易碎薄片辅助粘合装置

技术领域

本申请属于半导体加工技术领域，特别是涉及一种易碎薄片辅助粘合装置。

背景技术

在两块易碎薄片需要粘合时，需要对两块易碎薄片进行定位和夹持，以避免两块薄片滑动而导致粘合不准确，目前，为了提高生产效率和产品粘合精度，对于易碎薄片的粘合大多采用简易的工具，但是此类工具定位与夹持效果差，在粘合过程薄片容易互相滑动，从而导致薄片错位和破损，对操作人员的熟练度要求较高，操作人员操作失误时容易造成无效操作甚至损坏材料。

发明内容

为了解决现有技术中薄片定位不精确、易滑动的问题，本申请的目的是提供一种易碎薄片辅助粘合装置。

为达到上述目的，本申请采用如下技术方案：一种易碎薄片辅助粘合装置，所述的薄片上开设有在横向方向上互相远离的第一孔和第二孔，所述的粘合装置包括：

底座；和

装片机构，可拆卸地设置在所述的底座的顶部，所述的装片机构包括与所述的第一孔配合的第一定位件、与所述的第二孔配合的第二定位件、装片组件和压紧组件；所述的装片组件具有供所述的第一定位件穿设的第一定位孔和供所述的第二定位件穿设的第二定位孔，所述的装片组件包括上下相对设置的压板和定位板，所述的薄片装载在所述的压板和所述的定位板之间，所述的第一定位孔和所述的第二定位孔均纵向贯穿所述的压板和定位板；所述的压紧组件设置在所述的装片组件上，用于对所述的压板施加向下的压力。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的第一定位孔为圆孔，所述的第二定位孔为腰型孔，所述的第二定位孔沿横向方向延伸，所述的第一定位孔和所述的第二定位孔设置在一沿横向方向延伸的直线上。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的装片组件还包括可拆卸地连接在所述的底座的顶部的底座板，所述的定位板的底部嵌入所述的底座板的顶部，且与所述的底座板固定连接。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的粘合装置还包括与所述的第二定位件传动连接的调节机构，所述的调节机构设置在所述的底座上，且位于所述的底座板的下侧，所述的调节机构用于调整所述的第二定位件与所述的第一定位件之间的距离。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的调节机构包括丝杆、丝杆旋钮和丝杆滑块，所述的丝杆沿横向方向延伸地设置在所述的底座上，所述的丝杆旋钮连接在所述的丝杆的一端部以驱动所述的丝杆绕自身的轴心线转动，所述的丝杆滑块与所述的第二定位件传动连接，所述的丝杆滑块与所述的丝杆螺纹连接以在所述的丝杆绕自身轴心线转动时沿所述的横向方向来回移动。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的丝杆滑块和所述的第二定位件之间设置有与所述的底座板配合连接的插销滑块，所述的插销滑块的顶部开设有与所述的第二定位件的下端部配合的连接销孔，所述的插销滑块与所述的丝杆滑块通过键连接。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的底座板上开设有与所述的插销滑块配合的导向槽，所述的导向槽内具有一对相对设置的导向凸起，一对所述的导向凸起沿所述的横向方向延伸；所述的插销滑块上开设有一对导向凹槽，每个所述的导向凸起与一个所述的导向凹槽配合，每个所述的导向凸起插入对应的所述的导向凹槽内。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的底座上设置有一对相对设置的导向组件，各个所述的导向组件包括与所述的丝杆平行的导向杆和套设在所述的导向杆上的导向滑块，所述的导向滑块沿对应的导向杆来回移动，所述的一对导向组件的导向滑块与所述的丝杆滑块通过至少一个滑块固定板连接。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的压紧组件包括第一压块、第二压块、第一调节组和第二调节组，所述的第一调节组连接在所述的第一压块和所述的底座板之间，所述的第一调节组用于驱动所述的第一压块既可沿上下方向移动，又可绕一沿上下方向延伸的轴线转动；所述的第二调节组连接在所述的第二压块和所述的底座板之间，所述的第二调节组用于驱动所述的第二压块既可沿上下方向移动，又可绕一沿上下方向延伸的轴线转动。

在上述技术方案中，进一步优选的，所述的第一压块上开设有自所述的第一压块的下端部向上延伸的第一销孔，所述的第一销孔能够容纳所述的第一定位件暴露在所述的压板上侧的部分，所述的第二压块上开设有自所述的第二压块的下端部向上延伸的第二销孔，所述的第二销孔能够容纳所述的第二定位件暴露在所述的压板上侧的部分。

本申请与现有技术相比获得如下有益效果：

本申请的粘合装置通过装片机构和调节机构的配合对薄片进行精确定位，以及对粘合过程的薄片进行夹持和进行长时间的施压，避免薄片在粘合过程中错位和损坏，提高产品质量；在面对胶水的特殊凝固调节时，可以将装片机构从底座上拆卸下来，结构简单且便于移动。

附图说明

图1为本申请实施例提供的一种装载有薄片的粘合装置的立体结构示意图；

图2为图1中的粘合装置的分解结构示意图；

图3为图1中的粘合装置的主视图；

图4为沿图3中的A-A线剖切的剖视图；

图5为图1中的粘合装置的俯视图；

图6为图2中的定位板嵌入底座板的立体结构示意图；

图7为图1的粘合装置对薄片进行粘合的流程示意图。

其中：100、粘合装置；10、底座；20、装片机构；1、第一定位件；2、第二定位件；3、装片组件；301、第一定位孔；302、第二定位孔；31、压板；32、定位板；33、底座板；331、导向槽；3311、导向凸起；34、紧固螺丝；4、压紧组件；41、第一压块；42、第一调节组；421、第一竖杆；422、第一横杆；423、第一连接套；424、第一手拧螺丝；43、第二压块；44、第二调节组；441、第二竖杆；442、第二横杆；443、第二连接套；444、第二手拧螺丝；45、第三手拧螺丝；5、插销滑块；51、连接销孔；52、导向凹槽；30、调节机构；6、丝杆组件；61、丝杆；62、丝杆旋钮；63、丝杆滑块；7、键；8、导向组件；81、导向杆；82、导向滑块；83、滑块固定板；200、薄片；91、第一孔；92、第二孔。

实施方式

为详细说明申请的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。在下面的描述中，出于解释的目的，阐述了许多具体细节以提供对发明的各种示例性实施例或实施方式的详细说明。然而，各种示例性实施例也可以在没有这些具体细节或者在一个或更多个等同布置的情况下实施。此外，各种示例性实施例可以不同，但不必是排他的。例如，在不脱离发明构思的情况下，可以在另一示例性实施例中使用或实现示例性实施例的具体形状、构造和特性。

以下，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

本申请所述的“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”按照附图1所示的上、下、左、右、前和后；本申请所述的“横向”方向按照附图1所示的左右方向；本申请所述的“纵向”方向按照附图1所示的上下方向。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。

本申请实施例提供一种易碎薄片辅助粘合装置，该粘合装置用于在较脆薄片的粘合过程中起辅助作用，如图1、2所示，该粘合装置100包括底座10、装片机构20和调节机构30。装片机构20和调节机构30均设置在底座10上，底座10将各机构支撑在平面上。

装片机构20可拆卸地安装在底座10的顶部，装片机构20可与底座10分离，以移动到其他环境中。装片机构20包括第一定位件1、第二定位件2、装片组件3和压紧组件4，第一定位件1和第二定位件2均沿上下方向延伸。装片组件3具有供第一定位件1穿设的第一定位孔301和供第二定位件2穿设的第二定位孔302，第一定位孔301和第二定位孔302设置在一沿横向方向延伸的直线上，其中，第一定位孔301为标准圆孔，第二定位孔302为腰型孔，第二定位孔302沿横向方向延伸；第一定位件1插入第一定位孔301内，在第一定位孔301的限制下只能轴向移动，不能径向晃动；第二定位件2在第二定位孔302内，能够改变横向方向的位置，第二定位件2与第一定位件1在横向方向的距离可变。在本申请中，第一定位件1和第二定位件2均为长条形的销子，便于在装片组件3装载不同厚度的薄片200时，对薄片200在装片组件3上进行定位，扩大该粘合装置100的适用性。

如图2-4所示，装片组件3包括自上向下依次设置的压板31、定位板32和底座板33，底座板33通过机械紧固件可拆卸地安装在底座10的顶部，当机械紧固件拆除时，底座板33可与底座10分离，装片机构20可从底座10上移开，在本申请中，该机械紧固件为紧固螺丝34。定位板32的底部嵌入底座板33的顶部，并通过机械紧固件固定安装在底座板33上，压板31可移动地设置在定位板32的顶部。第一定位孔301和第二定位孔302均纵向贯穿压板31和定位板32，第一定位件1插入第一定位孔301，第二定位件2插入第二定位孔302，压板31和定位板32在第一定位件1和第二定位件2的限制下不能互相错位，起到定位作用。

如图2、3所示，本申请的薄片200具有在横向方向上互相远离的第一孔91和第二孔92，第一孔91和第二孔92均为圆孔，薄片200装载到装片组件3上时，各个薄片200的第一孔91与第一定位孔301对齐，各个薄片200的第二孔92在第二定位孔302的纵向方向的投影上。在本申请中，第一孔91的孔径、第一定位孔301的孔径和第一定位件1的直径相等，在第一定位件1同时插入第一孔91和第一定位孔301，第二定位件2同时插入第二孔92和第二定位孔302时，薄片200在装片机构20上的位置被限制，使得薄片200定位在装片机构20上，压板31覆盖在薄片200上以将薄片200压紧在压板31和定位板32之间，避免多个薄片200互相滑动错位，对多个薄片200的粘合起到定位和保持压力的作用。

不同规格的薄片200的第一孔91和第二孔92之间的距离不同，第二定位孔302根据不同第二孔92的位置确定横向方向的长度，使得第一孔91与第一定位孔301对齐时，第二孔92始终位于第二定位孔302在纵向方向的投影内。第二定位件2根据第二孔92的位置同时插入第二孔92和第二定位孔302，与第一定位件1配合，实现对薄片200的定位。

在本申请中，部分薄片200之间的胶水需要特殊的凝固条件，如紫外线光固化，需要将薄片200移动到紫外线照射区域，所以当薄片200需要移动到特殊凝固的环境时，底座板33从底座10上拆卸下来，装片机构20与底座10分离后移动到特殊凝固环境中，减小搬运体积和重量，移动方便。该压板31和定位板32均为陶瓷板，陶瓷板具有较高的耐热性和耐紫外线照射的特性，当薄片粘接所涂的胶水需要进行紫外线光固化时，陶瓷板可以不受紫外线影响。

如图1-5所示，压紧组件4设置在底座板33上，压紧组件4用于从压板31的上侧对压板31施加向下的压力，使得压板31将薄片200压紧在定位板32上。压紧组件4包括第一压块41、与第一压块41连接的第一调节组42、第二压块43和与第二压块43连接的第二调节组44，第一调节组42用于将第一压块41既可沿上下方向移动又可绕一沿上下方向延伸的轴心线转动地设置在底座板33上，第二调节组44用于将第二压块43既可沿上下方向移动又可绕一沿上下方向延伸的轴心线转动地设置在底座板33上。

第一调节组42包括第一竖杆421、第一横杆422、第一连接套423和第一手拧螺丝424，第一竖杆421沿纵向方向延伸地设置在底座板33的顶部；第一横杆422的一端部连接第一压块41，另一端部与第一连接套423连接；第一连接套423套设在第一竖杆421上，使得第一横杆422与第一竖杆421相垂直，第一连接套423可带动第一横杆422和第一压块41沿第一竖杆421上下移动，以及绕第一竖杆421的轴心线转动，使得第一压块41可以调整在压板31上的高度；第一手拧螺丝424绕自身轴心线转动地连接在第一连接套423上，当第一手拧螺丝424向第一连接套423内旋转时，可将第一连接套423锁紧在第一竖杆421上，当第一手拧螺丝424向第一连接套423外旋转时，第一连接套423与第一竖杆421解锁，可沿第一竖杆421上下移动和绕第一竖杆421转动。

第二调节组44包括第二竖杆441、第二横杆442、第二连接套443和第二手拧螺丝444，第二竖杆441沿纵向方向延伸地设置在底座板33的顶部；第二横杆442的一端部连接第二压块43，另一端部与第二连接套443连接；第二连接套443套设在第二竖杆441上，使得第二横杆442与第二竖杆441相垂直，第二连接套443可带动第二横杆442和第二压块43沿第二竖杆441上下移动，以及绕第二竖杆441的轴心线转动，使得第二压块43可以调整在压板31上的高度；第二手拧螺丝444绕自身轴心线转动地设置在第二连接套443上，当第二手拧螺丝444向第二连接套443内旋转时，将第二连接套443锁紧在第二竖杆441上，当第二手拧螺丝444向第二连接套443外旋转时，第二连接套443与第二竖杆441解锁，第二连接套443可沿第二竖杆441上下移动和绕第二竖杆441转动。

由于薄片200的规格不同，各个调节组调节对应的压块的高度以适应不同规格的薄片200；当压板31和定位板32之间堆叠两层中间涂胶的薄片200后，第一调节组42和第二调节组44分别将第一压块41和第二压块43压紧在压板31上，为两层薄片200的粘合提供长时间的压紧力。由于压紧组件4设置在底座板33上，当底座板33从底座10上拆下时，压紧组件4依旧连接在装片组件3上，并对压板31始终保持朝向定位板32的压力，对粘合中的薄片200保持施压，避免薄片200在移动过程中错位或者损坏。

第一压块41上还开设有自第一压块41的下端部向上延伸的第一销孔（图中未示出），第一销孔能够容纳第一定位件1暴露在压板31上侧的一部分；第二压块43上还开设有自第二压块43的下端部向上延伸的第二销孔（图中未示出），第二销孔能够容纳第二定位件2暴露在压板31上侧的一部分，由于第二定位件2可横向移动地设置在装片组件3，所以与第二定位件2配合的第二压块43可移动地套设在第二横杆442上，以便于第二压块43配合第二定位件2的移动。第一压块41和第二压块43在对压板31施加压力的同时，分别对第一定位件1和第二定位件2暴露在压板31上侧的部分进行包裹，避免第一定位件1和第二定位件2被碰触后导致夹持在压板31和定位板32之间的薄片200滑动、错位。

第一压块41和第二压块43上还分别设置有一个第三手拧螺丝45，各个压块上的第三手拧螺丝45用于在压块与对应的定位件配合后，将压块锁紧在对应的横杆上，锁定压块在横杆上的位置，避免压块在横杆上移动，提高压紧组件4的稳定性。

如图2、4所示，调节机构30与第二定位件2传动连接以调节第二定位件2和第一定位件1之间的距离，可以改变横向位置的第二定位件2使得装片机构20可以对不同规格的薄片200进行定位和夹持。

如图2、4、6所示，装片机构20还包括连接调节机构30和第二定位件2的插销滑块5，插销滑块5的顶部开设有与第二定位件2的下端部配合的连接销孔51。底座板33上开设有沿横向方向延伸的导向槽331，该导向槽331位于第二定位孔302的正下方且与第二定位孔302连通，插销滑块5位于导向槽331内与导向槽331配合连接。导向槽331内具有一对前后相对设置的导向凸起3311，一对导向凸起3311均沿横向方向延伸，插销滑块5上开设有一对前后相对设置的导向凹槽52，每个导向凸起3311与一个导向凹槽52配合，各个导向凸起3311插入对应的导向凹槽52内，使得插销滑块5沿着导向槽331的延伸方向移动，避免第二定位件2在移动过程中晃动而导致薄片200错位和损坏，保护薄片，提高产品精度。

如图2-4所示，调节机构30包括与插销滑块5连接的丝杆组件6，丝杆组件6包括丝杆61、丝杆旋钮62和丝杆滑块63，丝杆61沿左右方向延伸地设置在底座10上，丝杆旋钮62连接在丝杆61的一端部以驱动丝杆61绕自身轴心线转动，丝杆滑块63套设在丝杆61上，且与丝杆61螺纹连接，当丝杆61绕自身轴心线转动时，丝杆滑块63沿丝杆61来回移动。丝杆61、丝杆旋钮62和丝杆滑块63均设置在底座板33的下侧，丝杆滑块63与插销滑块5通过键7连接，从而沿横向方向同步移动。

插销滑块5的底部和丝杆滑块63的顶部设置有与该键7配合的键槽，键7与两个键槽的配合保证互相连接的插销滑块5与丝杆滑块63能够同步移动，同时，在底座板33从底座10上拆卸下来时，插销滑块5和丝杆滑块63可以快速脱离，便于装片机构20和底座10的拆装。

底座10上还设置有一对相对设置的导向组件8，一对导向组件8位于底座板33的下侧，且分别设置在丝杆组件6的前后两侧，各个导向组件8包括与丝杆61平行设置的导向杆81和套设在导向杆81上的导向滑块82，导向滑块82能沿着对应的导向杆81来回滑动，一对导向组件8的导向滑块82与丝杆滑块63通过一对滑块固定板83连接，其中一块滑块固定板83与丝杆滑块63和一对导向滑块82的左端部连接，另一块滑块固定板83与丝杆滑块63和一对导向滑块82的右端部连接，滑块固定板83使得一对导向滑块82与丝杆滑块63同步移动，一对导向滑块82和对应的导向杆81之间的配合，使得丝杆滑块63沿固定的横向方向移动，不会在移动过程中偏移，一对导向组件8对调节机构30起到导向的作用。

如图7所示，本申请的粘合装置对薄片进行粘合的步骤为：将第一层薄片200放置在定位板32上，使得第一层薄片200的第一孔91与第一定位孔301对齐，第二孔92与第二定位孔302对齐；丝杆旋钮62调节插销滑块5的位置，使得连接销孔51位于第二孔92向下投影的路径上，第一定位件1依次插入第一孔91和第一定位孔301，第二定位件2依次插入第二孔92、第二定位孔302和连接销孔51，实现对第一层薄片200的定位；在第一层薄片200的上表面涂抹胶水；将第二层薄片200沿第一定位件1和第二定位件2放置，直至第二层薄片200与第一层薄片200贴合；调节丝杆旋钮62，使得第二定位件2远离第一定位件1以将两层薄片200锁紧；将压板31沿第一定位件1和第二定位件2向下放置，直至压板31压在第二层薄片200的上表面；第一调节组42和第二调节组44分别调节第一压块41和第二压块43的位置，使得压块包裹对应的定位件暴露在压板31上侧的部分，同时使压块压紧压板31；当胶水不需要特殊凝固条件时，压紧组件4保持对压板31的压力直至胶水凝固；当胶水需要特殊凝固条件时，卸下连接在底座10和底座板33之间的紧固螺丝34，将装片机构20移动到特殊凝固所需的环境，直至胶水凝固。

本申请的粘合装置100通过装片机构20和调节机构30的配合对薄片200进行精确定位，以及对粘合过程的薄片200进行夹持和进行长时间的施压，避免薄片200在粘合过程中错位和损坏，提高产品质量；在面对胶水的特殊凝固调节时，可以将装片机构20从底座10上拆卸下来，结构简单且便于移动。

以上显示和描述了本申请的基本原理、主要特征和本申请的优点。本行业的技术人员应该了解，本申请不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本申请的原理，在不脱离本申请精神和范围的前提下，本申请还会有各种变化和改进，本申请要求保护范围由所附的权利要求书、说明书及其等效物界定。