一种磁控溅射镀膜工装

技术领域

本发明属于生产工装领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜工装。

背景技术

磁控溅射是钕铁硼的一种镀膜方法，属于物理气相沉积的一种，磁控溅射需要使用专门的磁控溅射镀膜设备采用直流磁控溅射的方法，将烧结钕铁硼作为基本体，将镝或者铽作为其靶材，在磁控溅射设备里面注入氩气，经过电子和氩原子发生碰撞后产生了氩离子和新的电子，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，靶材表面的镝或者铽原子脱离原晶格而逸出转移并渗透在钕铁硼表面，且在整个溅射过程中腔内会产生高温，镝或者铽原子在溅射时具有方向性，一次只能溅射靠近靶材的一面，想要对钕铁硼产品的另一边进行渗透须要取出设备腔内盛有产品的工装，将产品一片一片从工装内取出翻面后再放回工装内，以进行反面的磁控溅射工序，需要大量时间来进行翻面，生产效率低。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种操作简单、翻面效率高的磁控溅射镀膜工装。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种磁控溅射镀膜工装，包括底板与多个放置架，所述底板与旋转轴固定连接，多个所述放置架首尾拼接围绕所述底板圆周设置，且每个所述放置架与所述底板之间均为转动连接，每个所述放置架的端部与所述底板之间为可拆卸连接，每个所述放置架上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓，且每个所述放置架的内侧设置有内溅射窗口与料仓相连通、所述放置架的外侧设置有外溅射窗口与料仓相连通。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述底板上固定设置有多个芯轴，所述芯轴的数量与所述放置架的数量一一对应，所述芯轴穿过放置架，将所述放置架与所述底板进行转动连接。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述放置架的其中一端设置有转动块，每个所述芯轴穿过相对应的转动块使得所述放置架与所述底板转动连接，且所述放置架的另一端与所述底板可拆卸连接，每个所述放置架对应一个工位，当料仓内的产品远离底板中心的一面被溅射完成后，每个放置架绕着芯轴向着同一圆周方向的下一个工位进行旋转，将内溅射窗口与外溅射窗口进行翻面。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，每个所述放置架的另一端靠近所述底板的一面设置有定位销，所述底板上设置有多个定位孔，所述定位销与其中一个相对应的定位孔插接固定。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述料仓的两端分别设置有弧形过渡角。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述底板包括固定板，所述固定板与旋转轴相固定，所述固定板的圆周方向上间隔设置有多个连接板，所述连接板的数量与芯轴的数量相对应，所述芯轴、所述定位孔均设置在所述连接板远离所述固定板的一端。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述连接板远离所述固定板的一端固定设置有连接块，芯轴固定在连接块上，且每个所述连接块上设置有两个定位孔，两个所述定位孔分别分布在芯轴的两侧。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，相邻两个所述连接板之间设置有加强板。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述固定板的中心设置有通孔，所述固定板上固定设置有衬套，旋转轴穿过所述通孔、所述衬套后与所述衬套相固定。

在上述的一种磁控溅射镀膜工装中，所述衬套与所述固定板焊接固定，且所述固定板的圆周方向上间隔设置有间隙。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

(1)、一面镀膜完毕后将放置架进行旋转翻面，即可对产品的另一面进行溅射镀膜，相比较传统的对产品进行逐一翻面的镀膜工艺，旋转放置架一次对多个产品进行翻面，节约翻面时间；且通过对放置架进行旋转翻面，更加省力，翻面效率更高；

(2)、料仓的两端分别设置有弧形过渡角，通过设置有弧形过渡角可减少在产品放取过程中的碰撞造成的不良产生，且弧形过渡角可适用于不同宽度尺寸的产品，可有效拓展不同产品的使用空间，利用率更高；

(3)、衬套与固定板焊接固定，固定板的圆周方向上间隔设置有间隙，防止固定板焊接变形。

附图说明

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明的仰视图；

图3是本发明中放置架的立体结构示意图；

图4是本发明的底板的立体结构示意图。

图中，底板100；固定板101；连接板102；连接块103；加强板104；衬套105；间隙106；芯轴204；放置架200；料仓201；内溅射窗口202；外溅射窗口203；转动块204；定位销205；定位孔206；弧形过渡角207。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

如图1-图4所示，一种磁控溅射镀膜工装，包括底板100与多个放置架200，底板100与旋转轴(图中未示出)固定连接，多个放置架200首尾拼接围绕底板100圆周设置，且每个放置架200与底板100之间均为转动连接，每个放置架200的端部与底板100之间为可拆卸连接，每个放置架200上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓201，且每个放置架200的内侧设置有内溅射窗口202与料仓201相连通、放置架200的外侧设置有外溅射窗口203与料仓201相连通。

一种磁控溅射镀膜工装，包括底板100与多个放置架200，底板100与旋转轴固定连接，多个放置架200首尾拼接围绕底板100圆周设置，且每个放置架200与底板100之间均为转动连接，每个放置架200的端部与底板100之间为可拆卸连接，每个放置架200上均设置有用于放置产品的具有上端开口的料仓201，每个料仓201内均可放置多个产品，且每个放置架200的内侧设置有内溅射窗口202与料仓201相连通、放置架200的外侧设置有外溅射窗口203与料仓201相连通，先将产品逐个放入料仓201内，然后通过旋转轴带动底板100转动，此时磁控溅射机对产品远离底板100的一面进行镀膜，一面镀膜完毕后将放置架200进行旋转翻面，即可对产品的另一面进行溅射镀膜，相比较传统的对产品进行逐一翻面的镀膜工艺，旋转放置架200一次对多个产品进行翻面，节约翻面时间；且通过对放置架200进行旋转翻面，更加省力，翻面效率更高。

作为优选，底板100上固定设置有多个芯轴204，芯轴204的数量与放置架200的数量一一对应，芯轴204穿过放置架200，将放置架200与底板100进行转动连接。

在本实施例中，多个芯轴204固定设置在底板100上，芯轴204的数量与放置架200的数量一一对应，芯轴204穿过放置架200，将放置架200与底板100进行转动连接。

进一步优选地，放置架200的其中一端设置有转动块204，每个芯轴204穿过相对应的转动块204使得放置架200与底板100转动连接，且放置架200的另一端与底板100可拆卸连接，每个放置架200对应一个工位，当料仓201内的产品远离底板100中心的一面被溅射完成后，每个放置架200绕着芯轴204向着同一圆周方向的下一个工位进行旋转，将内溅射窗口202与外溅射窗口203进行翻面。

在本实施例中，底板100上固定设置有多个芯轴204，芯轴204的数量与放置架200的数量相对应，放置架200的其中一端设置有转动块204，每个芯轴204穿过相对应的转动块204使得放置架200与底板100转动连接，且放置架200的另一端与底板100可拆卸连接，将转动块204设置在端部，使得在拥有相同长度料仓201的情况下，可放置更多块的产品，若是将转动块204设置在放置架200的中心或其他位置上，转动块204会占据一定的料仓201空间，减少产品的放置量，且每个放置架200对应一个工位，当料仓201内的产品远离底板100中心的一面被溅射完成后，每个放置架200绕着芯轴204向着同一圆周方向的下一个工位进行旋转，将内溅射窗口202与外溅射窗口203进行翻面，非常方便、快接，减少产品的翻面时间。

作为优选，每个放置架200的另一端靠近底板100的一面设置有定位销205，底板100上设置有多个定位孔206，定位销205与其中一个相对应的定位孔206插接固定。

在本实施例中，每个放置架200的另一端靠近底板100的一面设置有定位销205，底板100上设置有多个定位孔206，定位销205与其中一个相对应的定位孔206插接固定，当放置架200需要旋转翻面时，将放置架200向上拨出一定距离，定位销205从定位孔206里脱离，然后旋转放置架200，即可实现放置架200的旋转翻面，且将转动块204设置在放置架200的端部，那么定位销205设置在放置架200的另一端即可在溅射镀膜过程中对放置架200进行固定，若是转动块204设置在放置架200的中心或其他位置，那么需要在放置架200的两端分别设置有定位销205与定位孔206对放置架200进行固定，使得该放置架200的产品结构上更加复杂、成本经济增加，且使用起来更加麻烦。

进一步优选地，料仓201的两端分别设置有弧形过渡角207。

在本实施例中，料仓201的两端分别设置有弧形过渡角207，通过设置有弧形过渡角207可减少在产品放取过程中的碰撞造成的不良产生，且弧形过渡角207可适用于不同宽度尺寸的产品，可有效拓展不同产品的使用空间，利用率更高。

作为优选，底板100包括固定板101，固定板101与旋转轴相固定，固定板101的圆周方向上间隔设置有多个连接板102，连接板102的数量与芯轴204的数量相对应，芯轴204、定位孔206均设置在连接板102远离固定板101的一端。

在本实施例中，底板100包括固定板101以及在固定板101的圆周方向上间隔设置的多个连接板102，在满足支撑强度的前提下，间隔设置的多个连接板102的使用材料更少，经济成本较好，且在溅射镀膜工装使用一段时间后都需要对工装进行清理，而通过设置有间隔设置的连接板102，可有效减少工装的清理时间。

进一步优选地，连接板102远离固定板101的一端固定设置有连接块103，芯轴204固定在连接块103上，且每个连接块103上设置有两个定位孔206，两个定位孔206分布在芯轴204的两侧。

在本实施例中，连接板102远离固定板101的一端固定设置有连接块103，芯轴204固定在连接块103上，且每个连接块103上设置有两个定位孔206，两个定位孔206分别分布在芯轴204的两侧。

进一步优选地，相邻两个连接板102之间设置有加强板104。

在本实施例中，相邻两个连接板102之间还设置有加强板104对连接板102的支撑强度进行加强。

进一步优选地，固定板101的中心设置有通孔，固定板101上固定设置有衬套105，旋转轴穿过通孔、衬套105后与衬套105相固定。

在本实施例中，固定板101的中心设置有通孔，固定板101上固定设置有衬套105，旋转轴穿过通孔、衬套105后与衬套105相固定。

进一步优选地，衬套105与固定板101焊接固定，且固定板101的圆周方向上间隔设置有间隙106。

在本实施例中，衬套105与固定板101焊接固定，固定板101的圆周方向上间隔设置有间隙106，防止固定板101焊接变形。

需要说明的是，在本发明中如涉及“第一”、“第二”、“一”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。