圆环电极真空镀膜装置

技术领域

本发明涉及电学领域，特别是涉及一种圆环电极真空镀膜装置。

背景技术

根据不同应用，部分有特殊需求的光学平片需要在前后两面分别镀制出金属圆环做为电极接线环，且要求前后面电极互不导通。对于此类应用，使用常规夹具进行镀膜的难点在于，电极接线部分做成圆环意味着中间部分需要留空，而中间圆形部分地方必须进行遮蔽才可以进行电极的镀膜达到留空目的。镀膜时遮蔽部分是需要朝下的，在无支撑点的情况下是一般是无法固定的，所以常规镀膜装置不具备可操作性。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种圆环电极真空镀膜装置，能够满足镀膜电极的要求，保证光学平片前后面互不连通，装夹简单，镀膜容易，重复性好，优质高效。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种圆环电极真空镀膜装置，包括拆装式连接的上夹具和下夹具以及夹持在上夹具和下夹具之间的定位圈，所述定位圈内侧嵌设有光学平片，所述光学平片的外圈被定位圈的内圈完全遮挡，所述上夹具和下夹具上开设有镀膜圆环孔，所述镀膜圆环孔内具有支撑筋，所述支撑筋不与光学平片接触，所述镀膜圆环孔在光学平片的前后表面的外缘部位形成圆环状的镀膜电极，所述镀膜电极在光学平片上单面导通，并且光学平片的前后表面互不导通。

在本发明一个较佳实施例中，所述定位圈的内径与光学平片的外径相等，定位圈的厚度与光学平片的厚度相等，从而完全遮挡光学平片的外圈。

在本发明一个较佳实施例中，所述支撑筋的高度小于镀膜圆环孔的深度。

在本发明一个较佳实施例中，所述镀膜圆环孔的内侧具有台阶结构，所述台阶结构的内侧具有凹槽，所述光学平片的前后表面被台阶结构压紧。

在本发明一个较佳实施例中，所述台阶结构与凹槽遮挡光学平片不需要镀膜的部分。

在本发明一个较佳实施例中，所述上夹具、下夹具和定位圈上开设有左右两个夹装孔，所述夹装孔上连接有螺栓，所述螺栓与螺母连接从而将上夹具、下夹具和定位圈固定。

本发明的有益效果是：本发明圆环电极真空镀膜装置，通过定位圈对光学平片的外周进行包裹，避免光学平片的外周被镀膜，同时通过台阶结和凹槽遮挡光学平片不需要镀膜的部位，通过镀膜圆环孔对光学平片进行精准镀膜。

本发明圆环电极真空镀膜装置，通过台阶结构和定位圈对光学平片的前后方向和周向进行压紧，保证光学平片安装位置准确，提高镀膜精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员0来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1是本发明圆环电极真空镀膜装置一较佳实施例的结构示意图；

图2是上夹具的结构示意图；

图3是镀膜后的光学平片的结构示意图；

附图中各部件的标记如下：1、上夹具，11、镀膜圆环孔，12、支撑筋，13、台阶结构，14、凹槽，15、夹装孔，2、下夹具，3、定位圈，4、光学平片，41、镀膜电极，5、螺栓，6、螺母。

具体实施方式

下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

请参阅图1至图2，一种圆环电极真空镀膜装置，包括拆装式连接的上夹具1和下夹具2以及夹持在上夹具1和下夹具2之间的定位圈3，定位圈3内侧嵌设有光学平片4。上夹具1、下夹具2和定位圈3上开设有左右两个夹装孔15，夹装孔15上连接有螺栓5，螺栓5与螺母6连接从而将上夹具1、下夹具2和定位圈3固定。通过螺栓5和螺母6将上夹具1、下夹具2和定位圈3实现组装拆卸，结构简单。

上夹具1和下夹具2成对加工，对称放置，使用线切割方式进行加工，确保镀膜装夹后前后两面完全一致。

光学平片4的外圈被定位圈3的内圈完全遮挡，上夹具1和下夹具2上开设有镀膜圆环孔11，镀膜圆环孔11内具有支撑筋12。镀膜圆环孔11在光学平片4的前后表面的外缘部位形成圆环状的镀膜电极41，镀膜电极41在光学平片上单面导通，并且光学平片4的前后表面互不导通。由于镀膜圆环孔11的存在，所以光学平片4安装后，在镀膜圆环孔1覆盖区域范围内，光学平片4对应的部分处于悬空状态，利用镀膜时的绕镀特性在光学平片4上镀制出圆环金属膜层。镀膜时金属膜料气化后从下部开始蒸镀，镀完一面后无须松开夹具，将整个夹具翻身后镀第二面。圆环形的镀膜电极41形成在光学平片4的正反表面，其镀膜电极41需要满足每面单独导电、正反面互不连通的要求。

定位圈3的内径与光学平片4的外径相等。定位圈3的厚度与光学平片4的厚度相等，从而完全遮挡光学平片4的外圈，定位圈3加工成与光学平片4等厚等内径，通过紧密配合，确保光学平片4准确定位，确保光学平片4侧面无膜层绕镀，达到图案准确分且前面后不导通的目的。由于光学平片4的周向外圈不需要镀膜，因此，通过定位圈3与光学平片4接触，将光学平片4的外圈全部封闭，这种情况下光学平片4的外圈由于被遮挡，所以镀膜过程中，光学平片4的外圈不会被镀膜，起到了将光学平片4正反面不连通的效果。

支撑筋12的高度小于镀膜圆环孔11的深度。支撑筋12起到过渡作用，支撑筋12不与光学平片4接触，为光学平片4留下镀膜需要的空间。图3为试验镀膜后的光学平片4，直径46mm，厚度为1mm，其膜层需要满足每面单独导电、互不连通，且形状如图所示，环宽1mm，前后面图案完全对称。

镀膜圆环孔11的内侧具有台阶结构13，台阶结构13的内侧具有凹槽14， 光学平片4的前后表面被台阶结构13压紧。台阶结构13与凹槽14遮挡光学平片4不需要镀膜的部分。由于光学平片4的中间部分同样不需要镀膜，所以采用台阶结构13和凹槽14将该部分遮挡，以免中间被镀膜而与影响透光。凹槽14对中间部位进行整体减薄，以免整体过重影响上夹具1和下夹具2的结构强度。

区别于现有技术，本发明圆环电极真空镀膜装置，能够满足镀膜电极的要求，保证光学平片前后面互不连通，装夹简单，镀膜容易，重复性好，优质高效。

以上示意性的对本发明及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。