石墨盘旋转漂移修正方法、装置、存储介质及电子设备

技术领域

本发明涉及芯片制作技术领域，特别涉及一种石墨盘旋转漂移修正方法、装置、存储介质及电子设备。

背景技术

现如今，在MOCVD设备中驱动大石墨盘旋转主要有两种方式，第一种是依靠驱动模块与石墨托盘之间的摩擦力带动石墨盘旋转。第二种是驱动模块依靠机械结构（spindle）锁紧带动上层的石墨盘旋转。

对于第一种情况因为不是硬连接，石墨盘和驱动模块之间无法保持同步的转速，具体表现就是石墨盘所旋转过的总角度在工艺过程中不断落后于驱动模块，如果需要精准定位晶圆（wafer）的位置就需要不断修正两者之间的落后角，而且这个角度是没有上限的。对于第二种情况因为有机械结构（spindle）的连接，但是随着使用时间的不断增加，机构间的间隙也在不断增大，当转速发生变化的时候机械结构（spindle）就可能在间隙内来回移动，为了满足精准定位的需求，这个角度也需要被修正掉，但是由于是硬连接这个角度是有上限的。

因此，无论是依靠驱动模块与石墨托盘之间的摩擦力带动石墨盘旋转还是驱动模块依靠机械结构（spindle）锁紧带动上层的石墨盘旋转的方式，均会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种石墨盘旋转漂移修正方法、装置、存储介质及电子设备，旨在解决现有技术中石墨盘旋转时容易漂移导致晶圆定位不精准的问题。

本发明实施例是这样实现的：

在石墨盘旋转过程中，采集所述石墨盘旋转过程中的信号数据，所述信号数据至少包括石墨盘信号和晶圆信号；

根据所述信号数据确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点比例，并根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波；

获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

进一步的，上述石墨盘旋转漂移修正方法，其中，所述获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量的步骤包括：

当所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系为硬性连接，获取所述信号方波的可拟合程度，并根据所述可拟合程度确定第一置信度；

查找所述信号方波中的每个中心点，比对所述每个中心点在预设数据库中对于所述中心点最近的石墨缝的中心点偏移量；

统计所有计算出来的中心点偏移量，并计算所有中心点偏移量的标准方差以确定第二置信度；

计算所述第一置信度和第二置信度之间的平均值确定最终置信度，并根据所述最终置信度确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

进一步的，上述石墨盘旋转漂移修正方法，其中，所述统计所有计算出来的中心点偏移量，并计算所有中心点偏移量的标准方差以确定第二置信度的步骤之后还包括：

当所述标准方差低于标准方差阈值时，从所述所有中心点偏移量中去掉一个最大值和去掉一个最小值；

对所有中心点偏移量求出平均值，后根据所述平均值确定所述漂移量。

进一步的，上述石墨盘旋转漂移修正方法，其中，所述信号方波包括热辐射信号方波和sum信号方波，所述获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量的步骤还包括：

使用拟合算法将所述热辐射信号方波和sum信号方波的可拟合程度分别输出成各自的置信度；

分别在所述热辐射信号方波和sum信号方波中查找最宽的方波的中心点，比对在预设数据库中对于所述中心点最近的石墨缝的中心点偏移量；

根据所述热辐射信号方波和sum信号方波给出的置信度，取所述热辐射信号方波和sum信号方波中置信度高的信号算出的偏移量作为需要修正的偏移量。

进一步的，上述石墨盘旋转漂移修正方法，其中，所述根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波的步骤包括：

根据所述临界点比例分别确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点，并对所述临界点进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波。

进一步的，上述石墨盘旋转漂移修正方法，其中，所述方法还包括：

获取所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量，并根据所述漂移量对所述石墨盘在此次旋转过程中产生的漂移进行修正。

本发明的另一个目的在于提供一种石墨盘旋转漂移修正装置，所述装置包括：

信号采集模块，用于在石墨盘旋转过程中，采集所述石墨盘旋转过程中的信号数据，所述信号数据至少包括石墨盘信号和晶圆信号；

信号转换模块，用于根据所述信号数据确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点比例，并根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波；

偏移量确定模块，用于获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

进一步的，上述石墨盘旋转漂移修正装置，其中，所述偏移量确定模块包括：

第一置信度确定单元，用于当所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系为硬性连接，获取所述信号方波的可拟合程度，并根据所述可拟合程度确定第一置信度；

偏移量确定单元，用于查找所述信号方波中的每个中心点，比对所述每个中心点在预设数据库中对于所述中心点最近的石墨缝的中心点偏移量；

第二置信度确定单元，用于统计所有计算出来的中心点偏移量，并计算所有中心点偏移量的标准方差以确定第二置信度；

第一偏移量确定单元，用于计算所述第一置信度和第二置信度之间的平均值确定最终置信度，并根据所述最终置信度确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

本发明的另一个目的在于提供一种可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现上述任意一项所述的方法的步骤。

本发明的另一个目的是提供一种电子设备，包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现上述的方法的步骤。

本发明通过在石墨盘旋转过程中，采集石墨盘旋转过程中的信号数据，并对信号数据进行裁剪以获取信号数据的信号方波，然后根据对应的石墨盘与驱动石墨盘旋转的驱动模块的连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按该偏移量确定方式对信号方波进行处理以确定石墨盘旋转过程中产生的漂移量，从而能对石墨盘旋转过程中产生的漂移量进行修正，解决了现有技术中驱动模块在带动石墨盘在旋转时会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。

附图说明

图1为本发明一实施例中石墨盘旋转漂移修正方法中石墨盘在硬性连接系统中的漂移示意图；

图2为本发明一实施例中石墨盘旋转漂移修正方法中石墨盘在非硬性连接系统中的漂移示意图；

图3为本发明第一实施例中石墨盘旋转漂移修正方法的流程图；

图4为本发明第三实施例中石墨盘旋转漂移修正装置的结构框图。

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的若干实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

现如今，在MOCVD设备中驱动大石墨盘旋转主要有两种方式，一种是依靠驱动模块与石墨托盘之间的摩擦力带动石墨盘旋转，另一种是驱动模块依靠机械结构（spindle）锁紧从而带动上层的石墨盘旋转。

对于第一种情况因为不是硬连接，石墨盘和驱动模块之间无法保持同步的转速，具体表现就是在工艺过程中，石墨盘所旋转过的总角度不断落后于驱动模块，如果需要精准定位晶圆（wafer）的位置就需要不断修正两者之间的落后角。

对于第二种情况因为有机械结构（spindle）的连接，可以认定为硬性连接，但是随着使用时间的不断增加，机构间的间隙也会不断增大，当转速发生变化的时候机械结构（spindle）就可能在间隙内来回移动，为了满足精准定位的需求，这个角度也需要被修正掉。

因此，无论是依靠驱动模块与石墨托盘之间的摩擦力带动石墨盘旋转还是驱动模块依靠机械结构（spindle）锁紧带动上层的石墨盘旋转的方式，在石墨盘旋转的过程中均会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。

由于在MOCVD的整个工艺过程中晶圆（wafer）上的各种信号的形态都在不断变化，因此，需要利用石墨盘的信号，通过石墨盘的信号的分布来辅助进行石墨盘漂移量的修正。

在经过反复筛选验证发现，可以通过热辐射信号和单点曲率探头探测的sum信号进行石墨盘漂移的修正，具体的，热辐射信号可以通过特定的探测器接收到的热辐射得到，其中，热辐射信号包括（晶圆）wafer的和石墨间隙的热辐射信号，具体的，可以根据当前探测器的光斑落在什么位置接收到的信号确定热辐射信号是属于（晶圆）wafer还是石墨间隙。

进一步的，由于带机械结构（spindle）的系统因为石墨盘漂移量上限不高，加上低温阶段转速都不高，修正的需求不大，刚好这个阶段热辐射的值太低不适合修正，因此，在绝大多数情况下，带机械结构（spindle）的系统可以通过热辐射信号进行修正；而在非硬连接系统上，低转速也有显著的漂移，这时候就需要使用sum的信号作为热辐射修正的补充，从而在整个石墨盘的运行期间都能保证至少有一路信号可用。

另外，在实际使用中石墨盘每圈取得的信号由于有垃圾信号，因此，每圈的开头和结尾都会有一部分垃圾信号，在实际中，这部分信号需要人为干预，消除掉它对整体形态的误导。

在双信号控制系统中，还需要分别对两路信号输出置信度值，保证石墨盘漂移是使用高置信度的结果进行修正。

如图1所示，硬连接系统中因为机械结构（spindle）本身的硬件条件限制了漂移的最大程度，过大的间隙需要更换石墨托盘，所以算法对各个石墨盘口袋之间的石墨缝隙宽度没有硬性要求，石墨盘漂移只需要保证修正角度的绝对值小于机械结构（spindle）可容忍的最大角度即可。

如图2所示，非硬连接的系统中，假设需要修正的角度是a，pocket的周期宽度是b，则需要修正的最小角度c=a mod b。这时候，修正最小角度c和修正角度a = c + n*b （n为任意整数）从形态上看不出区别。所以这类系统必须是不等间隙才能打破信号形态的周期性，最常见的形式就是，某一个石墨缝明显宽于其它缝隙，从而可以确定如何进行漂移量的修正。

以下将结合具体实施例和附图来详细说明如何在石墨盘旋转漂移对石墨盘漂移量进行修正。

第一实施例

请参阅图3，所示为本发明第一实施例中的石墨盘旋转漂移修正方法，所述方法包括步骤S10~S12。

步骤S10，在石墨盘旋转过程中，采集所述石墨盘旋转过程中的信号数据，所述信号数据至少包括石墨盘信号和晶圆信号。

其中，可以通过设置特定的探测器对石墨盘旋转过程中产生的信号进行采集，在本实施例当中，采集的信号数据主要通过接收石墨盘或者晶圆产生的热辐射获得的热辐射信号，具体的，热辐射的信号数据包括石墨盘信号和晶圆信号。

步骤S11，根据所述信号数据确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点比例，并根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波。

具体的，由于同一圈内石墨盘的信号在相邻很近的时刻是一致的，但是由于不断使用会附着涂层（coating），导致稍许波动。而晶圆（Wafer）由于生长的不均匀性和不确定性，信号从较长的时间轴上看基本上是无规则的变动，只是强度略低于石墨盘。因此需要裁掉不规则的wafer信号以及石墨盘信号，以将信号处理成方波的形状，抽象掉一部分不必要的细节，降低下一步的处理难度。

另外，在本发明一些可选的实施例当中，所述根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波的步骤包括：

根据所述临界点比例分别确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点，并对所述临界点进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波。

可以理解的，裁掉就是判断石墨和晶圆（wafer）的临界点的过程，把连续函数变成阶跃函数，因此，根据临界点比例分别确定石墨盘信号和晶圆信号的临界点，并对临界点进行裁剪以将信号数据转换成信号方波。

步骤S12，获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

具体的，由于石墨盘与驱动石墨盘旋转的驱动模块的连接关系的不同，对应的计算漂移量的方式不同，因此需要根据连接关系确定对应的偏移量确定方式，并根据偏移量确定方式对信号方波进行处理以确定石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

另外，在本发明一些可选的实施例当中，为了进一步实现漂移量修正的完整性，所述方法还包括：

获取所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量，并根据所述漂移量对所述石墨盘在此次旋转过程中产生的漂移进行修正。

具体的，在确定石墨盘旋转过程中产生的漂移量后，可以获取该漂移量，并根据漂移量对石墨盘在此次旋转过程中产生的漂移进行修正。

综上，本发明上述实施例中的石墨盘旋转漂移修正方法，通过在石墨盘旋转过程中，采集石墨盘旋转过程中的信号数据，并对信号数据进行裁剪以获取信号数据的信号方波，然后根据对应的石墨盘与驱动石墨盘旋转的驱动模块的连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按该偏移量确定方式对信号方波进行处理以确定石墨盘旋转过程中产生的漂移量，从而能对石墨盘旋转过程中产生的漂移量进行修正，解决了现有技术中驱动模块在带动石墨盘在旋转时会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。

第二实施例

本实施例也提出一种石墨盘旋转漂移修正方法，本实施例当中的石墨盘旋转漂移修正方法与第一实施例当中的石墨盘旋转漂移修正方法的不同之处在于：

步骤S12包括：

当所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系为硬性连接，获取所述信号方波的可拟合程度，并根据所述可拟合程度确定第一置信度；

查找所述信号方波中的每个中心点，比对所述每个中心点在预设数据库中对于所述中心点最近的石墨缝的中心点偏移量；

统计所有计算出来的中心点偏移量，并计算所有中心点偏移量的标准方差以确定第二置信度；

计算所述第一置信度和第二置信度之间的平均值确定最终置信度，并根据所述最终置信度确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

其中，在实际中，当石墨盘与驱动石墨盘旋转的驱动模块的连接关系主要为硬性连接和非硬性连接，当石墨盘与驱动石墨盘旋转的驱动模块的连接关系为非硬性连接时，处理后方波的波峰就是石墨盘的信号，波谷就是晶圆（wafer）信号，从而可以比对石墨盘本身的布局计算漂移量，具体的，可以根据拟合算法将方波的可拟合程度输出成第一置信度，查找信号方波中的每个中心点，比对在晶圆工作台（WaferTable）定义中对于这个中心点最近的石墨缝的中心点偏移量，统计所有计算出来的中心点偏移量，并计算所有中心点偏移量的标准方差以确定第二置信度；计算第一置信度和第二置信度之间的平均值确定最终置信度，并根据最终置信度确定石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

另外，在本发明一些可选的实施例当中，所述统计所有计算出来的中心点偏移量，并计算所有中心点偏移量的标准方差以确定第二置信度的步骤之后还包括：

当所述标准方差低于标准方差阈值时，从所述所有中心点偏移量中去掉一个最大值和去掉一个最小值；

对所有中心点偏移量求出平均值，后根据所述平均值确定所述漂移量。

另外，在本发明一些可选的实施例当中，所述信号方波包括热辐射信号方波和sum信号方波，步骤S12还包括：

当所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系为非硬性连接，将所述热辐射信号方波和sum信号方波的可拟合程度分别输出成各自的置信度；

分别在所述热辐射信号方波和sum信号方波中查找最宽的方波的中心点，比对在预设数据库中对于所述中心点最近的石墨缝的中心点偏移量；

根据所述热辐射信号方波和sum信号方波给出的置信度，取所述热辐射信号方波和sum信号方波中置信度高的信号算出的偏移量作为需要修正的偏移量。

可以理解的，正常情况下，只需要热辐射信号作为石墨盘漂移的修正，在本实施例当中，增加了单曲率探头的激光的sum信号，在具体实施时，根据各自计算出的置信度，并取热辐射信号方波和sum信号方波中置信度高的信号算出的偏移量作为需要修正的偏移角度。

综上，本发明上述实施例中的石墨盘旋转漂移修正方法，通过在石墨盘旋转过程中，采集石墨盘旋转过程中的信号数据，并对信号数据进行裁剪以获取信号数据的信号方波，然后根据对应的石墨盘与驱动石墨盘旋转的驱动模块的连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按该偏移量确定方式对信号方波进行处理以确定石墨盘旋转过程中产生的漂移量，从而能对石墨盘旋转过程中产生的漂移量进行修正，解决了现有技术中驱动模块在带动石墨盘在旋转时会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。

第三实施例

请参阅图4，所示为本发明第三实施例中提出的石墨盘旋转漂移修正装置，所述装置包括：

信号采集模块100，用于在石墨盘旋转过程中，采集所述石墨盘旋转过程中的信号数据，所述信号数据至少包括石墨盘信号和晶圆信号；

信号转换模块200，用于根据所述信号数据确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点比例，并根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波；

偏移量确定模块300，用于获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

进一步地，在本发明一些可选的实施例当中，其中，所述偏移量确定模块包括：

第一置信度确定单元，用于当所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系为硬性连接，获取所述信号方波的可拟合程度，并根据所述可拟合程度确定第一置信度；

偏移量确定单元，用于查找所述信号方波中的每个中心点，比对所述每个中心点在预设数据库中对于所述中心点最近的石墨缝的中心点偏移量；

第二置信度确定单元，用于统计所有计算出来的中心点偏移量，并计算所有中心点偏移量的标准方差以确定第二置信度；

第一偏移量确定单元，用于计算所述第一置信度和第二置信度之间的平均值确定最终置信度，并根据所述最终置信度确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。

所述偏移量确定模块还包括：

去除单元，用于当所述标准方差低于标准方差阈值时，从所述所有中心点偏移量中去掉一个最大值和去掉一个最小值；

平均值确定单元，用于对所有中心点偏移量求出平均值，后根据所述平均值确定所述漂移量。

进一步地，在本发明一些可选的实施例当中，其中，所述信号方波包括热辐射信号方波和sum信号方波，所述偏移量确定模块还包括：

拟合单元，用于使用拟合算法将所述热辐射信号方波和sum信号方波的可拟合程度分别输出成各自的置信度；

比对单元，用于分别在所述热辐射信号方波和sum信号方波中查找最宽的方波的中心点，比对在预设数据库中对于所述中心点最近的石墨缝的中心点偏移量；

第二偏移量确定单元，用于根据所述热辐射信号方波和sum信号方波给出的置信度，取置信度高的信号算出的偏移量作为需要修正的偏移量。

进一步地，在本发明一些可选的实施例当中，其中，所述信号转换模块具体用于：

根据所述临界点比例分别确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点，并对所述临界点进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波。

进一步地，在本发明一些可选的实施例当中，其中，所述装置还包括：

修正模块，用于获取所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量，并根据所述漂移量对所述石墨盘在此次旋转过程中产生的漂移进行修正。

上述各模块被执行时所实现的功能或操作步骤与上述方法实施例大体相同，在此不再赘述。

第四实施例

本发明另一方面还提供一种可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现上述第一实施例至第二实施例中任意一个所述的方法的步骤。

第五实施例

本发明另一方面还提供一种电子设备，所述电子设备包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现上述第一实施例至第二实施例中任意一个所述的方法的步骤。

以上各个实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

本领域技术人员可以理解，在流程图中表示或在此以其他方式描述的逻辑和/或步骤，例如，可以被认为是用于实现逻辑功能的可执行指令的定序列表，可以具体实现在任何计算机可读存储介质中，以供指令执行系统、装置或设备（如基于计算机的系统、包括处理器的系统或其他可以从指令执行系统、装置或设备取指令并执行指令的系统）使用，或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用。就本说明书而言，“计算机可读存储介质”可以是任何可以包含、存储、通信、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用的装置。

计算机可读存储介质的更具体的示例（非穷尽性列表）包括以下：具有一个或多个布线的电连接部（电子装置），便携式计算机盘盒（磁装置），随机存取存储器（RAM），只读存储器（ROM），可擦除可编辑只读存储器（EPROM或闪速存储器），光纤装置，以及便携式光盘只读存储器（CDROM）。另外，计算机可读存储介质甚至可以是可在其上打印所述程序的纸或其他合适的介质，因为可以例如通过对纸或其他介质进行光学扫描，接着进行编辑、解译或必要时以其他合适方式进行处理来以电子方式获得所述程序，然后将其存储在计算机存储器中。

应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或它们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列（PGA），现场可编程门阵列（FPGA）等。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。