TCS鼓泡供应系统及其控制方法

技术领域

本发明涉及半导体外延设备技术领域，尤其是涉及一种TCS鼓泡供应系统及其控制方法。

背景技术

鼓泡法是指将工艺气体作为载气通入液态源内，形成含有液态源蒸汽的气泡，然后输出至工艺机台的方法。外延片(EPI)是半导体元件中重要的组成部分之一，而外延片制作过程中的TCS(三氯氢硅)长膜环节又决定了外延片的质量以及合格率。在TCS长膜环节，一般采用鼓泡法向外延机台输送三氯氢硅蒸汽以进行长膜生产，即先在鼓泡器内存放一定量的三氯氢硅溶液，然后将H

其中，三氯氢硅蒸汽的浓度是生产外延产品的重要参数。经试验，鼓泡器内三氯氢硅溶液的液位和温度以及通入H

发明内容

本发明的目的是提供一种TCS鼓泡供应系统，其能够监测鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度和温度，从而保证三氯氢硅蒸汽浓度的稳定性。

本发明提供一种TCS鼓泡供应系统，包括液态源鼓泡器、用于输送三氯氢硅溶液的进液管路、用于输送氢气的进气管路、用于输送三氯氢硅蒸汽的蒸汽排出管路和控制单元；所述液态源鼓泡器包括用于盛装三氯氢硅溶液的鼓泡容器，所述进液管路与所述鼓泡容器的进液口连通，所述进气管路与所述鼓泡容器的进气口连通，所述蒸汽排出管路与所述鼓泡容器的蒸汽出口连通；

所述鼓泡容器内设有液位传感器和温度传感器，所述液位传感器为磁致伸缩液位传感器，所述液位传感器和所述温度传感器分别用于检测所述鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度和温度；所述进液管路、所述进气管路和所述蒸汽排出管路上分别设有第一开关阀、第二开关阀和第三开关阀，所述液位传感器、所述温度传感器、所述第一开关阀、所述第二开关阀和所述第三开关阀均与所述控制单元信号连接。

进一步地，所述液位传感器包括本体部和波导杆，所述本体部固定在所述鼓泡容器的顶部，所述波导杆设置于所述鼓泡容器内并沿竖向方向延伸设置，所述波导杆的一端与所述本体部相连，所述波导杆外套设有密封套筒，所述密封套筒外套设有磁环浮球，所述磁环浮球能够沿所述密封套筒上下移动。

进一步地，所述蒸汽排出管路上设有蒸汽压力传感器，所述蒸汽压力传感器用于检测所述蒸汽排出管路内三氯氢硅蒸汽的压力，所述蒸汽压力传感器与所述控制单元信号连接。

进一步地，所述TCS鼓泡供应系统还包括换热装置，所述换热装置与所述鼓泡容器相连，所述换热装置用于对所述鼓泡容器内的三氯氢硅溶液进行加热或冷却，所述换热装置与所述控制单元信号连接。

进一步地，所述TCS鼓泡供应系统还包括泄放管路，所述蒸汽排出管路通过第一支管路与所述泄放管路连通；所述第一支管路上设有第一泄放阀，所述第一泄放阀与所述控制单元信号连接；当所述鼓泡容器在补液时，所述控制单元控制所述第一泄放阀间断式开闭，以对所述鼓泡容器进行间歇式泄压。

进一步地，所述进液管路通过第二支管路与所述泄放管路连通，所述进气管路通过第三支管路与所述泄放管路连通；所述第二支管路上设有第二泄放阀，所述第三支管路上设有第三泄放阀，所述第二泄放阀和所述第三泄放阀均与所述控制单元信号连接。

进一步地，所述TCS鼓泡供应系统还包括压缩气体管路，所述压缩气体管路的一端设有压缩气体进口，所述压缩气体管路的另一端设有排放口；所述压缩气体管路上设有真空发生器，所述泄放管路与所述真空发生器连通，所述真空发生器用于产生负压以将所述泄放管路内的气体和/或液体吸引至所述压缩气体管路内并经所述排放口排出。

本发明还提供一种TCS鼓泡供应系统的控制方法，用于控制以上所述的TCS鼓泡供应系统，所述控制方法包括：

分别利用液位传感器和温度传感器检测鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度和温度，当所述鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度在第一预设范围内，且所述鼓泡容器内三氯氢硅溶液的温度在第二预设范围内时，控制单元控制第二开关阀和第三开关阀打开，并控制第一开关阀关闭，进气管路内的氢气通入所述鼓泡容器内后产生三氯氢硅蒸汽并排出至蒸汽排出管路，此时所述TCS鼓泡供应系统进行第一轮鼓泡生产；

当第一轮鼓泡生产结束后，再次利用所述液位传感器检测所述鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度，若所述鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度在所述第一预设范围内时，则所述控制单元控制所述TCS鼓泡供应系统进行第二轮鼓泡生产；若所述鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度低于所述第一预设范围的下限值时，所述控制单元控制所述第一开关阀打开，并控制所述第二开关阀和所述第三开关阀关闭，进液管路内的三氯氢硅溶液通入所述鼓泡容器内进行补液，使所述鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度达到所述第一预设范围内，然后所述控制单元再控制所述TCS鼓泡供应系统进行第二轮鼓泡生产。

进一步地，所述蒸汽排出管路上设有蒸汽压力传感器，所述蒸汽压力传感器用于检测所述蒸汽排出管路内三氯氢硅蒸汽的压力，所述蒸汽压力传感器与所述控制单元信号连接；

当所述鼓泡容器内产生的三氯氢硅蒸汽排出至所述蒸汽排出管路后，利用所述蒸汽压力传感器检测所述蒸汽排出管路内三氯氢硅蒸汽的压力，若所述蒸汽排出管路内三氯氢硅蒸汽的压力在第三预设范围内时，则继续保持当前生产状态；若所述蒸汽排出管路内三氯氢硅蒸汽的压力不在第三预设范围内时，所述控制单元控制所述TCS鼓泡供应系统发出相应的报警信息。

进一步地，所述TCS鼓泡供应系统还包括泄放管路，所述蒸汽排出管路通过第一支管路与所述泄放管路连通；所述第一支管路上设有第一泄放阀，所述第一泄放阀与所述控制单元信号连接；

当所述鼓泡容器在补液时，所述控制单元控制所述第一泄放阀间断式开闭，以对所述鼓泡容器进行间歇式泄压。

本发明提供的TCS鼓泡供应系统，通过在鼓泡容器内设置液位传感器和温度传感器，液位传感器和温度传感器分别用于检测鼓泡容器内三氯氢硅溶液的液位高度和温度，同时设置控制单元与液位传感器和温度传感器连接，从而根据三氯氢硅溶液的液位高度和温度执行相应的补液、加热/冷却、报警等动作，以保证三氯氢硅蒸汽浓度的稳定性。而且，本发明采用特殊的磁致伸缩液位传感器，其不仅检测精度高，而且其测量元件无需与液体进行直接接触，从而避免或减少三氯氢硅对其造成的腐蚀，大大延长其使用寿命，并提高可靠性。

附图说明

图1为本发明实施例中TCS鼓泡供应系统的结构示意图。

图2为图1中液位传感器的结构示意图。

图3为本发明实施例中TCS鼓泡供应系统的控制逻辑示意图。

图4为本发明实施例中TCS鼓泡供应系统的工作流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

本发明的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。

如图1至图3所示，本发明实施例提供的TCS(三氯氢硅)鼓泡供应系统，包括液态源鼓泡器1、用于输送三氯氢硅溶液的进液管路2、用于输送氢气的进气管路3、用于输送三氯氢硅蒸汽的蒸汽排出管路4和控制单元5。其中，进液管路2用于连接三氯氢硅溶液供应装置(图未示)，进气管路3用于连接氢气供应装置(图未示)，蒸汽排出管路4用于连接外延机台(图未示)。

液态源鼓泡器1包括用于盛装三氯氢硅溶液的鼓泡容器11，进液管路2与鼓泡容器11的进液口连通，进气管路3与鼓泡容器11的进气口连通，蒸汽排出管路4与鼓泡容器11的蒸汽出口连通。

鼓泡容器11内设有液位传感器12和温度传感器13，液位传感器12为磁致伸缩液位传感器，液位传感器12和温度传感器13分别用于检测鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度和温度。进液管路2、进气管路3和蒸汽排出管路4上分别设有第一开关阀21、第二开关阀31和第三开关阀42，液位传感器12、温度传感器13、第一开关阀21、第二开关阀31和第三开关阀42均与控制单元5信号连接。

具体地，本实施例提供的TCS鼓泡供应系统，通过在鼓泡容器11内设置液位传感器12和温度传感器13，液位传感器12和温度传感器13分别用于检测鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度和温度，同时设置控制单元5与液位传感器12和温度传感器13连接，从而根据三氯氢硅溶液的液位高度和温度执行相应的补液、加热/冷却、报警等动作，以保证三氯氢硅蒸汽浓度的稳定性，从而保证产品膜厚的一致性。而且，本发明采用特殊的磁致伸缩液位传感器，其不仅检测精度高，而且其测量元件无需与液体进行直接接触，从而避免或减少三氯氢硅对其造成的腐蚀，大大延长其使用寿命，并提高可靠性。

具体地，在工作时，进气管路3向鼓泡容器11内输送氢气，氢气在通入至三氯氢硅溶液内后产生携带有三氯氢硅蒸汽的气泡，然后通过蒸汽排出管路4输送至外延机台以进行TCS长膜工作；当液位传感器12检测到三氯氢硅溶液的液位低于设定范围时，控制单元5控制TCS鼓泡供应系统进行补液动作，防止三氯氢硅溶液的液位出现较大幅度波动，从而保证产品膜厚的一致性。需要说明的是，补液动作和三氯氢硅蒸汽的鼓泡动作为互锁关系，两者不能同时进行，即在补液时不能进行三氯氢硅蒸汽的鼓泡生产，在三氯氢硅蒸汽的鼓泡生产过程中也不能进行补液，以防止两者之间存在压力差而影响三氯氢硅蒸汽的压力稳定性或者对补液精度造成影响。

如图1及图2所示，作为一种实施方式，液位传感器12包括本体部121和波导杆122，本体部121内设有信号处理元件及数据传输元件等，本体部121与控制单元5信号连接。本体部121固定在鼓泡容器11的顶部，且本体部121设置于鼓泡容器11外(防止三氯氢硅溶液溅射到本体部121上)，波导杆122设置于鼓泡容器11内并沿竖向方向延伸设置，波导杆122的一端与本体部121相连。波导杆122外套设有密封套筒123，密封套筒123整体为密封结构，密封套筒123的顶端与本体部121相连，密封套筒123的顶端为开口端，以供波导杆122插入。密封套筒123外套设有磁环浮球124，磁环浮球124能够在三氯氢硅溶液的浮力作用下沿密封套筒123上下移动(磁环浮球124漂浮在三氯氢硅溶液上并随其液位高度变化而上下移动)，从而检测三氯氢硅溶液的液位高度。密封套筒123和磁环浮球124均采用耐腐蚀材料制成，例如均采用316L不锈钢材质制成，使其具有良好的耐腐蚀性能。

具体地，在工作时，本体部121向波导杆122上发送一个电脉冲，该电脉冲产生的环形磁场与磁环浮球124中的永磁体之间产生磁场作用(磁致伸缩效应)，从而在波导杆122(也称为波导丝)上产生机械振动，该振动波传回本体部121内的检测装置，通过记录发送电脉冲与振动回波的时间差，然后计算时间差与机械波速度的乘积，即可确定磁环浮球124的位置，进而得到液位高度。由于波导杆122及磁环浮球124内的永磁体不与三氯氢硅溶液直接接触，且密封套筒123和磁环浮球124均采用耐腐蚀材料制成，使得其具有较长的使用寿命以及较高的精度和稳定性。而其它液位传感器，例如采用浮子法、电阻法或超声波等方式的液位传感器，存在精度差、需要与液体直接接触等缺点，故不适用于三氯氢硅溶液的液位检测。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，蒸汽排出管路4上设有蒸汽压力传感器41，蒸汽压力传感器41用于检测蒸汽排出管路4内三氯氢硅蒸汽的压力，蒸汽压力传感器41与控制单元5信号连接，控制单元5根据蒸汽压力传感器41检测的压力值，判断三氯氢硅蒸汽压力的稳定性。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，TCS鼓泡供应系统还包括重量传感器6，液态源鼓泡器1设置于重量传感器6上，重量传感器6用于检测液态源鼓泡器1的重量，重量传感器6与控制单元5信号连接。

具体地，重量传感器6可协同液位传感器12一起监测鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位(其液位高度也反映在其重量上)，而且，当鼓泡容器11在补液时，也可通过重量传感器6监测补液量，从而提高控制精度。同时，重量传感器6还可以辅助监测液位传感器12是否有效，当液位传感器12失效后，重量传感器6能够进一步保证生产的安全性和可靠性。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，TCS鼓泡供应系统还包括换热装置14，换热装置14与鼓泡容器11相连，换热装置14用于对鼓泡容器11内的三氯氢硅溶液进行加热或冷却，即对三氯氢硅溶液进行恒温控制，从而保持鼓泡容器11内的三氯氢硅溶液温度的稳定性，换热装置14与控制单元5信号连接，控制单元5能够根据温度传感器13检测到的温度信息，控制换热装置14的开闭或工作模式。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，换热装置14包括换热器141和换热盘管(图未示)，换热盘管设置于鼓泡容器11内，换热器141设置于鼓泡容器11外，换热器141与换热盘管之间通过管路连接；换热器141内储存有换热介质(例如换热流体)，换热器141能够对换热介质进行加热或冷却，通过换热介质在换热盘管内的流动，从而对鼓泡容器11内的三氯氢硅溶液进行加热或冷却。当然，在其他实施例中，换热装置14也可以为其它结构或形式。

如图1所示，作为一种实施方式，进气管路3上设有压力表34，压力表34用于检测进气管路3内氢气的压力，以监测氢气压力的稳定性。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，TCS鼓泡供应系统还包括泄放管路71，蒸汽排出管路4通过第一支管路43与泄放管路71连通。第一支管路43上设有第一泄放阀44，第一泄放阀44与控制单元5信号连接。当鼓泡容器11在补液时，控制单元5控制第一泄放阀44间断式开闭，以对鼓泡容器11进行间歇式泄压。

具体地，泄放管路71用于系统排放各种气体、液体等。当鼓泡容器11在补液时，鼓泡容器11内液位上升、空间缩小，鼓泡容器11的内压增大，故需要进行泄压，以防止补液失败；而在补液过程中，为了防止泄压过多，故控制第一泄放阀44间断式开闭，以使鼓泡容器11进行间歇式泄压。同时，当蒸汽排出管路4内三氯氢硅蒸汽超压时，也可以通过泄放管路71进行泄放。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，进液管路2通过第二支管路22与泄放管路71连通，进气管路3通过第三支管路32与泄放管路71连通；第二支管路22上设有第二泄放阀23，第三支管路32上设有第三泄放阀33，第二泄放阀23和第三泄放阀33均与控制单元5信号连接。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，泄放管路71上设有隔离阀711和泄放管路压力传感器712，隔离阀711和泄放管路压力传感器712均与控制单元5信号连接。泄放管路压力传感器712用于检测泄放管路71内的压力。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，TCS鼓泡供应系统还包括氮气吹扫管路8，氮气吹扫管路8与泄放管路71连通；氮气吹扫管路8上设有第四开关阀81和氮气压力传感器83，第四开关阀81和氮气压力传感器83均与控制单元5信号连接。氮气吹扫管路8用于向鼓泡容器11和各管路内输送氮气，进行氮气吹扫，以清除鼓泡容器11内和管路内的颗粒、水、氧等杂物。氮气吹扫管路8一般在设备首次安装时使用，正常生产时无需使用。当然，也可以在其他特殊情况下进行氮气吹扫。

如图1所示，作为一种实施方式，TCS鼓泡供应系统还包括压缩气体管路72，压缩气体管路72的一端设有压缩气体进口721，压缩气体管路72的另一端设有排放口722。压缩气体管路72上设有真空发生器73，泄放管路71与真空发生器73连通，真空发生器73用于产生负压以将泄放管路71内的气体和/或液体吸引至压缩气体管路72内并经排放口722排出。

具体地，在本实施例中，真空发生器73是利用压缩气体在通过真空发生器73内的狭小通道时产生负压，从而将泄放管路71内的气体和/或液体吸引至真空发生器73内。在工作时，压缩气体管路72的压缩气体进口721连接压缩气源，压缩气体(本实施例为压缩氮气)进入压缩气体管路72内后利用真空发生器73吸取泄放管路71内的气体和/或液体，然后再经排放口722排出，从而提高工作效率。

如图1所示，作为一种实施方式，鼓泡容器11的泄压口通过超压排放管路74与压缩气体管路72连通，超压排放管路74上设有超压泄放阀741；当鼓泡容器11内的压力超过设定值时，超压泄放阀741自动打开以对鼓泡容器11进行泄压。

如图1所示，作为一种实施方式，鼓泡容器11的底部还设有泄放口111，鼓泡容器11可通过该泄放口111排出其内多余的三氯氢硅溶液。

作为一种实施方式，TCS鼓泡供应系统还包括报警装置(图未示，报警装置例如为声光报警装置)，报警装置与控制单元5信号连接；当TCS鼓泡供应系统出现异常时，控制单元5控制报警装置发出相应的报警信息。

如图1所示，作为一种实施方式，第一开关阀21、第二开关阀31、第三开关阀42、第四开关阀81、第一泄放阀44、第二泄放阀23、第三泄放阀33和隔离阀711均为气动阀。

如图1所示，作为一种实施方式，进液管路2、进气管路3、蒸汽排出管路4和氮气吹扫管路8上还分别设有第一手阀24、第二手阀35、第三手阀45和第四手阀82，以在紧急情况下手动关断各管路。

本发明实施例还提供一种TCS鼓泡供应系统的控制方法，用于控制以上所述的TCS鼓泡供应系统，该控制方法包括：

分别利用液位传感器12和温度传感器13检测鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度和温度，当鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度在第一预设范围内，且鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的温度在第二预设范围内时，控制单元5控制第二开关阀31和第三开关阀42打开，并控制第一开关阀21关闭，进气管路3内的氢气通入鼓泡容器11内后产生三氯氢硅蒸汽并排出至蒸汽排出管路4，此时TCS鼓泡供应系统进行第一轮鼓泡生产；同时，蒸汽排出管路4内的三氯氢硅蒸汽输送至外延机台，外延机台同步进行长膜生产；

当第一轮鼓泡生产结束后，再次利用液位传感器12检测鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度，若鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度在第一预设范围内时，则控制单元5控制TCS鼓泡供应系统进行第二轮鼓泡生产；若鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度低于第一预设范围的下限值时，控制单元5控制第一开关阀21打开，并控制第二开关阀31和第三开关阀42关闭，进液管路2内的三氯氢硅溶液通入鼓泡容器11内进行补液，使鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度达到第一预设范围内，然后控制单元5再控制第一开关阀21关闭，第二开关阀31和第三开关阀42打开，进而控制TCS鼓泡供应系统进行第二轮鼓泡生产；同时，蒸汽排出管路4内的三氯氢硅蒸汽输送至外延机台，外延机台同步进行长膜生产；

重复上述步骤，TCS鼓泡供应系统进行多轮鼓泡生产。

具体地，通过控制各轮鼓泡生产时，鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位保持一致，即每上一轮鼓泡生产结束后，下一轮鼓泡生产时鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位需与上次鼓泡生产时液位一致，从而保证相邻两次鼓泡生产时TCS蒸汽的初始浓度一致，进而保证产品膜厚的一致性(若相邻两次鼓泡生产时鼓泡容器11内液位值不一致，那么TCS蒸汽的初始浓度也会不一致，势必会造成产品间的膜厚均匀性参数不合格)。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，蒸汽排出管路4上设有蒸汽压力传感器41，蒸汽压力传感器41用于检测蒸汽排出管路4内三氯氢硅蒸汽的压力，蒸汽压力传感器41与控制单元5信号连接。所述控制方法还包括：

当鼓泡容器11内产生的三氯氢硅蒸汽排出至蒸汽排出管路4后，利用蒸汽压力传感器41检测蒸汽排出管路4内三氯氢硅蒸汽的压力，若蒸汽排出管路4内三氯氢硅蒸汽的压力在第三预设范围内时，则继续保持当前生产状态；若蒸汽排出管路4内三氯氢硅蒸汽的压力不在第三预设范围内时，控制单元5控制TCS鼓泡供应系统发出相应的报警信息。

如图1及图3所示，作为一种实施方式，TCS鼓泡供应系统还包括泄放管路71，蒸汽排出管路4通过第一支管路43与泄放管路71连通；第一支管路43上设有第一泄放阀44，第一泄放阀44与控制单元5信号连接。所述控制方法还包括：

当鼓泡容器11在补液时，控制单元5控制隔离阀711打开，同时控制第一泄放阀44间断式开闭，以对鼓泡容器11进行间歇式泄压。

如图1、图3及图4所示，本实施例中TCS鼓泡供应系统的工作流程为：

1、工艺生产开始，TCS鼓泡供应系统和外延机台自动运行，判断TCS鼓泡供应系统和外延机台工作状态是否正常，同时判断TCS鼓泡供应系统和外延机台之间通讯是否正常；若各参数均正常，则开始工作。

2、由于鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度和温度是决定三氯氢硅蒸汽浓度稳定性的决定性因素，故在正式的鼓泡生产前，需要判断液位高度和温度是否满足工艺参数；若合格，则TCS鼓泡供应系统开始进行鼓泡生产；若不合格则发出声光报警，提醒工程师确认异常原因及解决方法，排除故障并满足相应参数后，系统进行鼓泡生产。

3、TCS鼓泡供应系统通过鼓泡方式供应三氯氢硅蒸汽，整个供应过程(单个产品生产周期)根据不同产品生产工艺时间不等(5-30分钟)，在此过程中，三氯氢硅蒸汽压力是否稳定，直接决定TCS浓度的稳定性，即TCS蒸汽压力稳定性也是决定产品是否合格的关键因素。故在整个供应环节，通过蒸汽压力传感器41实时监控压力波动，在允许范围内生产，若超出波动允许范围则发出声光报警，提醒工程师确认异常原因以及解决方法，排除故障并满足相应参数后，系统自动进行下一步生产。

4、单次外延片生产结束后，在下一次生产开始之前，需要重新判断鼓泡容器11内液位是否稳定，且必须与上次生产时液位值一致，因为若液位值不一致，那么相邻两次TCS混合蒸汽的初始浓度会不同，这样势必会造成两者产品间的均匀性参数不合格。

TCS鼓泡供应系统在工艺生产间歇期，会检测外延机台的补液命令，若接收到补液指令，通过内部逻辑算法，结合当前实际液位，满足条件后通过执行机构开启进行补液(逻辑时序为：接收到补液信号-延时稳定1s(防止信号误动作)-关闭第二开关阀31和第三开关阀42-延时稳定2s-打开第一开关阀21-补液中-鼓泡容器11间歇式泄压-补液至目标值18L-补液结束)，并实时检测液位值变化，到达液位设定值时立即关闭执行机构(第一开关阀21)，并通过内部逻辑算法判断液位稳定后(一般将液位控制在设定值的1％误差范围内；例如目标液位值为18L，设定值的1％即0.18，且取小数后1位，则液位控制在17.9L与18.1L之间)，方可进行鼓泡生产，将TCS混合蒸汽供应至外延机台，进行外延片生产。

本发明实施例提供的TCS鼓泡供应系统，通过在鼓泡容器11内设置液位传感器12和温度传感器13，液位传感器12和温度传感器13分别用于检测鼓泡容器11内三氯氢硅溶液的液位高度和温度，同时设置控制单元5与液位传感器12和温度传感器13连接，从而根据三氯氢硅溶液的液位高度和温度执行相应的补液、加热/冷却、报警等动作，以保证三氯氢硅蒸汽浓度的稳定性，从而保证产品膜厚的一致性。而且，本发明采用特殊的磁致伸缩液位传感器，其不仅检测精度高，而且其测量元件无需与液体进行直接接触，从而避免或减少三氯氢硅对其造成的腐蚀，大大延长其使用寿命，并提高可靠性。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。