处理装置、测定装置以及测定方法

本申请以日本专利申请2021-168495(申请日2021年10月14日)为基础，从该申请享有优先的利益。本申请通过参照该申请，包括该申请的全部内容。

技术领域

本发明的实施方式涉及处理装置、测定装置以及测定方法。

背景技术

例如，存在对光学部件等的特性进行测定的测定装置。在测定装置中，期望提高准确度。

发明内容

本发明的实施方式提供能够提高准确度的处理装置、测定装置以及测定方法。

根据本发明的实施方式，处理装置包括取得部以及处理部。所述取得部以及所述处理部能够实施第一动作。所述取得部在所述第一动作中取得第一像数据、第二像数据以及第三像数据。所述第一像数据包括与来自所述第一像数据中的第一背景像的包括第一图案的第一光所通过后的对象部件的第一对象部件像有关的数据。所述第二像数据包括与来自所述第二像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第二光所通过后的所述对象部件的第二对象部件像有关的数据。所述第三像数据包括与来自所述第三像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第三光所通过后的所述对象部件的第三对象部件像有关的数据。所述第二像数据中的所述第一背景像与所述第二像数据中的所述对象部件之间的第二相对位置不同于所述第一像数据中的所述第一背景像与所述第一像数据中的所述对象部件之间的第一相对位置。所述第三像数据中的所述第一背景像与所述第三像数据中的所述对象部件之间的第三相对位置，与所述第一相对位置不同，并与所述第二相对位置不同。所述处理部在所述第一动作中，基于所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据，导出第一导出数据。

根据上述结构的处理装置，能够提供能够提高准确度的处理装置、测定装置以及测定方法。

附图说明

图1是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的示意性立体图。

图2的(a)～图2的(c)是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的动作的示意图。

图3的(a)～图3的(d)是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的动作的示意图。

图4是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的动作的示意图。

图5是例示第一实施方式的处理装置的示意图。

图6是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的动作的示意图。

图7的(a)～图7的(c)是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的示意图。

图8是例示第一实施方式的处理装置的示意图。

[附图标记说明]

10D…位置变更部、11、11a～11c…第一背景像、11D…第一背景像控制部、12…第二背景像、18a、18b…光源、31a～31d…第一～第四偏振滤光器、32a、32b…第一、第二光开关、33a、33b…第一、第二分束器、41…对象部件、41A…一部分、41D…对象部件控制部、41a～41f…第一～第六对象部件像、51、52…第一、第二摄像部、51D…第一摄像部控制部、51x…像素、70…处理装置、71…取得部、72…处理部、73…存储部、74…显示部、75…输出部、78…位置控制部、Δx1、Δx2…第一、第二差、Δxp…差、110、111…测定装置、Ci…信息、DA1…第一保存数据、DA2、DA3…数据、Dd1～Dd3…第一～第三导出数据、Di1～Di6…第一～第六像数据、L0…光、L1～L6…第一～第六光、OP1、OP2…第一、第二动作、PS1～PS3…测定位置、Ps1～Ps3…第一～第三位置、Psi…测定位置信息、Px…位置、RP1～RP3…第一～第三相对位置、RPp1…第一导出相对位置、S11、S12…步骤、ST1～ST3…第一～第三状态、Sig1～Sig3…第一～第三信号、V1～V4…测定值、Va1、Va2、Va4…差、Vm0、Vm1、Vm2、Vmp…值、m1～m3…测定、pp1…间距、x0、x1、x2、xp1…位置

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的各实施方式进行说明。

附图是示意性或概念性的，各部分的厚度与宽度的关系、部分间的大小的比率等未必与现实相同。即使在表示相同的部分的情况下，也存在根据附图而彼此的尺寸、比率不同地表示的情况。

在本申请说明书和各图中，对于已出现的图，对与上述相同的要素标注相同的附图标记并适当省略详细的说明。

(第一实施方式)

图1是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的示意性立体图。

如图1所示，实施方式的测定装置110包括处理装置70。在该例子中，测定装置110还包括位置变更部10D及第一摄像部51。测定装置110可以包括第一背景像11。

处理装置70包括取得部71以及处理部72。取得部71以及处理部72能够实施第一动作OP1。取得部71在第一动作OP1中取得第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3。处理部72在第一动作OP1中，基于第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3，导出第一导出数据Dd1。处理部72能够将所导出的第一导出数据Dd1输出。关于第一导出数据Dd1的例子在后面叙述。

位置变更部10D例如能够变更第一背景像11与对象部件41之间的相对位置。第一摄像部51例如能够取得第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3。由第一摄像部51取得的这些数据被供给至取得部71。

在该例子中，测定装置110包括第一背景像控制部11D以及对象部件控制部41D。第一背景像控制部11D能够控制第一背景像11的空间位置。对象部件控制部41D能够控制对象部件41的空间位置。在该例子中，测定装置110包括第一摄像部控制部51D。第一摄像部控制部51D能够控制第一摄像部51的空间位置。第一背景像控制部11D以及对象部件控制部41D中的至少任一个可以包括在位置变更部10D中。第一摄像部控制部51D可以包括在位置变更部10D中。

处理装置70也可以包括位置控制部78。处理装置70(例如位置控制部78)也可以将第一信号Sig1供给至第一背景像控制部11D来控制第一背景像控制部11D的动作。处理装置70(例如位置控制部78)也可以将第二信号Sig2供给至对象部件控制部41D来控制对象部件控制部41D的动作。处理装置70(例如位置控制部78)也可以将第三信号Sig3供给至第一摄像部控制部51D来控制第一摄像部控制部51D的动作。

例如，位置控制部78也可以由处理部72控制。例如，位置控制部78也可以视为处理部72的一部分。例如，处理部72也可以控制位置变更部10D以及第一摄像部51(例如第一摄像部控制部51D)中的至少任一个。

将从第一背景像11向对象部件41的第一方向设为Z轴方向。将与Z轴方向垂直的一个方向设为X轴方向。将与Z轴方向以及X轴方向垂直的方向设为Y轴方向。

第一背景像控制部11D能够变更第一背景像11在X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向上的位置。对象部件控制部41D能够变更对象部件41在X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向上的位置。第一摄像部控制部51D能够变更第一摄像部51在X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向上的位置。

在该例子中，从光源18a射出的光L0入射到成为第一背景像11的部件。从成为第一背景像11的部件射出的光入射到对象部件41。从对象部件41射出的光入射到第一摄像部51。第一摄像部51能够取得从对象部件41射出的光，生成与像有关的数据。

在实施方式中，第一背景像11也可以是来自任意的显示装置的像。例如，从发光型的显示装置获得的图像可以用作第一背景像11。在该情况下，能够省略光源18a。发光型的显示装置例如也可以基于LED等。第一背景像11可以包括任意的图案(第一图案、图形)。第一图案可以基于印刷了圆点图案的片材(纸或树脂片材等)。在使用发光型的显示装置的情况下，显示装置所包括的多个像素(多个发光元件)能够成为第一图案。

对象部件41使从第一背景像11射出的光的至少一部分通过。对象部件41成为测定的对象。例如，测定装置110(或处理装置70)能够测定或评价对象部件41的特性。特性可以包括折射率、应力、温度、压力、应变以及密度中的至少任一种。折射率可以包括双折射率。对象部件41的特性(折射率等)可以具有空间分布。测定装置110(或处理装置70)可以对对象部件41中的特性(折射率等)的空间分布进行评价。

在实施方式中，第一摄像部51生成至少3个像数据(第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3)。取得部71取得这至少3个像数据。

图2的(a)～图2的(c)是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的动作的示意图。

图2的(a)～图2的(c)分别对应于第一～第三状态ST1～ST3。在这3个状态相互之间，第一背景像11与对象部件41之间的相对位置相互不同。例如，也可以以对象部件41的位置为基准，而第一背景像11的位置在3个状态相互之间不同。例如，也可以以第一背景像11的位置为基准，而对象部件41的位置在3个状态的相互之间不同。也可以与相对位置的变化联动地变更第一摄像部51的位置。在图2的(a)～图2的(c)所示的例子中，对象部件41的位置实质上被固定，第一背景像11的位置被变更。

在该例子中，第二状态ST2下的第一背景像11的第二位置Ps2与第一状态ST1下的第一背景像11的第一位置Ps1不同。第三状态ST3下的第一背景像11的第三位置Ps3与第一位置Ps1不同，也与第二位置Ps2不同。例如，相对位置在与第一方向(Z轴方向)交叉的第二方向上不同。第二方向例如是X轴方向。相对位置的变化的第二方向可以是沿着X-Y平面的任意方向。

第二位置Ps2与第一位置Ps1之差(第二方向上的距离)为第一差Δx1。第三位置Ps3与第一位置Ps1之差(第二方向上的距离)为第二差Δx2。在该例子中，第二差Δx2比第一差Δx1大。

从第一状态ST1下的第一背景像11射出的第一光L1入射到对象部件41。通过对象部件41的第一光L1入射到第一摄像部51。从第一摄像部51得到第一像数据Di1。第一像数据Di1对应于通过对象部件41的第一光L1。

从第二状态ST2下的第一背景像11射出的第二光L2入射到对象部件41。通过对象部件41的第二光L2入射到第一摄像部51。从第一摄像部51得到第二像数据Di2。第二像数据Di2对应于通过对象部件41的第二光L2。

从第三状态ST3下的第一背景像11射出的第三光L3入射到对象部件41。通过对象部件41的第三光L3入射到第一摄像部51。从第一摄像部51得到第三像数据Di3。第三像数据Di3对应于通过对象部件41的第三光L3。

在第一状态ST1下，获得第一像数据Di1。在第二状态ST2下，获得第二像数据Di2。在第三状态ST3下，获得第三像数据Di3。第一光L1、第二光L2以及第三光L3包括第一背景像11所包括的图案(第一图案、图形)。

在第一状态ST1下，第一像数据Di1中的第一背景像11与第一像数据Di1中的对象部件41之间的相对位置是第一相对位置RP1。在第二状态ST2下，第二像数据Di2中的第一背景像11与第二像数据Di2中的对象部件41之间的相对位置是第二相对位置RP2。在第三状态ST3下，第三像数据Di3中的第一背景像11与第三像数据Di3中的对象部件41之间的相对位置是第三相对位置RP3。

图3的(a)～图3的(d)是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的动作的示意图。

图3的(a)例示了对象部件41。在该例子中，对象部件41是光学部件。对象部件41例如是透镜。透镜例如可以置于与透镜的折射率匹配的折射率匹配介质中。折射率匹配介质例如可以包括液体。折射率匹配介质也可以省略。在该例子中，对象部件41的一部分41A被摄像。

图3的(b)对应于第一像数据Di1。第一像数据Di1包括与来自第一像数据Di1中的第一背景像11a的第一光L1所通过后的对象部件41的第一对象部件像41a有关的数据。第一像数据Di1例如包括与来自第一状态ST1下的第一背景像11a的第一光L1所通过后的对象部件41的第一对象部件像41a有关的数据。第一像数据Di1也可以包括与第一像数据Di1中的第一背景像11a和来自第一像数据Di1中的第一背景像11a的第一光L1所通过后的对象部件41的第一对象部件像41a有关的数据。第一像数据Di1例如也可以包括与第一状态ST1下的第一背景像11a和来自第一状态ST1下的第一背景像11a的第一光L1所通过后的对象部件41的第一对象部件像41a有关的数据。

图3的(c)对应于第二像数据Di2。第二像数据Di2包括与来自第二像数据Di2中的第一背景像11b的第二光L2所通过后的对象部件41的第二对象部件像41b有关的数据。第二像数据Di2例如包括与来自第二状态ST2下的第一背景像11b的第二光L2所通过后的对象部件41的第二对象部件像41b有关的数据。第二像数据Di2也可以包括与第二像数据Di2中的第一背景像11b和来自第二像数据Di2中的第一背景像11b的第二光L2所通过后的对象部件41的第二对象部件像41b有关的数据。第二像数据Di2例如包括与第二状态ST2下的第一背景像11b和来自第二状态ST2下的第一背景像11b的第二光L2所通过后的对象部件41的第二对象部件像41b有关的数据。

图3的(d)对应于第三像数据Di3。第三像数据Di3包括与来自第三像数据Di3中的第一背景像11c的第三光L3所通过后的对象部件41的第三对象部件像41c有关的数据。第三像数据Di3例如包括与第三状态ST3下的第一背景像11c和来自第三状态ST3下的第一背景像11c的第三光L3所通过后的对象部件41的第三对象部件像41c有关的数据。第三像数据Di3也可以包括与第三像数据Di3中的第一背景像11c和来自第三像数据Di3中的第一背景像11c的第三光L3所通过后的对象部件41的第三对象部件像41c有关的数据。第三像数据Di3例如也可以包括与第三状态ST3下的第一背景像11c和来自第三状态ST3下的第一背景像11c的第三光L3所通过后的对象部件41的第三对象部件像41c有关的数据。

第二像数据Di2中的第一背景像11b与第二像数据Di2中的对象部件41之间的第二相对位置RP2，不同于第一像数据Di1中的第一背景像11a与第一像数据Di1中的对象部件41之间的第一相对位置RP1。

第三像数据Di3中的第一背景像11c与第三像数据Di3中的对象部件41之间的第三相对位置RP3，不同于第一相对位置RP1。第三相对位置RP3不同于第二相对位置RP2。

处理部72在第一动作OP1中，基于这样的第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3，导出后述的第一导出数据Dd1。

例如，处理部72在第一动作OP1中得到第一差Δx1以及第二差Δx2。在第一背景像11通过位置控制部78等而被移动的情况下，从位置控制部78等向处理部72供给与第一差Δx1以及第二差Δx2有关的信息。如图3的(c)所示，第一差Δx1对应于第一相对位置RP1与第二相对位置RP2之差。如图3的(d)所示，第二差Δx2对应于第一相对位置RP1和第三相对位置RP3之间的差。处理部72在第一动作OP1中，基于第一差Δx1以及第二差Δx2，导出第一导出数据Dd1。

第一导出数据Dd1包括与第一图案的位移量有关的数据。第一导出数据Dd1的导出中的、第一背景像11与对象部件41之间的第一导出相对位置，与第二相对位置RP2不同，并与第三相对位置RP3不同。

图4是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的动作的示意图。

图4的横轴是第二方向(例如X轴方向)上的位置Px。从第一背景像11射出并通过了对象部件41后的光，根据对象部件41的特性(上述的密度等)的分布，行进方向发生变化。由第一摄像部51得到的像数据包括与通过了对象部件41后的光中的第一背景像11的行进方向的变化(位移量)有关的值。例如，在第一背景像11从基准的位置移动到位置Px的位置时，由第一摄像部51得到的像数据(测定值)中的移动量λ，除了第一背景像11向位置Px的移动量(差Δxp)以外，还包括与对象部件41的特性的分布对应的位移量λp有关的值。测定的第一图案的移动量λ对应于与对象部件41的特性的分布对应的位移量λp。

与对象部件41的特性的分布对应的位移量λp例如对应于来自基准的位置处的第一背景像11的光通过了对象部件41后的像中的各点(第一图案)、与来自位置Px处的第一背景像11的光通过了对象部件41后的像中的各点(第一图案)之间的距离(被测定的第一图案的移动量λ)。图4的纵轴表示像数据中的值Vm0。值Vm0例如对应于上述测定到的距离(第一图案的移动量λ)同基准的位置与位置Px之间的距离之差。基准的位置例如是第一状态ST1下的第一背景像11的第一位置Ps1。

如图4所示，第一状态ST1下的第一背景像11的第一位置Ps1与位置x0对应。第二状态ST2下的第一背景像11的第二位置Ps2与位置x1对应。第三状态ST3下的第一背景像11的第三位置Ps3与位置x2对应。位置x0与位置x1之间的差(第二方向上的距离)与第一差Δx1对应。位置x0与位置x2之间的差(第二方向上的距离)与第二差Δx2对应。

如图4所示，在第一背景像11的第二位置Ps2(第二状态ST2)，得到值Vm1。例如，从第一像数据Di1以及第二像数据Di2获得值Vm1。在第一背景像11的第三位置Ps3(第三状态ST3)，获得值Vm2。例如，从第一像数据Di1以及第三像数据Di3获得值Vm2。基于第一差Δx1、第二差Δx2、值Vm1以及值Vm2，能够导出任意的位置Px处的值Vm0(第一图案的位移量λp)。

例如，能够基于第一差Δx1、第二差Δx2、值Vm1以及值Vm2来导出函数。函数可以包括线性函数或多项函数。基于函数，能够导出任意的位置Px处的值Vm0。

例如，第一导出数据Dd1例如与任意的位置Px处的值Vm0对应。第一导出数据Dd1例如与一个位置xp1(参照图4)处的值Vmp对应。图4所例示的位置xp1与上述的第一导出相对位置对应。如图4所示，第一导出数据Dd1的导出中的、第一背景像11与对象部件41之间的第一导出相对位置RPp1(与位置xp1对应)，与第二相对位置RP2不同，并与第三相对位置RP3不同。

如已经说明的那样，第一光L1(参照图2的(a))沿着从第一像数据Di1中的第一背景像11向对象部件41的第一方向(Z轴方向)。第二相对位置RP2在与第一方向交叉的第二方向上与第一相对位置RP1不同。第三相对位置RP3在第二方向上与第一相对位置RP1不同。第二方向例如是沿着X-Y平面的一个方向，例如是X轴方向。第一导出相对位置RPp1在第二方向上与第二相对位置RP2不同，在第二方向上与第三相对位置RP3不同。

例如，第一导出相对位置RPp1在第二方向上与位置xp1对应。位置x0与位置xp1之间的差(第二方向上的距离)与差Δxp对应。在一个例子中，第一相对位置RP1与第一导出相对位置RPp1之差Δxp的绝对值小于第一差Δx1的绝对值，小于第二差Δx2的绝对值。第一导出相对位置RPp1也可以与第一相对位置RP1实质上一致。

例如，第一导出数据Dd1与以第一位置Ps1为基准时的第一背景像11的移动(位置的变化)较小的情况下的数据相对应。与小的移动(位置的微小的变化)对应的数据作为第一导出数据Dd1而得到。

在一个例子中，值Vmp(第一图案的位移量λp)可以基于以下的第一式导出。

[数学式1]

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在第一式中，“n”是对象部件41的折射率。如已经说明的那样，折射率可以具有空间上的分布。第一图案的位移量λp对应于第一图案的移动量λ与差Δxp之差。第一导出数据Dd1例如是值Vmp，对应于将第一图案的位移量λp除以差Δxp而标准化后的值。第一导出数据Dd1与折射率的2阶微分的值对应。第一导出数据Dd1例如对应于折射率梯度的空间微分。第一导出数据Dd1对应于与第一背景像11的移动方向有关的2层的空间微分。

根据实施方式，例如能够更准确地得到与较小的移动对应的第一导出数据Dd1。

例如，作为上述的第二像数据Di2以及第三像数据Di3，若想要得到较小的移动距离的像数据，则在像数据中容易产生噪声。噪声例如被认为是起因于在以像素间距程度的移动量移动两个图像、并使用周边的像素的亮度分布等来推测移动量的情况下产生的噪声。噪声例如有时也起因于检测一个像素以下的移动时的光流的算法。例如，难以抑制噪声并取得较小移动距离的图像数据。例如，在利用马达进行移动的情况下，马达的1步的移动量的偏差、或者从马达到背景像设置的驱动传递机构中的偏差等可能成为噪声。在通过显示器内的图像的移动进行移动的情况下，无法进行比像素间距短的距离的移动这一情况可能成为噪声。

在实施方式中，作为第二像数据Di2以及第三像数据Di3，能够使用较大的移动距离的像数据。由此，能够抑制噪声。基于较大的移动距离的第二像数据Di2以及第三像数据Di3，导出任意的移动距离的第一导出数据Dd1。由此，能够在抑制噪声的同时得到例如2阶微分的特性。更高的正确度的测定在实用上是可能的。

在实施方式中，第一背景像11的移动方向(第二方向)也可以相对于X轴方向交叉(例如倾斜)。在该情况下，例如，也可以根据测定出的图像，针对X轴方向以及Y轴方向分别计算图案的位移，针对X轴方向以及Y轴方向，得到各个2阶空间微分量。或者，也可以将移动方向定义为X轴方向。X轴方向也可以与空间的重量方向交叉。

上述的第一导出数据Dd1(例如值Vmp)例如可以沿着X-Y平面被二维导出。例如，能够得到对象部件41的光学特性的面内分布。

图5是例示第一实施方式的处理装置的示意图。

取得像数据的第一摄像部51包括多个像素。图5例示了图像中(图像中)的多个像素51x的一部分。多个像素51x具有第二方向(在本例中为X轴方向)上的间距pp1。

例如，在一个例子中，第一相对位置RP1与第一导出相对位置RPp1之差Δxp(参照图4)的绝对值可以是第一摄像部51的多个像素51x的第二方向上的间距pp1在第一像数据Di1的像中的长度的5倍以下。差Δxp的绝对值也可以是第一摄像部51的多个像素51x的第二方向上的间距pp1在第一像数据Di1的像中的长度以下。例如，在利用第一摄像部51检测间距pp1以下的移动量时进行子像素位置的推定。在差Δxp的绝对值为第一摄像部51的多个像素51x的第二方向上的间距pp1在第一像数据Di1的像中的长度以下的情况下，能够有效地抑制由子像素位置的推定引起的噪声。

另一方面，第一差Δx1以及第二差Δx2可以较大。例如，第一差Δx1的绝对值以及第二差Δx2的绝对值可以比第一摄像部51的多个像素51x的第二方向上的间距pp1在第一像数据Di1的像中的长度的5倍大。如已经说明的那样，第一摄像部51取得第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3。

在实施方式中，例如也可以预先取得并存储与多个相对位置的第一背景像11有关的数据。

在实施方式中，例如，第二位置Ps2(位置x1)处于第一位置Ps1(位置x0)与第三位置Ps3(位置x2)之间(参照图4)。在实施方式中，第一位置Ps1(位置x0)也可以位于第二位置Ps2(位置x1)与第三位置Ps3(位置x2)之间。移动的方向(正负)是任意的。

图6是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的动作的示意图。

如图6所示，从处理装置70的位置控制部78向第一背景像控制部11D供给第一信号Sig1，控制第一背景像控制部11D。也可以从处理装置70的位置控制部78向对象部件控制部41D供给第二信号Sig2，控制对象部件控制部41D的动作。相对位置的变更可以通过第一背景像控制部11D以及对象部件控制部41D中的至少任一个来进行。例如，从第一背景像控制部11D向处理部72供给测定位置信息Psi。另一方面，从第一摄像部51得到的像数据(第一～第三像数据Di1～Di3等)被供给至处理部72。处理装置70例如可以作为测定方法司令部发挥功能。

例如，上述的测定方法司令部的动作可以基于第一保存数据DA1来实施。通过第一保存数据DA1来定义测定中的第一背景像11的位置(相对位置：Δx、Δy、Δz)。例如，测定m1中的位置由位置(x1，y1，z1)定义。测定m2中的位置由位置(x1，y2，z2)定义。测定m3中的位置由位置(x1，y3，z3)定义。

基于由第一保存数据DA1定义的位置，变更第一背景像控制部11D以及对象部件控制部41D中的至少任一个的位置，进行第一摄像部51的摄像(像数据的取得)。这样，第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3可以基于第一保存数据DA1而取得。第一保存数据DA1包括与多个相对位置有关的信息，该多个相对位置与第一背景像11及对象部件41有关。

在处理部72中，取得与测定位置以及测定值的组有关的数据DA2(信息)。例如，取得包括测定位置PS1和测定位置PS1处的测定值V1的组，作为数据DA2的一部分保存。例如，取得包括测定位置PS2和测定位置PS2处的测定值V2的组，作为数据DA2的一部分保存。例如，取得包括测定位置PS3和测定位置PS3处的测定值V3的组，作为数据DA2的一部分保存。数据DA2涉及包括第一背景像11及对象部件41在内的数据图像。

处理部72例如基于数据DA2导出与移动量或位移量有关的数据DA3。例如，导出测定值V1与测定值V2之差Va1，作为数据DA3的一部分而保存。例如，导出测定值V1与测定值V3之差Va2，作为数据DA3的一部分而保存。例如，导出测定值V1与测定值V4之差Va4，作为数据DA3的一部分而保存。

处理部72基于数据DA3，将任意的位置xp(例如位置xp1)的值Vmp(参照图4)作为第一导出数据Dd1导出。

第一保存数据DA1、数据DA2及数据DA3可以存储于任意的存储部。

在实施方式中，如上所述，也可以设置定义第一背景像11的位置的表(第一保存数据DA1)。在实施方式中，也可以设置与测定不足有关的检测功能。例如，取得部71在第一动作OP1中取得多个像数据。多个像数据中的一个包括与多个状态的一个状态下的第一背景像11和来自多个状态的上述一个状态下的第一背景像11的光所通过后的对象部件41的像有关的数据。处理部72包括在第一动作OP1中基于多个像数据以及第一保存数据DA1的至少一部分而导出第一导出数据Dd1的处理。处理部72能够在第一动作OP1中对多个像数据以及第一保存数据DA1的上述的至少一部分进行比较而输出与不足数据有关的信息Ci。例如，也可以利用信息Ci来进行测定。由此，能够进行高效的测定。

在实施方式中，可以基于对第一背景像11的位置进行定义的表(第一保存数据DA1)，通过插补来导出不包括在表中的位置。也可以基于插补后的位置进行测定(像数据的取得)。插补可以包括任意函数(例如线性函数或多项函数等)。

在实施方式中，可以使用基于与移动量有关的多个差(例如，第一差Δx1以及第二差Δx2)的任意的函数。函数可以存储在任意的存储部中。任意的函数例如可以包括线性函数或者多项函数(例如样条函数)。

在实施方式中，第一导出数据Dd1可以包括基于与移动量有关的多个差(例如，第一差Δx1以及第二差Δx2)的微分值。微分值例如可以包括2阶微分值。

如关于图3的(a)所说明的那样，也可以对对象部件41的一部分41A进行上述动作。在该情况下，也可以变更摄像区域，取得与多个摄像区域有关的像数据。例如，在较大的对象部件41的情况下，进行扫描后的测定(像数据的取得)。在该情况下，也可以变更对象部件41的空间位置。例如，也可以变更第一摄像部51及第一背景像11的空间位置。位置的变更的方向可以包括X轴方向的分量以及Y轴方向的分量中的至少任一个。位置的变更的方向可以包括以Z轴方向为轴的旋转的方向的成分。位置的变更的方向可以包括Z轴方向的成分。

在实施方式的测定装置110中，也可以设置预先确定的动作序列。预定的动作序列例如能够在用户进行测定之前实施。通过该动作序列，也可以导出适当的移动。

实施方式也可以应用于多个测定装置。有时在多个测定装置各自中存在固有的偏差。也可以设置与多个测定装置分别对应的上述的第一保存数据DA1。

如已经说明的那样，在实施方式中，作为第一背景像11，也可以应用显示装置(发光元件)。也可以从显示装置射出具有颜色的光。在这种情况下，图像数据可以包括与多个颜色(例如，红色、绿色和蓝色)的各个光有关的信息。在实施方式中，例如也可以取得多个发光波长各自中的数据。数据也可以由第一摄像部51得到。

第一背景像11也可以包括与长度有关的信息(例如标度)。例如，图像数据可以包括与第一背景像11中包括的长度有关的信息。容易掌握拍摄中的倍率。

在实施方式中，也可以应用校正数据。校正数据例如包括与特性(折射率、应力、温度、压力、应变、或密度等)已知的部件有关的数据。例如，也可以设置有专用的移动台等。

在实施方式中，也可以实施第二动作。

图7的(a)～图7的(c)是例示第一实施方式的处理装置以及测定装置的示意图。

图7的(a)所示的实施方式的测定装置111(以及处理装置70)能够进行第一动作OP1以及第二动作OP2。测定装置111包括处理装置70、第一背景像11、第二背景像12、第一摄像部51以及第二摄像部52。

在第一背景像11与对象部件41之间的光路上设置有第一分束器33a。在对象部件41与第一摄像部51之间的光路上设置有第二分束器33b。

在图7的(b)所示的第一动作OP1中，从第一背景像11射出的光(第一～第三光L1～L3)经由第一分束器33a入射到对象部件41。通过了对象部件41后的光经由第二分束器33b入射到第一摄像部51。在第一摄像部51中，取得多个像数据(第一～第三像数据Di1～Di3)。

在图7的(c)所示的第二动作OP2中，从第二背景像12射出的光(第四～第六光L4～L6)经由第一分束器33a入射到对象部件41。通过了对象部件41后的光经由第二分束器33b入射到第二摄像部52。在第二摄像部52中，取得多个像数据(第四～第六像数据Di4～Di6)。第二背景像12包括第二图案。

第一动作OP1以及第二动作OP2能够切换而实施。

如图7的(c)所示，例如，取得部71以及处理部72能够进一步实施第二动作OP2。取得部71在第二动作OP2中取得第四像数据Di4、第五像数据Di5以及第六像数据Di6。

第四像数据Di4包括与来自第四像数据Di4中的第二背景像12的包括第二图案的第四光L4所通过后的对象部件41的第四对象部件像41d有关的数据。第四像数据Di4也可以包括与第四像数据Di4中的第二背景像12和来自第四像数据Di4中的第二背景像12的包括第二图案的第四光L4所通过后的对象部件41的第四对象部件像41d有关的数据。

第五像数据Di5包括与来自第五像数据Di5中的第二背景像12的包括第二图案的第五光L5所通过后的对象部件41的第五对象部件像41e有关的数据。第五像数据Di5也可以包括与第五像数据Di5中的第二背景像12和来自第五像数据Di5中的第二背景像12的包括第二图案的第五光L5所通过后的对象部件41的第五对象部件像41e有关的数据。

第六像数据Di6包括与来自第六像数据Di6中的第二背景像12的包括第二图案的第六光L6所通过后的对象部件41的第六对象部件像41f有关的数据。第六像数据Di6也可以包括与第六像数据Di6中的第二背景像12和来自第六像数据Di6中的第二背景像12的包括第二图案的第六光L6所通过后的对象部件41的第六对象部件像41f有关的数据。

第五像数据Di5中的第二背景像12与第五像数据Di5中的对象部件41之间的第五相对位置，不同于第四像数据Di4中的第二背景像12与第四像数据Di4中的对象部件41之间的第四相对位置。第六像数据Di6中的第二背景像12与第六像数据Di6中的对象部件41之间的第六相对位置，与第四相对位置不同，并与第五相对位置不同。

处理部72在第二动作OP2中，基于第四像数据Di4、第五像数据Di5以及第六像数据Di6，导出第二导出数据Dd2。

第二导出数据Dd2包括与第二图案的位移量有关的数据。第二导出数据Dd2的导出中的第二背景像12与对象部件41之间的第二导出相对位置与第五相对位置不同，并与第六相对位置不同。

处理部72能够在第二动作OP2中输出第三导出数据Dd3即可(参照图7的(a))。第三导出数据Dd3包括第一导出数据Dd1与第二导出数据Dd2的差。

通过使用两个导出数据，能够以更高的时间分辨率实施测定。

在该例子中，在第一背景像11与第一分束器33a之间的光路上设置有第一偏振滤光器31a。在第二分束器33b与第一摄像部51之间的光路上设置有第二偏振滤光器31b。第一～第三光L1～L3成为偏振光。

在该例子中，在第二背景像12与第一分束器33a之间的光路上设置有第三偏振滤光器31c。在第二分束器33b与第二摄像部52之间的光路上设置有第四偏振滤光器31d。第四～第六光L4～L6成为偏振光。

第一偏振滤光器31a的偏振轴与第三偏振滤光器31c的偏振轴交叉。例如，第一偏振滤光器31a的偏振轴与第三偏振滤光器31c的偏振轴正交。第一光L1的偏振方向与第四光L4的偏振方向交叉。例如，第一光L1的偏振方向与第四光L4的偏振方向正交。

通过使用了不同偏振方向的多个光的测定，例如能够得到与双折射率有关的信息。例如，能够有效地检测(测定)包括密度、折射率、应力及温度中的至少任一个的物理量。在使用偏振光的情况下，在分束器中，偏振面实质上不变化(旋转)。

在该例子中，来自光源18a的光入射到第一背景像11，生成第一～第三光L1～L3。来自光源18b的光入射到第二背景像12，生成第四～第六光L4～L6。第一背景像11以及第二背景像12中的至少一个可以包括发光元件(例如，显示装置等)。

在该例子中，在第一背景像11与第一分束器33a之间的光路上设置有第一光开关32a(快门)。在第二背景像12与第一分束器33a之间的光路上设置有第二光开关32b(快门)。也可以通过这些光开关来切换第一动作OP1以及第二动作OP2。

图8是例示第一实施方式的处理装置的示意图。

图8是与处理装置70有关的框图。如图8所示，处理装置70包括取得部71以及处理部72。处理装置70例如也可以包括输出部75。处理部72也可以经由输出部75输出处理结果(例如第一导出数据Dd1等)。输出部75例如是输出端口。取得部71也可以具有输入功能以及输出功能。在该情况下，输出部75可以省略。取得部71例如是输入输出端口。处理部72例如包括电路(电子电路)等。处理部72例如可以包括CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)等。

处理装置70可以包括存储部73。存储部73能够存储上述的信息(数据)。存储部73例如可以包括磁记录装置以及半导体存储装置中的至少任一个。存储部73例如可以包括ROM(Read Only Memory：只读存储器)以及RAM(RandomAccess Memory：随机存取存储器)中的至少任一个。处理装置70可以包括显示部74等。显示部74也可以具有输入功能。

(第二实施方式)

第二实施方式涉及测定方法。在实施方式的测定方法中，可以实施关于第一实施方式所说明的处理及测定的至少一部分。

在实施方式的测定方法中，实施第一动作OP1。在第一动作OP1中，取得第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3(图1的步骤S11)。在第一动作OP1中，基于第一像数据Di1、第二像数据Di2以及第三像数据Di3，导出第一导出数据Dd1(图1的步骤S12)。

如关于图3的(b)所说明的那样，第一像数据Di1包括与来自第一像数据Di1中的第一背景像11a的包括第一图案的第一光L1所通过后的对象部件41的第一对象部件像41a有关的数据。第一像数据Di1也可以包括与第一像数据Di1中的第一背景像11a和来自第一像数据Di1中的第一背景像11a的包括第一图案的第一光L1所通过后的对象部件41的第一对象部件像41a有关的数据。

如关于图3的(c)所说明的那样，第二像数据Di2包括与来自第二像数据Di2中的第一背景像11b的包括第一图案的第二光L2所通过后的对象部件41的第二对象部件像41b有关的数据。第二像数据Di2也可以包括与第二像数据Di2中的第一背景像11b和来自第二像数据Di2中的第一背景像11b的包括第一图案的第二光L2所通过后的对象部件41的第二对象部件像41b有关的数据。

如关于图3的(d)所说明的那样，第三像数据Di3包括与来自第三像数据Di3中的第一背景像11c的包括第一图案的第三光L3所通过后的对象部件41的第三对象部件像41c有关的数据。第三像数据Di3也可以包括与第三像数据Di3中的第一背景像11c和来自第三像数据Di3中的第一背景像11c的包括第一图案的第三光L3所通过后的对象部件41的第三对象部件像41c有关的数据。

第二像数据Di2中的第一背景像11b与第二像数据Di2中的对象部件41之间的第二相对位置RP2，不同于第一像数据Di1中的第一背景像11a与第一像数据Di1中的对象部件41之间的第一相对位置RP1。第三像数据Di3中的第一背景像11c与第三像数据Di3中的对象部件41之间的第三相对位置RP3，与第一相对位置RP1不同，并与第二相对位置RP2不同。

在实施方式的测定方法中，也可以在第一动作OP1中，基于第一相对位置RP1与第二相对位置RP2的第一差Δx1、以及第一相对位置RP1与第三相对位置RP3的第二差Δx2，导出第一导出数据Dd1。第一导出数据Dd1包括与第一图案的位移量λp有关的数据。第一导出数据Dd1的导出中的第一背景像11与对象部件41之间的第一导出相对位置RPp1，与第二相对位置RP2不同，并与第三相对位置RP3不同。

在实施方式的测定方法中，第一光L1沿着从第一像数据Di1中的第一背景像11向对象部件41的第一方向(例如Z轴方向)(参照图2的(a))。第二相对位置RP2在与第一方向交叉的第二方向上与第一相对位置RP1不同(参照图2的(b))。第二方向例如沿着沿着X-Y平面的一个方向(例如X轴方向)。第三相对位置RP3在第二方向上与第一相对位置RP1不同(参照图2的(c))。

第一导出相对位置RPp1在第二方向上与第二相对位置RP2不同，在第二方向上与第三相对位置RP3不同(参照图4)。第一相对位置RP1与第一导出相对位置RPp1之差Δxp的绝对值小于第一差Δx1的绝对值，并小于第二差Δx2的绝对值(参照图4)。

在实施方式的测定方法中，例如，第一相对位置RP1与第一导出相对位置RPp1之差Δxp的绝对值为，取得第一像数据Di1、第二像数据Di2及第三像数据Di3的第一摄像部51的多个像素51x的第二方向上的间距pp1(参照图5)在第一像数据Di1的像中的长度的5倍以下。

在实施方式的测定方法中，例如，第一差Δx1的绝对值以及第二差Δx2的绝对值大于间距pp1在第一像数据Di1的像中的长度的5倍。

例如，第一背景像11与对象部件41之间的相对位置的移动量有时被第一背景像11的移动部或用于第一背景像11的显示装置的像素间距等限制。在实施方式中，能够导出任意的移动量的测定值。

在实施方式的一个例子中，对象部件41例如可以是固体(例如光学部件等)。在实施方式的另一例中，对象部件41也可以是液体或气体。在对象部件41为固体、液体或气体的情况下，对象部件41的位置是固体、液体或气体的空间位置。

实施方式可以包括以下的结构。

(结构1)

一种处理装置，具备：

取得部；以及

处理部，

所述取得部以及所述处理部能够实施第一动作，

所述取得部在所述第一动作中取得第一像数据、第二像数据以及第三像数据，

所述第一像数据包括与来自所述第一像数据中的第一背景像的包括第一图案的第一光所通过后的对象部件的第一对象部件像有关的数据，

所述第二像数据包括与来自所述第二像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第二光所通过后的所述对象部件的第二对象部件像有关的数据，

所述第三像数据包括与来自所述第三像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第三光所通过后的所述对象部件的第三对象部件像有关的数据，

所述第二像数据中的所述第一背景像与所述第二像数据中的所述对象部件之间的第二相对位置，不同于所述第一像数据中的所述第一背景像与所述第一像数据中的所述对象部件之间的第一相对位置，

所述第三像数据中的所述第一背景像与所述第三像数据中的所述对象部件之间的第三相对位置，与所述第一相对位置不同，并与所述第二相对位置不同，

所述处理部在所述第一动作中，基于所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据，导出第一导出数据。

(结构2)

根据结构1所述的处理装置，

所述处理部在所述第一动作中，基于所述第一相对位置与所述第二相对位置的第一差、以及所述第一相对位置与所述第三相对位置的第二差，导出所述第一导出数据，

所述第一导出数据包括与所述第一图案的位移量有关的数据，

所述第一导出数据的所述导出中的、所述第一背景像与所述对象部件之间的第一导出相对位置，与所述第二相对位置不同，并与所述第三相对位置不同。

(结构3)

根据结构2所述的处理装置，

所述第一光沿着从所述第一像数据中的所述第一背景像向所述对象部件的第一方向，

所述第二相对位置在与所述第一方向交叉的第二方向上与所述第一相对位置不同，

所述第三相对位置在所述第二方向上与所述第一相对位置不同。

(结构4)

根据结构3所述的处理装置，所述第一导出相对位置在所述第二方向上与所述第二相对位置不同，并在所述第二方向上与所述第三相对位置不同。

(结构5)

根据结构2至4中任一项所述的处理装置，所述第一相对位置与所述第一导出相对位置之差的绝对值，小于所述第一差的绝对值，并小于所述第二差的绝对值。

(结构6)

根据结构5所述的处理装置，所述第一相对位置与所述第一导出相对位置之差的所述绝对值是取得所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据的第一摄像部的多个像素在所述第二方向上的间距在所述第一像数据的像中的长度的5倍以下。

(结构7)

根据结构5所述的处理装置，所述第一差的所述绝对值以及所述第二差的所述绝对值，大于取得所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据的第一摄像部的多个像素在所述第二方向上的间距在所述第一像数据的像中的长度的5倍。

(结构8)

根据结构1～7中任一项所述的处理装置，

所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据是基于第一保存数据而取得的，

所述第一保存数据包括与多个相对位置有关的信息，该多个相对位置与所述第一背景像以及所述对象部件有关。

(结构9)

根据结构8所述的处理装置，

所述取得部在所述第一动作中取得多个像数据，

所述多个像数据中的一个像数据包括与多个状态中的一个状态下的所述第一背景像和来自所述多个状态中的所述一个状态下的所述第一背景像的光所通过后的所述对象部件的像有关的数据，

所述处理部包括：在所述第一动作中，基于所述多个像数据以及所述第一保存数据的至少一部分来导出所述第一导出数据，

所述处理部在所述第一动作中，能够对所述多个像数据以及所述第一保存数据的所述至少一部分进行比较而输出与不足数据有关的信息。

(结构10)

根据结构1至9中任一项所述的处理装置，

所述取得部以及所述处理部能够进一步实施第二动作，

所述取得部在所述第二动作中取得第四像数据、第五像数据以及第六像数据，

所述第四像数据包括与来自所述第四像数据中的第二背景像的包括第二图案的第四光所通过后的所述对象部件的第四对象部件像有关的数据，

所述第五像数据包括与来自所述第五像数据中的所述第二背景像的包括所述第二图案的第五光所通过后的所述对象部件的第五对象部件像有关的数据，

所述第六像数据包括与来自所述第六像数据中的所述第二背景像的包括所述第二图案的第六光所通过后的所述对象部件的第六对象部件像有关的数据，

所述第五像数据中的所述第二背景像与所述第五像数据中的所述对象部件之间的第五相对位置，不同于所述第四像数据中的所述第二背景像与所述第四像数据中的所述对象部件之间的第四相对位置，

所述第六像数据中的所述第二背景像与所述第六像数据中的所述对象部件之间的第六相对位置，与所述第四相对位置不同，并与所述第五相对位置不同，

所述处理部在所述第二动作中，基于所述第四像数据、所述第五像数据以及所述第六像数据，导出第二导出数据，

所述第二导出数据包括与所述第二图案的位移量有关的数据，

所述第二导出数据的所述导出中的、所述第二背景像与所述对象部件之间的第二导出相对位置，与所述第五相对位置不同，并与所述第六相对位置不同，

所述处理部在所述第二动作中能够输出第三导出数据，该第三导出数据包括所述第一导出数据与所述第二导出数据之差。

(结构11)

根据结构10所述的处理装置，

所述第四像数据还包括与所述第四像数据中的所述第二背景像有关的数据，

所述第五像数据还包括与所述第五像数据中的所述第二背景像有关的数据，

所述第六像数据还包括与所述第六像数据中的所述第二背景像有关的数据。

(结构12)

根据结构10或11所述的处理装置，所述第一光的偏振方向与所述第四光的偏振方向交叉。

(结构13)

根据结构1至12中任一项所述的处理装置，

所述第一像数据还包括与所述第一像数据中的所述第一背景像有关的数据，

所述第二像数据还包括与所述第二像数据中的所述第一背景像有关的数据，

所述第三像数据还包括与所述第三像数据中的所述第一背景像有关的数据。

(结构14)

一种测定装置，具备：

结构1～5中任一项所述的处理装置；

位置变更部，能够变更所述第一背景像与所述对象部件之间的相对位置；以及

第一摄像部，能够取得所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据。

(结构15)

根据结构14所述的测定装置，

所述处理部能够控制所述位置变更部以及所述第一摄像部中的至少任一个。

(结构16)

一种测定方法，

取得第一像数据、第二像数据以及第三像数据，基于所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据，实施导出第一导出数据的第一动作，

所述第一像数据包括与来自所述第一像数据中的第一背景像的包括第一图案的第一光所通过后的对象部件的第一对象部件像有关的数据，

所述第二像数据包括与来自所述第二像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第二光所通过后的所述对象部件的第二对象部件像有关的数据，

所述第三像数据包括与来自所述第三像数据中的所述第一背景像的包括所述第一图案的第三光所通过后的所述对象部件的第三对象部件像有关的数据，

所述第二像数据中的所述第一背景像与所述第二像数据中的所述对象部件之间的第二相对位置，不同于所述第一像数据中的所述第一背景像与所述第一像数据中的所述对象部件之间的第一相对位置，

所述第三像数据中的所述第一背景像与所述第三像数据中的所述对象部件之间的第三相对位置，与所述第一相对位置不同，并与所述第二相对位置不同。

(结构17)

根据结构16所述的测定方法，

在所述第一动作中，基于所述第一相对位置与所述第二相对位置的第一差、以及所述第一相对位置与所述第三相对位置的第二差，导出所述第一导出数据，

所述第一导出数据包括与所述第一图案的位移量有关的数据，

所述第一导出数据的所述导出中的、所述第一背景像与所述对象部件之间的第一导出相对位置，与所述第二相对位置不同，并与所述第三相对位置不同。

(结构18)

根据结构17所述的测定方法，

所述第一光沿着从所述第一像数据中的所述第一背景像向所述对象部件的第一方向，

所述第二相对位置在与所述第一方向交叉的第二方向上与所述第一相对位置不同，

所述第三相对位置在所述第二方向上与所述第一相对位置不同。

(结构19)

根据结构18所述的测定方法，所述第一导出相对位置在所述第二方向上与所述第二相对位置不同，并在所述第二方向上与所述第三相对位置不同。

(结构20)

根据结构16至18中任一项所述的测定方法，所述第一相对位置与所述第一导出相对位置之差的绝对值，小于所述第一差的绝对值，并小于所述第二差的绝对值。

(结构21)

根据结构20所述的测定方法，所述第一相对位置与所述第一导出相对位置之差的所述绝对值为，取得所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据的第一摄像部的多个像素在所述第二方向上的间距在所述第一像数据的像中的长度的5倍以下。

(结构22)

根据结构20所述的测定方法，所述第一差的所述绝对值以及所述第二差的所述绝对值，大于取得所述第一像数据、所述第二像数据以及所述第三像数据的第一摄像部的多个像素在所述第二方向上的间距在所述第一像数据的像中的长度的5倍。

(结构23)

根据结构16至22中任1项所述的测定方法，

所述第一像数据还包括与所述第一像数据中的所述第一背景像有关的数据，

所述第二像数据还包括与所述第二像数据中的所述第一背景像有关的数据，

所述第三像数据还包括与所述第三像数据中的所述第一背景像有关的数据。

根据实施方式，能够提供能够提高准确度的处理装置、测定装置以及测定方法。

以上，参照具体例，对本发明的实施方式进行了说明。但是，本发明并不限定于这些具体例。例如，关于处理装置或测定装置中包括的取得部、处理部、背景像及摄像部等各要素的具体结构，只要本领域技术人员通过从公知的范围中适当选择同样地实施本发明，只要能够得到同样的效果，就包括在本发明的范围内。

另外，将各具体例的任意两个以上的要素在技术上可行的范围内组合而成的技术方案，只要包括本发明的主旨，就包括在本发明的范围内。

此外，作为本发明的实施方式，基于上述的处理装置、测定装置以及测定方法，本领域技术人员能够适当设计变更而实施的全部处理装置、测定装置以及测定方法也是，只要包括本发明的主旨，就属于本发明的范围。

此外，在本发明的思想范畴内，本领域技术人员能够想到各种变更例及修正例，这些变更例及修正例也属于本发明的范围。

对本发明的几个实施方式进行了说明，但这些实施方式是作为例子而提示的，并不意图限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式实施，在不脱离发明的主旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包括在发明的范围或主旨内，并且包括在权利要求书所记载的发明及其等同的范围内。