示意图。

第图9A为多个感应件排列形成感应单元的立体图。

第图9B为第图9A的感应单元的结构示意图。

第图10为两个感应电极单元排列的结构示意图。

第图11A为废水净化装置的另一实施例的剖视图。

第图11B为废水净化装置的又另一实施例的俯视图。

第图12为感应件组的又另一实施例的结构示意图。

第图13为包括第图12的感应件组的又另一实施例的结构示意图。

第图14A为本发明的电解槽体结构的一实施例的立体图。

第图14B为第图14A的本发明的电解槽体结构的剖视图。

第图14C为本发明的电解槽体结构的另一实施例的立体图。

第图15A为本发明的电解槽体结构的又另一实施例的立体图。

第图15B为第图15A的本发明的电解槽体结构的剖视图。

第图15C为本发明的电解槽体结构的又另一实施例的立体图。

第图16A为本发明的电解槽体结构的又另一实施例的立体图。

第图16B为本发明的电解槽体结构的又另一实施例的立体图。

第图17为本发明的电解槽体结构的又另一实施例的剖视图。

第图18为第图17的本发明的电解槽体结构的多孔隔板的立体图。

图号说明：

10：电解槽体结构

20：第一电极板

30：第二电极板

40：感应件组

11：进流口

12：出流口

13：定位槽

14：污泥排出口

15：进流口遮板

16：出流口遮板

17：多孔隔板

41：第一感应件

42：第二感应件

43：绝缘连结件

46：绝缘框

100：废水净化装置

101：第一侧壁

102：第二侧壁

103：第三侧壁

104：第四侧壁

105：底壁

131：第一定位槽

132：第二定位槽

171：透孔

431：头部

432：连接杆

433：固定件

50：感应单元

50’：感应单元

A：阳极电极板

A1：电夹头

A2：导线

B：电源

C：阴极电极板

C1：电夹头

C2：导线

D1：第一间距

D2：第二间距

D3：第三间距

H：遮蔽宽度

T：电解槽

T1：槽体

T2：进水口

T3：出水口。

具体实施方式

本发明的电解槽体结构是运用于废水净化装置，图4至图13为说明电解槽体结构如何运用于废水净化装置的实施例，图14A至图18为本发明的电解槽体结构的多个较佳实施例。

首先请参阅图4及图5，其表示本发明的电解槽体结构运用于废水净化装置的一实施例。废水净化装置100包括一电解槽体结构10及一电解模组。电解模组包含间隔设置的一第一电极板20与一第二电极板30，以及至少一感应件组40。电解槽体结构10包括一进流口11以及一出流口12。第一电极板20定位于电解槽体结构10中且连接至电源B的正极而具有一正电位。第二电极板30定位于电解槽体结构10中，且连接至电源B的负极而具有一负电位。感应件组40定位于电解槽体结构10中且设置于第一电极板20与第二电极板30之间，其包括一第一感应件41以及一第二感应件42，第一感应件41位于第一电极板20与第二感应件42之间，第二感应件42位于第二电极板30与第一感应件41之间。第一感应件41经第一电极板20感应后具有负电位，第二感应件42经第二电极板30感应后具有正电位，废水由进流口11进入电解槽体结构10并流经第一电极板20，第二电极板30、第一感应件41以及二感应件42后被净化，净化后的水由该出流口12流出。以下分别说明各元件的结构以及组装后的连结关系。特别说明的是，第一感应件41以及二感应件42都不与电源B电性连接，或者不与其他的电源电性连接。因此，第一感应件41以及二感应件42都是不通电感应极板。

电解槽体结构10包括进流口11以及出流口12，进流口11形成于电解槽体结构10的一侧壁，出流口12形成于电解槽体结构10的另一侧壁，为了配合水流的流向以及其他侧壁设置放置电极板的结构，进流口11与出流口12可设置于电解槽体结构10相对的两侧壁，另外，由于电解污泥会沉积于电解槽体结构10的底部，因此进流口11可形成于靠近电解槽体结构10的底部，而出流口12可形成于靠近电解槽体结构10的顶部。废水自进流口11进入电解槽体结构10后，净化后的水由出流口12流出。在电解槽体结构10的另外两相对侧壁的内壁面形成多对狭缝型的定位槽13，可供插置第一电极板20、第二电极板30以及感应件组40中的第一感应件41以及第二感应件42。

第一电极板20以及第二电极板30借由插置于电解槽体结构10内侧壁的狭缝型的凹槽13而定位在电解槽体结构10中。第一电极板20以及第二电极板30分别连接至电源的高电位与低电位，例如连接至电池的正极与负极，借此第一电极板20成为阳极，第二电极板30成为阴极。为了进行电解混凝制程，使阳极释放二价铁离子，第一电极板20可用铁质材料制成，作为阴极的第二电极板30可以使用活性较小的金属制作，例如钛金属。

感应件组40的第一感应件41以及第二感应件42彼此平行排列，第一感应件41由于被第一电极板20感应而相对于第一电极板20形成低电位，第二感应件42由于被第二电极板30感应而相对于第二电极板30形成高电位。另外，在多个感应件组40的实施例中，该等感应件组40设置在第一电极板20以及第二电极板30之间且彼此平行排列，一个感应件组40的第一感应件41与相邻的另一个感应件组40的第二感应件42相邻设置，同样地，一个感应件组40的第二感应件42与相邻的另一个感应件组40的第一感应件41相邻设置，使得多个第一感应件41与多个第二感应件42彼此呈交错排列。而且多个第一感应件41被感应形成低电位，多个第二感应件42被感应形成高电位。

另外，为了使第一电极板20及第二电极板30的电场可以完全覆盖感应件组40，第一感应件41的底缘以及第二感应件42的底缘与电解槽体结构10的底部的距离大于或等于第一电极板20的底缘及第二电极板20的底缘与电解槽体结构10的底部的距离。第一感应件41的顶缘以及第二感应件42的顶缘低于第一电极板20的顶缘及第二电极板30的顶缘。

如图6A所示，第一感应件41以及第二感应件42可以是金属板件。同样地为了使进行电解混凝制程，使阳极释放二价铁离子，作为阳极的第二感应件42可用铁质材料制成，而作为阴极的第一感应件41可以使用活性较小的金属制作，例如钛金属。另外，为了保持第一感应件41与第二感应件42之间的距离，可使用绝缘连结件43连接第一感应件41与第二感应件42，借此使第一感应件41与第二感应件42之间形成一第一间距D1并形成模组化。第一间距D1的对应于电解槽体结构10的两相邻的定位槽13之间的距离，而绝缘连结件43可以确保第一感应件41与第二感应件42之间保持在第一间距D1，在拆卸或安装时不会因为误操作而发生接触造成短路，且因为模组化而增加拆卸或安装时的便利性。

绝缘连结件43可以是用绝缘材质制成的螺栓，例如塑胶螺栓或陶瓷螺栓，如图7所示，绝缘连结件43具有头部431、连接杆432以及固定件433，连接杆432具有螺纹，固定件433可螺合于连接杆432。在第一感应件41与第二感应件42上形成通孔，绝缘连结件43穿设于第一感应件41，且头部431抵接于第一感应件41的一表面，固定件433螺合于连接杆432并抵接于第一感应件41的另一表面，借此夹持定位第一感应件41。接着将另一固定件433螺合于连接杆432，再使连接杆432穿过第二感应件42的通孔且使第二感应件42抵接于上述另一固定件433，最后将又另一固定件433螺合于连接杆432且抵接于第二感应件42，借此夹持定位第二感应件42。借由旋转移动固定件433，可以调整第一感应件41与第二感应件42之间的第一间距D1。另一方面，借由调整固定件433在连接杆432上的不同的位置，可以改变第一感应件41与第二感应件42之间的第一间距D1，借此可配合具有不同距离的定位槽13的不同电解槽的电解槽体结构10。

如图6B所示，第一感应件41以及第二感应件42可以是金属网件，而其余的结构则与图6A的结构相同。

如图6C所示，绝缘连结件43可以是具有多个凹槽的绝缘套，绝缘连结件43可套设于第一感应件41以及第二感应件42的顶缘及底缘，使第一感应件41以及第二感应件42的顶缘及底缘插置于凹槽中。借由两相邻凹槽之间形成一既定的第一间距D1，使第一感应件41与第二感应件42之间形成上述既定的第一间距D1。由于绝缘连结件43的绝缘套已经形成具有第一间距D1的凹槽，因此第一感应件41以及第二感应件42直接插置于绝缘连结件43即可，可以达到便利组装的效果。当然，绝缘连结件43也可套设于第一感应件41以及第二感应件42的左侧缘及右侧缘。

如图8所示，两个感应件组40之间可以使用或不使用绝缘连结件43连接，借由适当地形成电解槽体结构10的定位槽13的距离，可以使两个感应件组40之间形成第二间距D2。第二间距D2可以是等于第一间距D1，或第二间距D2可以是不等于第一间距D1。

另外，如图9A及图9B所示，可以将多个交替排列的第一感应件41以及第二感应件42以绝缘连结件43串接而形成一感应单元50。因此，电解模组可以是包含复数个第一电极板20、复数个第二电极板30以及感应单元50。图9A及图9B所示的感应单元50包括二个第一感应件41以及三个第二感应件42。如图10所示，本实施例的废水处理装置100包括两个感应单元50及50’。感应单元50包括二个第一感应件41以及三个第二感应件42，感应单元50’包括三个第一感应件41以及二个第二感应件42。由于第一电极板20与第二电极板30成对地感应第一感应件41以及第二感应件42，因此第一感应件41以及第二感应件42必须成对地设置，即第一感应件41以及第二感应件42的总数量必须是偶数个。同样地，适当地形成定位槽13的距离，可以使感应单元50及感应单元50’之间形成一第三间距D3。第三间距D3可以是等于第一间距D1，或第三间距D3可以是不等于第一间距D1。特别说明的是，多个(复数个)交替排列的第一感应件41以及第二感应件42以绝缘连结件43串接而形成感应单元50的实施例中，至少部份的第一感应件41以及至少部份的二感应件42都不与电源B电性连接，或者不与其他的电源电性连接；最佳地，全部的第一感应件41以及全部的二感应件42都不与电源B电性连接，或者不与其他的电源电性连接。特别说明的是，所述多个交替排列的第一感应件41以及第二感应件42，是指在多个第一感应件41以及多个第二感应件42之中，任意二个相邻的第一感应件41之间设置有一个第二感应件42，以及任意二个相邻的第二感应件42之间设置有一个第一感应件41。

请参阅图11A，其为废水净化装置的另一实施例的剖视图。本实施例与图4所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图4所示的实施例的差异在于第一感应件41以及第二感应件42于电解槽体结构10的高度方向上彼此错位排列，即第一感应件41以及第二感应件42于电解槽体结构10的高度方向上呈高低交错的方式排列，借此使废水得以在上下方向上流动而最后从出流口12流出。

请参阅图11B，其为废水净化装置的另一实施例的剖视图。本实施例与图4所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图4所示的实施例的差异在于第一感应件41以及第二感应件42于电解槽体结构10的宽度方向上彼此错位排列，即第一感应件41以及第二感应件42于电解槽体结构10的宽度方向上呈左右交错的方式排列，借此使废水得以在左右方向上流动而最后从出流口12流出。

请参阅图12及图13，其表示废水净化装置的另一实施例。本实施例与图4所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图4所示的实施例的差异在于第一感应件41以及第二感应件42的外周各包覆具有一遮蔽宽度H的一绝缘框46，绝缘框46可以使遮蔽第一电极板20与第二电极板30之间形成的电力线，以维持电解整体的电压压降与电流固定以维持整体的电流密度，进而增加电解的效率，达成节能及性能稳定。较佳地，第一感应件41以及第二感应件42的全部外周各包覆具有绝缘框46。更佳地，该遮蔽宽度H是约为第一感应件41或第二感应件42的上缘至下缘之间所形成的宽度的四分之一。

以下表1是现有技术与废水净化装置对于处理化学机械研磨废水的数据比较。

表1

上述比较的实验中所使用的SiO

由以上的实验可知，废水净化装置100的总耗电为先前技术的1/6，与先前技术相比减少相当得多，可达到节能的功效。而二氧化硅的去除率在60分钟内可以达到99％，远高于先前技术的65％，而先前技术要达到相同的99％的二氧化硅去除率则需4320分钟，因此废水净化装置100可以快速地去除二氧化硅，提高去除的效率。另外，废水净化装置100的组装时间只需要5分钟，而先前技术的组装时间需要30分钟，因此废水净化装置100提供了更省时及简便的组装程序。而废水净化装置100由于第一感应件41以及第二感应件42不使用电极夹头，因此第一感应件41以及第二感应件42没有电极夹头腐蚀的问题。

以上是说明电解槽体结构10如何运用于废水净化装置100的实施例，以下则是说明本发明的电解槽体结构10的多个较佳实施例。

请参阅图14A及图14B，其表示电解槽体结构10的较佳实施例。本实施例的电解槽体结构10除了与图4的实施例相同的进流口11及出流口12之外，另外本实施例的电解槽体结构10包括一第一侧壁101、相对于第一侧壁101设置的一第二侧壁102、连接第一侧壁101以及第二侧壁102的一第三侧壁103、相对于第三侧壁103并连接第一侧壁101以及第二侧壁102的一第四侧壁104，以及连接第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103以及第四侧壁104，且其形成倾斜状的一底壁105。第一侧壁101、第二侧壁102、第三侧壁103、第四侧壁104及底壁105围成一容置空间(图未标号)，电解模组设置于容置空间，电解模组包含间隔设置的第一电极板20与第二电极板30。进流口11形成于第一侧壁101，出流口12形成于第二侧壁102，定位槽13包含一第一定位槽131及一第二定位槽132，第一定位槽131形成于第三侧壁103，第二定位槽132形成于第四侧壁104，第二定位槽132对应于第一定位槽131，其作用与图4的定位槽13相同。本实施例与图4的实施例的差异在于本实施例的底壁105形成倾斜状，详言之，本实施例的底壁105从底壁105与第一侧壁101的连接处朝底壁105与第二侧壁102的连接处呈线性朝下倾斜，并在底壁105的最低处且邻近于出流口12处的第二侧壁102处形成一污泥排出口14，在本实施例中，污泥排出口14为圆孔。借此电解后沉积于电解槽体结构10底部的污泥可以借由重力沿着倾斜的底部逐渐移动至污泥排出口14排出。另外，可以在电解槽体结构10内设置进流口遮板15以及出流口遮板16。进流口遮板15直接设置于电解槽体结构10的底部且邻近于进流口11，进流口遮板15高于进流口11，而出流口遮板16设于第二侧壁102，且出流口遮板16的顶缘高过于出流口12。如此废水经由进流口遮板15的阻挡可以减缓其流速，而避免使沉积在底部的污泥被扬起，而水高过于出流口遮板16才能经由出流口12流出，可避免污泥从出流口12流出。

请参阅图14C，其表示电解槽体结构10的另一实施例。本实施例与图14A所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图4所示的实施例的差异在于本实施例的污泥排出口14为槽孔，且其宽度与电解槽体结构10底部的宽度(设有定位槽13的两侧壁之间的距离)相同，即污泥排出口14沿底壁105的宽度方向自底壁105与第三侧壁103的连接处延伸至底壁105与第四侧壁104的连接处。

请参阅图15A及图15B，其表示电解槽体结构10的另一实施例。本实施例与图14A所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图14A所示的实施例的差异在于本实施例的电解槽体结构10的底壁105形成倾斜状，而且是从底壁105与第三侧壁103的连接处及底壁105与第四侧壁104的连接处朝底壁105中央向下倾斜，污泥排出口14形成于底壁105的最低处且位于底壁的中央。沉积在电解槽体结构10底部的污泥可借由重力沿着倾斜的底部逐渐移动至污泥排出口14排出。

请参阅图15C，其表示电解槽体结构10的另一实施例。本实施例与图15A所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图14A所示的实施例的差异在于本实施例的污泥排出口14为槽孔，且其长度与电解槽体结构10底部的长度(设有进流口11的第一侧壁101及出流口12的第二侧壁102的两侧壁间的距离)相同，即污泥排出口14沿底壁105的纵长方向自底壁105与第一侧壁101的连接处延伸至底壁105与第二侧壁102的连接处。

请参阅图16A，其表示电解槽体结构10的另一实施例。本实施例与图15A所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图15A所示的实施例的差异在于本实施例的电解槽体结构10的底壁105除了从底壁105与第三侧壁103的连接处及底壁105与第四侧壁104的连接处朝底壁105中央向下倾斜之外，从底壁105与第一侧壁101的连接处朝底壁105与第二侧壁102的连接处呈弧状朝下倾斜，可以更加地避免污泥沉积于电解槽体结构10底部。本实施例的污泥排出口14设于底壁105的最低处，其位于邻近第二侧壁102处且其为圆孔。

请参阅图16B，其表示电解槽体结构10的另一实施例。本实施例与图16A所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图16A所示的实施例的差异在于本实施例的污泥排出口14为槽孔，且其长度与电解槽体结构10底部的长度(设有进流口11的第一侧壁101及出流口12的第二侧壁102的两侧壁间的距离)相同，即污泥排出口14沿底壁105的纵长方向自底壁105与第一侧壁101的连接处延伸至底壁105与第二侧壁102的连接处。

请参阅图17及图18，其表示电解槽体结构10的另一实施例。本实施例与图14A所示的实施例的结构大致相同，因此相同的元件给予相同的符号并省略其说明。本实施例与图14A所示的实施例的差异在于本实施例的电解槽体结构10的底部更设置一多孔隔板17，多孔隔板17具有复数个透孔171，且多孔隔板17与电解槽体结构10的底壁105借由凸肋172形成一间距，如此污泥可经由透孔171沉积在多孔隔板17与电解槽体结构10底部之间，同样借由重力移动至污泥排出口14，但是由于多孔隔板17的遮挡，废水的水流不易使多孔隔板17与电解槽体结构10底部之间的污泥扬起，借此使经由出流口12流出的水更加洁净。

综上所述，电解槽体结构10由于设置倾斜的底部，可以让污泥借由重力排出，不必如先前技术需拆卸电极组后，才能处理污泥，或另外设置一个大型沉淀槽以收集污泥或大型的污泥储存槽存放污泥，因此可提高污泥处理的效率，也大幅地简化污泥处理的程序。