一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备

技术领域

本发明涉及薄膜加工领域，具体涉及到一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。

背景技术

金属薄膜作为薄膜电容器中的芯组材料，其中包括普通金属化膜和金属化安全膜，金属薄膜是在真空条件下，通过蒸镀技术将金属蒸镀在薄膜基材的表面而形成复合薄膜的一种新工艺，在蒸镀金属薄膜时，通过调节元件对喷嘴进行调整，使得蒸发源材料可以均匀的喷洒在金属薄膜上，使得金属薄膜可以均匀的进行蒸镀，在对金属薄膜进行蒸镀时，需要改进的地方：

在对金属薄膜进行蒸镀时，蒸镀喷嘴大部分都是安装在设备的中间位置上，喷嘴将蒸发源材料喷洒在金属薄膜上，喷嘴会从金属薄膜中间位置进行喷洒，使得金属薄膜中间位置的蒸发源材料密度会高于周边的蒸发源材料，导致蒸镀到金属薄膜上膜层均匀性达不到指标，会导致蒸镀的厚度不一致、层次不均匀，从而导致金属薄膜的良品率低下，进而引发的电容器质量安全。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其结构包括基片、喷洒装置、抽气泵、真空室、抽真空管、真空泵、操作面板，所述基片设在真空室内部，所述基片固定连接在真空室内部，所述基片顶部正对着喷洒装置，所述喷洒装置垂直嵌合在真空室内部顶部，所述喷洒装置通过真空室与基片连为一体，所述真空室顶部设有抽气泵，所述抽气泵穿插连接在真空室内部，所述真空室一侧设有抽真空管，所述抽真空管与真空室相接通，所述抽真空管另一端嵌套在真空泵上，所述真空泵通过真空管与真空室相接通，所述真空泵通过电线与操作面板电连接，所述操作面板与真空室连为一体。

作为发明内容的进一步改进，所述喷洒装置包括有喷嘴、导管、调节槽、固定板、加热器、活动件，所述加热器和活动件上各设有五个喷嘴，喷嘴等距安装在导管上，所述导管嵌固在活动件内部，所述加热器两侧设有活动件，所述加热器两端与两块活动件一端相扣接，所述加热器平行贴合在固定板底部，所述固定板与加热器连为一体，所述固定板内部设有调节槽，所述调节槽与固定板采用活动卡合方式配合，所述调节槽两端与活动件贯穿相接通，所述调节槽通过固定板安装在真空室顶部，所述加热器和活动件底部正对着基片。

作为发明内容的进一步改进，所述喷嘴包括有连接腔、分流槽、导流叶片、接口，所述连接腔两端设有分流槽和导流叶片，所述分流槽与导流叶片设在同一直线上，所述分流槽和导流叶片通过连接腔连为一体，所述导流叶片安装在接口上，所述接口与导流叶片相接通，所述接口通过导流叶片与连接腔连为一体，所述接口安装在加热器和活动件上，接口与加热器和活动件相连通。

作为发明内容的进一步改进，所述分流槽包括有盘体、出口、分流管、分流导件、导入口，所述盘体上设有分流管，所述分流管贯穿嵌合在盘体上，所述分流管上设有出口，所述出口与分流管相接通，所述分流管贯穿盘体与分流导件相连通，所述分流导件设有五个，五个分流导件固定在盘体内部，所述盘体一端设有导入口，所述导入口嵌固在盘体上，所述导入口通过盘体与分流导件连为一体，所述盘体扣合在连接腔顶部，所述盘体通过连接腔与导流叶片连为一体。

作为发明内容的进一步改进，所述盘体包括有接管、输出管、防回流板，所述接管安装在防回流板一端，所述防回流板另一端设有输出管，所述输出管贯穿防回流板与接管相接通，所述接管一端连接在盘体上，所述接管通过盘体与连接腔相通，所述输出管一端与分流管相接通。

作为发明内容的进一步改进，所述防回流板包括有左扣板、密封圈、卡套、右扣板、牵拉弹件、铰链、挡板，所述左扣板和右扣板连接在卡套底部，所述左扣板、右扣板远离卡套的一端均通过铰链连接有挡板，所述左扣板、右扣板的内侧面均通过牵拉弹件与挡板朝向卡套的一端面连接，所述卡套上设有接管，所述接管垂直嵌套在卡套内部，所述卡套底部与输出管一端相接，所述卡套内壁紧贴于输出管外壁。

作为发明内容的进一步改进，所述调节槽包括有卡持件、卡盘、拉绳、粘附板，所述卡持件设在卡盘两侧，所述卡持件平行插嵌在卡盘两侧，所述卡持件内部设有拉绳，所述拉绳贯穿卡持件连接在卡盘内部，所述卡盘内部安装有粘附板，所述粘附板与卡盘采用活动卡合方式配合，所述拉绳通过卡盘与粘附板相接，所述卡盘设在固定板的中间位置上，所述卡盘扣合在固定板，所述卡盘通过固定板安装在真空室上，所述拉绳设有两条，两条拉绳分别连接在两个活动件上。

作为发明内容的进一步改进，所述卡持件包括有通孔、导接板、限位块、牵制件、导向板，所述通孔安装在牵制件与导接板之间，所述导接板连接在限位块一端，所述限位块与导接板固定连接，所述导接板底部与通孔顶部相连接，所述通孔底部贯穿连接在牵制件上，所述牵制件与导向板连为一体，所述导向板顶部与牵制件底部相贴合，所述导向板底部嵌合在卡盘两侧，所述卡盘与导向板通过拉绳连通，所述拉绳一端贯穿连接在两块导接板之间。

作为发明内容的进一步改进，所述牵制件包括有腔体、转轮、卡齿、定位转杆，所述腔体内部设有两根定位转杆，所述定位转杆上安装有转轮，所述转轮上设有卡齿，所述卡齿焊接在转轮，所述转轮与卡齿连为一体，所述转轮与定位转杆采用活动卡合方式配合，所述转轮通过定位转杆与腔体相连，所述腔体顶部设有通孔，所述通孔与腔体连为一体，所述拉绳贯穿通孔连接在腔体内部，所述拉绳与卡齿相接通，所述腔体底部连接于导向板上，所述腔体固定连接在导向板上。

本发明一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，具有以下有益效果：

1、本发明设置连接腔、导流叶片、接口的结构设置，导管将蒸发源材料输送到接口输送上，工作人员通过操作面板控制导流叶片，导流叶片进行转动的转动，将接口上的蒸发源材料快速稳定的输送到连接腔内部，通过连接腔对蒸发源材料进行存储，提高蒸发源材料的输送效率。

2、本发明设置盘体、出口、分流管、分流导件、接管、输出管、防回流板的结构设置，接管将盘体将内部的蒸发源材料均匀稳定的分布到输出管上，防回流板安装在接管与输出管之间，防止蒸发源材料从接管与输出管之间的连接处漏出，再用输出管将接收到的蒸发源材料导向分流管上，分流管将蒸发源材料等量稳定的通过每个出口输出，保证蒸发源材料可以均匀的喷洒在金属薄膜上。

3、本发明设置腔体、转轮、卡齿、定位转杆的结构设置，两个转轮带动动卡齿向内部进行转动，拉绳跟随着转轮的转动向下输出到卡盘内部进行收卷，拉绳在受到外部活动件的牵拉，两个转轮上的卡齿会互相产生互斥力对拉绳进行挤压，使得拉绳不会因受到外部活动件的牵拉而出现回转现象，可以快速的将活动件的角度调整到与金属薄膜相对的角度。

综上所述，本发明采用基片、喷洒装置、抽气泵、真空室、抽真空管、真空泵、操作面板的结合设置形成新的薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，输出管将蒸发源材料导向分流管上，分流管将蒸发源材料等量稳定的通过每个出口进行喷洒，拉绳通过导接板将输入到通孔上，转轮带动卡齿进行旋转活动，使得拉绳可以快速稳定的进行收卷，使得活动件的角度与金属薄膜相平行，可以将蒸发源材料均匀的喷洒在金属薄膜的每个位置上，保证蒸镀后的金属薄膜的厚度一致、层次均匀，提高金属薄膜的良品率和电容器的使用质量。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的结构示意图；

图2为本发明喷洒装置的平面结构示意图。

图3为本发明喷嘴的剖面结构示意图。

图4为本发明分流槽的内部结构示意图。

图5为图4中A的放大结构示意图。

图6为本发明防回流板的剖面结构示意图。

图7为本发明调节槽的剖面结构示意图。

图8为本发明卡持件的内部结构示意图。

图9为本发明牵制件的剖面结构示意图。

图中：基片-1、喷洒装置-2、抽气泵-3、真空室-4、抽真空管-5、真空泵-6、操作面板-7、喷嘴-21、导管-22、调节槽-23、固定板-24、加热器-25、活动件-26、连接腔-211、分流槽-212、导流叶片-213、接口-214、盘体-121、出口-122、分流管-123、分流导件-124、导入口-125、接管-r1、输出管-r2、防回流板-r3、左扣板r31、密封圈r32、卡套r33、右扣板r34、卡持件-231、卡盘-232、拉绳-233、粘附板-234、通孔-311、导接板-312、限位块-313、牵制件-314、导向板-315、腔体-s1、转轮-s2、卡齿-s3、定位转杆-s4。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例一

请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其结构包括基片1、喷洒装置2、抽气泵3、真空室4、抽真空管5、真空泵6、操作面板7，所述基片1设在真空室4内部，所述基片1固定连接在真空室4内部，所述基片1顶部正对着喷洒装置2，所述喷洒装置2垂直嵌合在真空室4内部顶部，所述喷洒装置2通过真空室4与基片1连为一体，所述真空室4顶部设有抽气泵3，所述抽气泵3穿插连接在真空室4内部，所述真空室4一侧设有抽真空管5，所述抽真空管5与真空室4相接通，所述抽真空管5另一端嵌套在真空泵6上，所述真空泵6通过真空管5与真空室4相接通，所述真空泵6通过电线与操作面板7电连接，所述操作面板7与真空室4连为一体。

请参阅图2，所述喷洒装置2包括有喷嘴21、导管22、调节槽23、固定板24、加热器25、活动件26，所述加热器25和活动件26上各设有五个喷嘴21，喷嘴21等距安装在导管22上，所述导管22嵌固在活动件26内部，所述加热器25两侧设有活动件26，所述加热器25两端与两块活动件26一端相扣接，所述加热器25平行贴合在固定板24底部，所述固定板24与加热器25连为一体，所述固定板24内部设有调节槽23，所述调节槽23与固定板24采用活动卡合方式配合，所述调节槽23两端与活动件26贯穿相接通，所述调节槽23通过固定板24安装在真空室4顶部，所述加热器25和活动件26底部正对着基片1。

上述的导管22是用于将蒸发源材料均匀的导在喷嘴21上，加热器25连接在导管22上，通过导管22将加热器内部的蒸发源材料均匀等量的导向喷嘴21上，通过喷嘴21将蒸发源材料均匀的喷洒在金属薄膜上。

请参阅图3，所述喷嘴21包括有连接腔211、分流槽212、导流叶片213、接口214、导入口125，所述连接腔211两端设有分流槽212和导流叶片213，所述分流槽212与导流叶片213设在同一直线上，所述分流槽212和导流叶片213通过连接腔211连为一体，所述导流叶片213安装在接口214上，所述接口214与导流叶片213相接通，所述盘体121一端设有导入口125，所述导入口125嵌固在盘体121上，所述导入口125通过盘体121与分流导件124连为一体，所述接口214通过导流叶片213与连接腔211连为一体，所述接口214安装在加热器25和活动件26上，接口214与加热器25和活动件26相连通。

上述的导流叶片213是用于配合接口214输出蒸发源材料，导管22将蒸发源材料输送到接口214上，工作人员通过操作面板7驱动导流叶片213，使得导流叶片213可以进行转动，导流叶片213会提高蒸发源材料的输入效率，使得蒸发源材料可以快速的通过导流叶片213输送到连接腔211内部。

请参阅图4，所述分流槽212包括有盘体121、出口122、分流管123、分流导件124、导入口125，所述盘体121上设有分流管123，所述分流管123贯穿嵌合在盘体121上，所述分流管123上设有出口122，所述出口122与分流管123相接通，所述分流管123贯穿盘体121与分流导件124相连通，所述分流导件124设有五个，五个分流导件124固定在盘体121内部，所述所述盘体121一端设有导入口125，所述导入口125嵌固在盘体121上，所述导入口125通过盘体121与分流导件124连为一体，所述盘体121扣合在连接腔211顶部，所述盘体121通过连接腔211与导流叶片213连为一体。

上述的分流管123是用于将盘体121内部的蒸发源材料均匀的导出，蒸发源材料通过导流叶片213导向连接腔211内部，连接腔211再将蒸发源材料输送到分流管123上，分流管123可以将蒸发源材料等量稳定的输出，五根分流管123构成扇形结构，五根分流管123内部的蒸发源材料从五个角度均匀的输出到真空室4内部，保证蒸发源材料可以均匀的导在待淀积的基片1上。

请参阅图5，所述盘体121包括有接管r1、输出管r2、防回流板r3，所述接管r1安装在防回流板r3一端，所述防回流板r3另一端设有输出管r2，所述输出管r2贯穿防回流板r3与接管r1相接通，所述接管r1一端连接在盘体121上，所述接管r1通过盘体121与连接腔211相通，所述输出管r2一端与分流管123相接通。

上述的接管r1是用于配合输出管r2，盘体121接收到连接腔211的蒸发源材料，接管r1一端连接在盘体121上，盘体121将蒸发源材料输送到接管r1上，接管r1再将蒸发源材料通过输出管r2输送到分流管123上，保证蒸发源材料可以均匀稳定的输送到金属薄膜上的每个位置上。

请参阅图6，所述防回流板r3包括有左扣板r31、密封圈r32、卡套r33、右扣板r34、牵拉弹件r35、铰链r36、挡板r37，所述左扣板r31和右扣板r34连接在卡套r33底部，所述卡套r33与密封圈r32相贴合，所述左扣板r31和右扣板r34上设有挡板r37，所述左扣板r31、右扣板r34远离卡套r33的一端均通过铰链r36连接有挡板r37，所述左扣板r31、右扣板r34的内侧面均通过牵拉弹件r35与挡板r37朝向卡套r33的一端面连接，所述卡套r33上设有接管r1，所述接管r1垂直嵌套在卡套r33内部，所述卡套r33底部与输出管r2一端相接，所述卡套r33内壁紧贴于输出管r2外壁。

上述的左扣板r31和右扣板r34是用于防止蒸发源材料回流，当蒸发源材料通过接管r1输送到输出管r2时，挡板r37会受到蒸发源材料的重力通过铰链r36向外打开，通过牵拉弹件r35对挡板r37的活动位置进行牵制，防止挡板r37受到蒸发源材料的重力向外展开的角度过大，使得蒸发源材料可以稳定通过接管r1输送到输出管r2上，当接管r1内部的蒸发源材料导出完成后，挡板r37在没有重力的情况下，牵拉弹件r35会将挡板r37向内牵拉，使得挡板r37复位进行闭合，可以将蒸发源材料稳定的输到输出管r2上，不会出现回流现象。

实施例二

请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其结构包括基片1、喷洒装置2、抽气泵3、真空室4、抽真空管5、真空泵6、操作面板7，所述基片1设在真空室4内部，所述基片1固定连接在真空室4内部，所述基片1顶部正对着喷洒装置2，所述喷洒装置2垂直嵌合在真空室4内部顶部，所述喷洒装置2通过真空室4与基片1连为一体，所述真空室4顶部设有抽气泵3，所述抽气泵3穿插连接在真空室4内部，所述真空室4一侧设有抽真空管5，所述抽真空管5与真空室4相接通，所述抽真空管5另一端嵌套在真空泵6上，所述真空泵6通过真空管5与真空室4相接通，所述真空泵6通过电线与操作面板7电连接，所述操作面板7与真空室4连为一体。

请参阅图2，所述喷洒装置2包括有喷嘴21、导管22、调节槽23、固定板24、加热器25、活动件26，所述加热器25和活动件26上各设有五个喷嘴21，喷嘴21等距安装在导管22上，所述导管22嵌固在活动件26内部，所述加热器25两侧设有活动件26，所述加热器25两端与两块活动件26一端相扣接，所述加热器25平行贴合在固定板24底部，所述固定板24与加热器25连为一体，所述固定板24内部设有调节槽23，所述调节槽23与固定板24采用活动卡合方式配合，所述调节槽23两端与活动件26贯穿相接通，所述调节槽23通过固定板24安装在真空室4顶部，所述加热器25和活动件26底部正对着基片1。

上述的导管22是用于将蒸发源材料均匀的导在喷嘴21上，加热器25连接在导管22上，通过导管22将加热器内部的蒸发源材料均匀等量的导向喷嘴21上，通过喷嘴21将蒸发源材料均匀的喷洒在金属薄膜上。

请参阅图7，所述调节槽23包括有卡持件231、卡盘232、拉绳233、粘附板234，所述卡持件231设在卡盘232两侧，所述卡持件231平行插嵌在卡盘232两侧，所述卡持件231内部设有拉绳233，所述拉绳233贯穿卡持件231连接在卡盘232内部，所述卡盘232内部安装有粘附板234，所述粘附板234与卡盘232采用活动卡合方式配合，所述拉绳233通过卡盘232与粘附板234相接，所述卡盘232设在固定板24的中间位置上，所述卡盘232扣合在固定板24，所述卡盘232通过固定板24安装在真空室4上，所述拉绳233设有两条，两条拉绳233分别连接在两个活动件26上。

上述的粘附板234是用于连接拉绳233，拉绳233通过卡持件231连接到粘附板234上，通过粘附板234将拉绳233的一端固定粘附在卡盘232内部，使得拉绳233可以稳定的对两块活动件26的角度进行调整。

请参阅图8，所述卡持件231包括有通孔311、导接板312、限位块313、牵制件314、导向板315，所述通孔311安装在牵制件314与导接板312之间，所述导接板312连接在限位块313一端，所述限位块313与导接板312固定连接，所述导接板312底部与通孔311顶部相连接，所述通孔311底部贯穿连接在牵制件314上，所述牵制件314与导向板315连为一体，所述导向板315顶部与牵制件314底部相贴合，所述导向板315底部嵌合在卡盘232两侧，所述卡盘232与导向板315通过拉绳233连通，所述拉绳233一端贯穿连接在两块导接板312之间。

上述的限位块313是用于限制导接板312的位置，拉绳233贯穿接通在两块导接板312之间，导接板312会受到拉绳233向上或者向下的摩擦力而出现移位，通过限位块313对导接板312的位置进行定位限制，保证导接板312可以稳定的配合拉绳233进行上下活动。

请参阅图9，所述牵制件314包括有腔体s1、转轮s2、卡齿s3、定位转杆s4，所述腔体s1内部设有两根定位转杆s4，所述定位转杆s4上安装有转轮s2，所述转轮s2上设有卡齿s3，所述卡齿s3焊接在转轮s2，所述转轮s2与卡齿s3连为一体，所述转轮s2与定位转杆s4采用活动卡合方式配合，所述转轮s2通过定位转杆s4与腔体s1相连，所述腔体s1顶部设有通孔311，所述通孔311与腔体s1连为一体，所述拉绳233贯穿通孔311连接在腔体s1内部，所述拉绳233与卡齿s3相接通，所述腔体s1底部连接于导向板315上，所述腔体s1固定连接在导向板315上。

上述的转轮s2是用于配合卡齿s3，拉绳233贯穿接通在两根定位转杆s4之间，转轮s2带动卡齿s3进行旋转活动，两个转轮s2上的卡齿s3会互相配合对拉绳233进行牵制输出，卡齿s3的弧面会与拉绳233相吻合，使得拉绳233可以快速稳定的进行收卷，保证拉绳233不会受到外部的牵拉力出现回转现象。

下面对上述技术方案中的工作原理作如下说明：

本发明在进行使用时，将基片1放置在真空室上，通过操作面板7启动真空泵3进行抽真空，使真空室2完全处于一个真空状态，操控喷洒装置2内部的加热器25进行蒸镀作业，加热器25把蒸发源材料加热到较高的温度，使蒸发源内部的材料获得足够的能量，脱离蒸发源表面的束缚而蒸发，通过喷嘴21将蒸发源材料导出到真空中成为蒸气原子或分子，当遇到待淀积的基片1时，就沉积在基片表面，形成一层薄的金属膜，提高金属薄膜的蒸镀效率。

在对金属薄膜进行蒸镀时，加热器25与导管22相接，加热器25将内部的蒸发源材料输送到导管22上，导管22将蒸发源材料均匀等量的输送到接口214输送上，工作人员通过操作面板控制导流叶片213，导流叶片213在紧张转动会产生一定的风力，接口214上的蒸发源材料受到导流叶片213风力的影响可以快速稳定的流动到连接腔211内部，通过连接腔211对蒸发源材料进行存储，输送到连接腔211内部的蒸发源材料通过匀速的输送到盘体121内部，接管r1一端与盘体121内端相接，盘体121将内部的蒸发源材料均匀稳定的分布到五根接管r1上，五根接管r1再将蒸发源材料导向输出管r2，防回流板r3安装在接管r1与输出管r2之间，蒸发源材料通过接管r1输送到输出管r2，挡板r37会受到蒸发源材料的重力通过铰链r36向外打开，通过牵拉弹件r35对挡板r37的活动位置进行牵制，防止挡板r37受到蒸发源材料的重力向外展开的角度过大，使得蒸发源材料可以稳定通过接管r1输送到输出管r2上，当接管r1内部的蒸发源材料导出完成后，挡板r37在没有重力的情况下，牵拉弹件r35会将挡板r37向内牵拉，使得挡板r37复位进行闭合，可以将蒸发源材料稳定的输到输出管r2上，不会出现回流现象，再用输出管r2将接收到的蒸发源材料导向分流管123上，五根分流管123构成扇形结构，五根分流管123内部的蒸发源材料从五个角度均匀的输出到真空室4内部，蒸发源材料通过出口122导出到真空室4中成为蒸气原子或分子，当遇到待淀积的基片1时，就沉积在基片表面，形成一层薄的金属膜。

蒸发源材料在进行喷洒时，拉绳233的一端通过卡持件231固定接在粘附板234上，通过粘附板234将拉绳233的一端固定粘附在卡盘232内部，使得拉绳233可以对两块活动件26的角度进行调整，拉绳233卡接在两块导接板312之间，导接板312会受到拉绳233向上或者向下的摩擦力而出现移位，通过限位块313对导接板312的位置进行定位支撑，使得导接板312可以稳定的配合拉绳233进行上下活动，通过导接板312将拉绳233稳定的输入到通孔311上，拉绳233通过通孔311伸入到牵制件314内部，拉绳233在收卷过程中，拉绳233的另一端会受到两块活动件26向外的牵拉，拉绳233稳定的卡接在两根定位转杆s4之间，卡齿s3的弧面会与拉绳233相吻合，转轮s2带动卡齿s3进行旋转活动，两个转轮s2都会向内部进行转动，使得两个转轮s2上的卡齿s3会呈相对面，拉绳233跟随着转轮s2的转动进行向下输出，可以对拉绳233进行卡固，使得拉绳233可以快速稳定的进行收卷，拉绳233在受到外部活动件26的牵拉，两个转轮s2上的卡齿s3会互相产生互斥力对拉绳进行挤压，使得拉绳233不会因受到外部活动件26的牵拉而出现回转现象，可以快速的将活动件26的角度调整到与金属薄膜相对的角度，活动件26上的多个喷嘴21可以将蒸发源材料均匀稳定的喷洒在金属薄膜的每个位置上，使得金属薄膜可以受热均匀，保证蒸镀后的金属薄膜的厚度一致、层次均匀，提高金属薄膜的良品率和电容器的使用质量。

综上所述，本发明通过设置喷洒装置，导流叶片将接口上的蒸发源材料输送到连接腔内部，盘体将蒸发源材料均匀提高接管分布到输出管上，输出管再将蒸发源材料导向分流管上，分流管将蒸发源材料等量稳定的通过每个出口进行喷洒，拉绳通过导接板将输入到通孔上，拉绳稳定的卡接在两根定位转杆之间，转轮带动卡齿进行旋转活动，拉绳跟随着转轮的转动进行向下输出，可以对拉绳进行卡固，使得拉绳可以快速稳定的进行收卷，能实现活动件的角度可以调整到与金属薄膜相对的角度，保证蒸镀后的金属薄膜的厚度一致、层次均匀，提高金属薄膜的良品率和电容器的使用质量。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。