一种在线式快速抽真空的真空等离子机

技术领域

本发明涉及等离子机结构技术领域，尤其涉及一种在线式快速抽真空的真空等离子机。

背景技术

目前，等离子清洗机在市场处于广泛的应用，等离子清洗机一般分为常压式等离子清洗机和真空式等离子清洗机，或称为等离子表面处理机，是一种全新的高科技技术，等离子体的(活性)组成包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

目前，真空式等离子清洗机使用越来越广泛，传统的真空式等离子清洗机在使用过程中，需要运行一定的时间进行抽真空，而且抽真空的时间比较长，导致整个程序运行下来，需要操作人员较长时间的等待，工作效率较低，增加生产成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种预设负压仓，可极大缩减抽真空时长，极大提高工作效率的在线式快速抽真空的真空等离子机。

为解决上述技术问题，本发明所采取的技术方案是：一种在线式快速抽真空的真空等离子机，包括外机架，所述外机架设有内腔；所述内腔中设有负压储存仓，和设置在负压储存仓下侧面的等离子真空仓；所述内腔中还设有真空泵装置，所述真空泵装置上连接有真空止回路管；所述真空止回路管连接有第一支路管和第二支路管；所述负压储存仓和真空止回路管通过所述第一支路管连通，所述等离子真空仓和真空止回路管通过所述第二支路管连通，且所述第一支路管和第二支路管连通；

所述真空等离子机还包括移动台，所述移动台上设有传送带；所述传送带上还设置有工件台；所述移动台的下方还设有气缸立柱导轨装置，所述移动台通过气缸立柱导轨装置上下升降；所述真空等离子机还包括水平移动装置，所述气缸立柱导轨装置安装在水平移动装置上，所述水平移动装置在水平面水平移动，驱动气缸立柱导轨装置水平移动，从而驱动所述移动台水平移动；

所述内腔中还设有等离子发生器，所述等离子发送器设有高压线，所述等离子真空仓内设有铜板，所述高压线射频连接至铜板上。

本发明有益效果包括：

1、通过设置负压仓，预先使负压仓保持负压状态；当需要对等离子真空仓抽真空时，负压仓和真空泵装置同时对等离子真空仓抽真空，极大的缩短抽真空的时间，极大提高工作效率。

2、由于本发明中，分为等离子真空仓和与负压储存仓，因此，每个仓的空间容量少二分之一，能到达快速抽真空的效率。

3、本发明中，在管道上还设有多个真空角阀，便于控制气流，防止等离子真空仓向负压仓回流。

4、等离子真空仓可为铝制真空仓体，作为负极一端与地线相连接，导电性较强，散热良好，在等离子工作时，能够瞬间释放电弧，达到等离子真空处理效果。

5、工件台可为铝板，为铝制导电氧化板，不易刮花碰伤，而且导电性较强，轻量化便于底下装有气缸立柱导轨装置便能轻易推动。

6、本发明中，采用工件台与等离子真空仓密闭融合的方式，无需人工打开真空仓门放料，使得上下料更方便，在操作上方便快捷。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1是本发明的在线式快速抽真空的真空等离子机的外部结构示意图；

图2是本发明的在线式快速抽真空的真空等离子机的内部结构示意图；

图3是本发明的在线式快速抽真空的真空等离子机的另一内部结构示意图；

图4是本发明的等离子真空仓和移动台的结构示意图；

图5是本发明的传送带的结构示意图；

图6是本发明的气缸立柱导轨装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1所示，为本发明的在线式快速抽真空的真空等离子机的外部结构示意图；如图2所示，为本发明的在线式快速抽真空的真空等离子机的内部结构示意图；如图3所示，为本发明的在线式快速抽真空的真空等离子机的另一内部结构示意图；如图4所示，为本发明的等离子真空仓和移动台的结构示意图；本发明的在线式快速抽真空的真空等离子机，包括外机架1，所述外机架1设有内腔；其特征在于，所述内腔中设有负压储存仓21，和设置在负压储存仓21下侧面的等离子真空仓22；所述内腔中还设有真空泵装置31，所述真空泵装置31上连接有真空止回路管32；所述真空止回路管32连接有第一支路管321和第二支路管322；所述负压储存仓21和真空止回路管32通过所述第一支路管321连通，所述等离子真空仓22和真空止回路管32通过所述第二支路管322连通，且所述第一支路管321和第二支路管322连通；

所述真空等离子机还包括移动台5，所述移动台5上设有传送带51；所述传送带51上还设置有工件台52；示例性的，本发明中，工件台52可为铝板，为铝制导电氧化板；所述移动台5的下方还设有气缸立柱导轨装置6，所述移动台5通过气缸立柱导轨装置6上下升降；所述真空等离子机还包括水平移动装置，所述气缸立柱导轨装置6安装在水平移动装置上，所述水平移动装置在水平面水平移动，驱动气缸立柱导轨装置6水平移动，从而驱动所述移动台5水平移动。

作为优选的实施方案，所述等离子真空仓22下侧开口，所述工件台52为板状结构；通过水平移动装置，所述移动台5水平移动，驱使所述工件台52水平移动至所述真空仓22下方后，通过所述气缸立柱导轨装置6，驱动所述工件台52向上移动至所述真空仓22下侧开口处，使得所述等离子真空仓22和工件台52形成密闭空间；示例性的，所述等离子真空仓22为方形体结构，所述等离子真空仓22的下侧开口为方形结构，所述工件台52为方形结构，且所述工件台52和等离子真空仓22的下侧开口的尺寸相同。

本发明中，所述真空等离子机开启后，所述真空泵装置31通过真空止回路管32和第一支路管321，预先对所述负压储存仓21进行抽真空，使得所述负压储存仓21保持负压状态；因此，本发明中，在需要等离子真空仓进行工作之前，所述负压储存仓21是一直预先保持负压状态。

当需要等离子真空仓开始工作时，则通过移动水平移动装置；示例性的，本发明中，所述外机架1的下方设有底板71；所述水平移动装置位于所述底板71的底侧，所述水平移动装置为万向轮72。即通过万向轮72在水平面上的前后左右的移动，使得所述工件台52移动至与所述等离子真空仓22的下方；然后通过气缸立柱导轨装置6上升移动，驱动工件台52向上移动至等离子真空仓22的下侧开口，并向上顶靠，使得工件台52和等离子真空仓22连接形成密闭空间。作为优选实施方式，气缸立柱导轨装置6可设有多个，或者设有多个顶靠部设置四个角，使得四个角分别向上顶靠工件台52的四周，使其受力压紧，并可自动密闭锁紧。而且，作为一种优选实施方案，所述等离子真空仓22的下方还设有限位装置，当所述工件台52移动至所述等离子真空仓22的下侧开口处后，所述限位装置驱动所述工件台52紧密连接在所述真空仓22的下侧开口；所述真空等离子机还设有光电检测装置，所述光电检测装置用于检测所述工件台52与等离子真空仓22是否密闭连接。

本发明中，形成密闭空间后，所述真空泵装置31通过真空止回路管32和第二支路管322，对所述等离子真空仓22进行抽真空；同时，负压状态下的负压储存仓21，与等离子真空仓22会形成压力差，即可通过所述第一支路管321和第二支路管322，对所述等离子真空仓22进行抽真空。因此，真空泵装置31和负压储存仓21同时对等离子真空仓抽真空，极大的缩短抽真空的时间，极大提高工作效率；而且，由于本发明中，分为等离子真空仓和与负压储存仓，因此，每个仓的空间容量少二分之一，因此，所述等离子真空仓需要抽真空的空间也极大减少，能到达快速抽真空的效率。

本发明中，所述内腔中还设有等离子发生器41，所述等离子发送器41设有高压线，所述等离子真空仓22内设有铜板，所述高压线射频连接至铜板上；当上述等离子真空仓22抽真空完成后，所述等离子发送器41产生等离子，通过等离子真空仓22内的铜板，向等离子真空仓22的下侧的工件台52上的工件进行轰击处理等。

本发明中，为防止等离子真空仓向负压仓回流，或者通过真空止回路管32回流，以及便于控制气流方向，所述真空止回路管32上设有第一真空角阀331，所述第一支路管321上设有第二真空角阀332，所述第二支路管322上设有第三真空角阀333；例如当等离子真空仓的气压抽到一定数值时，关闭各个真空角阀，或者，将多个真空角阀设为单向角阀的，来防止气流回流。

本发明中，等离子真空仓可为铝制真空仓体，作为负极一端与地线相连接，导电性较强，散热良好，在等离子工作时，能够瞬间释放电弧，达到等离子真空处理效果；工件台可为铝板，为铝制导电氧化板，不易刮花碰伤，而且导电性较强，轻量化便于底下装有气缸立柱导轨装置便能轻易推动。而且本发明中，常规状态下，工件台与等离子真空仓是分离的，使用时，将工件放置工件台后，采用工件台与等离子真空仓密闭融合的方式，无需人工打开真空仓门放料，使得上下料更方便，在操作上方便快捷。

本发明中，所述等离子真空仓22设有活动连接的仓门221，所述等离子真空仓22上还设有观察仓222，所述观察仓222设有透明装置，便于观察。

如图6所示，为本发明的气缸立柱导轨装置的结构示意图；所述气缸立柱导轨装置6包括固定柱61，和安装在固定柱61上的升降柱62；所述升降柱62沿着固定柱61上下升降；所述固定柱61固定安装在所述底板71上；所述升降柱62的顶端设有安装板63；所述安装板63固定安装在所述移动台5上。

如图5所示，为本发明的传送带的结构示意图；所述传送带51包括位于两侧的固定板511，所述两侧的固定板511之间设有多个从动杆512，所述工件台52安置在所述从动杆512上；

每个从动杆512上设有从动齿513；所述传送带51还包括转杆514，所述转杆514上设有多个主动齿515；一个从动齿513和一个主动齿515啮合连接；所述真空等离子机还设有传动带电机516；所述传动带电机516驱动转杆514转动，带动所述主动齿515旋转，带动从动齿513旋转；从而带动所述从动杆512转动；驱动安置在所述从动杆512上的工件台52移动。

本发明中，所述内腔中还设有配电箱42；所述外机架1的下方还设有风扇43；对内腔进行吹风降温等，所述外机架1的上端和下端分别设有开关门11；所述真空等离子机还设有吊臂控制装置9，用于控制所述真空等离子机的工作状态。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。