掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

一种硅棒长度测量器

文献发布时间:2024-04-18 20:00:50


一种硅棒长度测量器

技术领域

本发明涉及硅棒测量技术领域,具体为一种硅棒长度测量器。

背景技术

单晶硅棒的制造过程是单晶硅从熔炉里出来后,被挤压成圆柱体,在挤压的过程中,其外部形成了不规则的波纹状的结构。为了便于制造、运输,挤压成型的单晶硅棒要被切割机床切割成小段,由于单晶硅棒比较重,在切割的过程中,单晶硅棒的两个端面都会有一定程度的斜度。为了减少浪费,一般都需要把每根单晶硅棒的具体尺寸测量出来,方便下一道工序根据单晶硅棒的尺寸情况,制定相应的加工方案,以求最大限度多生产出芯片基材来。

硅棒有长有短、有粗有细,现有的硅棒长度测量装置,主要是针对较为粗长的硅棒测量使用,而在测量这类型的硅棒的时候,机器设计的长度很长,因为只有设计的长,才能容纳较长的硅棒,这样使得测量装置成本增加,且测量硅棒的种类单一。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅棒长度测量器,以解决上述背景技术中提出测量装置成本增加,且测量硅棒的种类单一的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

一种硅棒长度测量器,包括硅棒端头限位靠板,所述硅棒端头限位靠板的外侧设置固定板,所述硅棒端头限位靠板与固定板之间安装硅棒推送装置,所述硅棒推送装置与固定板固定连接,所述硅棒推送装置的一侧设置第一刻度承载杆,硅棒推送装置的另一侧设置第二刻度承载杆,所述第二刻度承载杆的外侧设置第三刻度承载杆,所述第一刻度承载杆的外侧设置防护杆,所述第三刻度承载杆的外侧设置固定杆,固定杆上活动套设安装导向斜板,所述第一刻度承载杆、防护杆的端部和第二刻度承载杆、第三刻度承载杆、固定杆的端部固定安装杆体端部固定板,所述固定板和杆体端部固定板之间设置硅棒推出装置,所述硅棒推出装置位于第一刻度承载杆、防护杆的下方,所述杆体端部固定板与硅棒端头限位靠板之间留有间距。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述第一刻度承载杆、第二刻度承载杆、第三刻度承载杆齐平设置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述防护杆、固定杆齐平设置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述第一刻度承载杆、第二刻度承载杆的刻度起始值为硅棒端头限位靠板至第一刻度承载杆、第二刻度承载杆端部的间距长度值。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述硅棒推送装置包括导向框槽、电机安装板、推送电机、往复丝杠、移动块、推送柱、滚轮安装架和滚轮,所述导向框槽的一端与固定板固定连接,所述导向框槽的另一端固定安装电机安装板,所述电机安装板的外侧固定安装推送电机,所述推送电机的转轴伸出电机安装板一体连接往复丝杠,所述往复丝杠的端部与固定板活动连接,所述往复丝杠上螺纹套设安装移动块,所述移动块的顶部固定安装推送柱,所述推送柱的上端位于第一刻度承载杆、第二刻度承载杆的上方,所述移动块的底部固定安装滚轮安装架,所述滚轮安装架开设通槽,通槽的位置活动安装滚轮,所述滚轮与导向框槽的底部接触设置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述导向框槽的两侧与移动块接触设置,所述导向框槽的顶部与移动块的顶部齐平设置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述硅棒推出装置包括斜板、推送气缸,所述斜板的两端分别固定在固定板和杆体端部固定板上,所述斜板上对称固定安装推送气缸,所述推送气缸朝向第一刻度承载杆和防护杆之间的位置。

作为上述技术方案的进一步描述:

所述推送气缸的端部为斜向切削状。

与现有技术相比,本发明提供了一种硅棒长度测量器,具备以下有益效果:

1.本发明中,使用第一刻度承载杆、第二刻度承载杆作为硅棒的导向移动和承载装置,能测量粗长硅棒的长度,设计第三刻度承载杆测量细短硅棒的长度,可以满足多种硅棒的长度测量需求,而且还能方便硅棒的上料和下料;

2.本发明中,分隔设置的硅棒端头限位靠板,让机器的长度缩短,将硅棒端头限位靠板与杆体端部固定板之间的区间空出,减少机器整体的成本。

附图说明

图1为本发明立体一结构示意图;

图2为本发明立体二结构示意图;

图3为本发明硅棒推出装置结构示意图;

图4为本发明滚轮安装架、滚轮位置结构示意图。

图例说明:

1、硅棒端头限位靠板;2、固定板;3、硅棒推送装置;301、导向框槽;302、电机安装板;303、推送电机;304、往复丝杠;305、移动块;306、推送柱;307、滚轮安装架;308、滚轮;4、第一刻度承载杆;5、第二刻度承载杆;6、第三刻度承载杆;7、防护杆;8、固定杆;9、导向斜板;10、硅棒推出装置;1001、斜板;1002、推送气缸;11、杆体端部固定板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

实施例:

请参阅图1-图4,本发明提供了一种硅棒长度测量器,包括硅棒端头限位靠板1,硅棒端头限位靠板1的外侧设置固定板2,硅棒端头限位靠板1与固定板2之间安装硅棒推送装置3,硅棒推送装置3与固定板2固定连接,硅棒推送装置3的一侧设置第一刻度承载杆4,硅棒推送装置3的另一侧设置第二刻度承载杆5,第二刻度承载杆5的外侧设置第三刻度承载杆6,第一刻度承载杆4的外侧设置防护杆7,第三刻度承载杆6的外侧设置固定杆8,固定杆8上活动套设安装导向斜板9,第一刻度承载杆4、防护杆7的端部和第二刻度承载杆5、第三刻度承载杆6、固定杆8的端部固定安装杆体端部固定板11,固定板2和杆体端部固定板11之间设置硅棒推出装置10,硅棒推出装置10位于第一刻度承载杆4、防护杆7的下方,杆体端部固定板11与硅棒端头限位靠板1之间留有间距。

具体的,第一刻度承载杆4、第二刻度承载杆5、第三刻度承载杆6齐平设置,防护杆7、固定杆8齐平设置,防止硅棒掉落,同时便于硅棒顺利下滑测量,能够测量细短的硅棒。

具体的,第一刻度承载杆4、第二刻度承载杆5的刻度起始值为硅棒端头限位靠板1至第一刻度承载杆4、第二刻度承载杆5端部的间距长度值,硅棒端头限位靠板1与第一刻度承载杆4、第二刻度承载杆5端部空出的区域不会让硅棒掉落下来,该部分无需设置装置,在平稳的状态下缩短整个测量装置的长度。

具体的,如图3和图4所示,硅棒推送装置3包括导向框槽301、电机安装板302、推送电机303、往复丝杠304、移动块305、推送柱306、滚轮安装架307和滚轮308,导向框槽301的一端与固定板2固定连接,导向框槽301的另一端固定安装电机安装板302,电机安装板302的外侧固定安装推送电机303,推送电机303的转轴伸出电机安装板302一体连接往复丝杠304,往复丝杠304的端部与固定板2活动连接,往复丝杠304上螺纹套设安装移动块305,移动块305的顶部固定安装推送柱306,推送柱306的上端位于第一刻度承载杆4、第二刻度承载杆5的上方,移动块305的底部固定安装滚轮安装架307,滚轮安装架307开设通槽,通槽的位置活动安装滚轮308,滚轮308与导向框槽301的底部接触设置,导向框槽301的两侧与移动块305接触设置,导向框槽301的顶部与移动块305的顶部齐平设置,便于推动硅棒移动。

具体的,如图3所示,硅棒推出装置10包括斜板1001、推送气缸1002,斜板1001的两端分别固定在固定板2和杆体端部固定板11上,斜板1001上对称固定安装推送气缸1002,推送气缸1002朝向第一刻度承载杆4和防护杆7之间的位置,推送气缸1002的端部为斜向切削状,斜向接触硅棒,推动硅棒更方便。

工作原理:

电机安装板302驱动往复丝杠304旋转,将往复丝杠304移动到固定板2的位置,然后将粗长的硅棒从导向斜板9推上去,硅棒自然落入第一刻度承载杆4、第二刻度承载杆5上,在第一刻度承载杆4、第二刻度承载杆5上稳定停留,此时的推送气缸1002位于第一刻度承载杆4、防护杆7的下方与硅棒不接触,然后电机安装板302工作,带着往复丝杠304旋转,移动块305在往复丝杠304上移动,滚轮308在导向框槽301的底部滚动移动,推送柱306推着硅棒移动,直到硅棒的端部接触到硅棒端头限位靠板1的位置,此时,根据第一刻度承载杆4、第二刻度承载杆5上的刻度值读出硅棒的长度,测量完毕之后,推送气缸1002伸展,推送气缸1002的深入到第一刻度承载杆4、防护杆7之间,将硅棒推送出去,硅棒顺着导向斜板9滚落下来,然后推送电机303带着推送柱306复位回到固定板2的位置;

将细短的硅棒直接放置到第二刻度承载杆5、第三刻度承载杆6之间的位置,根据第三刻度承载杆6的刻度值读出硅棒的长度。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

相关技术
  • 基于噬菌体展示和蛋白酶切割的寡肽表达和提纯方法
  • 基于噬菌体展示和内含肽切割的寡肽表达和提纯方法
技术分类

06120116537659