一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法

技术领域

本发明涉及TFT-LCD玻璃基板生产处理技术领域，尤其涉及一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法。

背景技术

目前在TFT-LCD玻璃化学减薄工序，通常在采用化学药剂进行蚀刻工序前，通过对基板进行微蚀刻的前处理方式，降低蚀刻过程中的小凹点。

在玻璃基板进入前处理槽时，通过硫酸+HF+助剂+25摄氏度药液温度，对玻璃基板进行微蚀刻处理，再将微蚀刻后的玻璃基板进入漂洗槽浸泡[活性剂+90摄氏度热水],

而在对玻璃基板进行90摄氏度热水清洗，清除低温下的玻璃表面残液时，浸泡清洗槽内的玻璃基板上脱离较多原先的残留液，残留液充斥着相邻玻璃基板之间的间隙区域，导致玻璃基板在漂洗槽浸泡中的清洗效率、清洗效果不高。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法，既能够让玻璃基板浸泡的较为充分，也能够将浸泡脱离玻璃基板的微蚀刻残液有效的排出，减少滞留在漂洗箱、相邻玻璃基板间隙区域的微蚀刻残液量，让玻璃基板的清洗清洁效率、清洁程度更高。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明涉及一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置，主要包括以下结构特征：

漂洗箱内转动安装有用于竖直承载多个玻璃基板的篮具架，漂洗箱下方配置有伺服驱动装置，伺服驱动装置的输出端连接有驱动转轴，驱动转轴上端与篮具架底侧面的中心位置固定连接。漂洗箱一内侧壁面嵌入安装有光电发射模块，漂洗箱另一内侧壁面嵌入安装有与光电发射模块位置对齐的光电接收模块。篮具架上的玻璃基板与光电发射模块、光电接收模块之间连线平行时，光电发射模块、光电接收模块之间的传感路径穿过其中两个相邻的玻璃基板之间的间隙。

漂洗箱安装有若干与光电发射模块同侧板位置的喷流管头，漂洗箱安装有若干与光电接收模块同侧板位置的吸流管头，若干喷流管头与若干吸流管头的位置一一对齐。漂洗箱安装有与吸流管头同侧板位置的温度传感模块，漂洗箱安装有与喷流管头同侧板位置的加热模块。

作为本发明中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：篮具架底侧板与漂洗箱底侧板之间设置有轴承环。

作为本发明中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：漂洗箱底侧板中心位置开设有与驱动转轴相配合的轴孔，轴孔位置处配置有防水密封圈。

作为本发明中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：漂洗箱侧板的若干喷流管头分为上下两排，光电发射模块位于上下两排喷流管头之间的位置。漂洗箱侧板的若干吸流管头分为上下两排，光电接收模块位于上下两排吸流管头之间的位置。

作为本发明中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：漂洗箱内的浸泡液位高于篮具架上的玻璃基板上侧端，漂洗箱的内侧最小宽度尺寸大于篮具架底板对角线的长度尺寸。

作为本发明中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：若干喷流管头与漂洗箱内腔连通，若干喷流管头上游共同连接有一注入管，注入管上游连接有热液注入装置，注入管配置有第一电控阀门。若干吸流管头与漂洗箱内腔连通，若干吸流管头下游共同连接有一排出管，排出管下游连接有热液排出装置，排出管配置有第二电控阀门。

作为本发明中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置的一种优选技术方案：热液注入装置无注液动作时，第一电控阀门处于关闭状态。热液排出装置无排液动作时，第二电控阀门处于关闭状态。

本发明涉及一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗方法，包括以下步骤：

㈠将玻璃基板置于漂洗箱的篮具架上，通过热液注入装置向漂洗箱内注入活性剂和90摄氏度的热水混合液，待注入的液体液位高于玻璃基板上端时停止注液。

㈡玻璃基板在漂洗箱内静置浸泡一定时间后，伺服驱动装置驱动篮具架匀速转动，转动速度为3转/min～5转/min。

㈢当光电接收模块传感接收到光电发射模块的光电信号时，伺服驱动装置停止转动，热液注入装置通过喷流管头对平行于喷流管头的多个玻璃基板进行平行冲洗，相邻玻璃基板之间间隙的液体被冲走，同时热液排出装置动作，在多个玻璃基板另一侧方位，通过吸流管头吸收走与喷流管头注入量等量的液体。

㈣喷流管头喷流冲洗一定时间后，热液注入装置停止供液，热液排出装置在吸流管头吸收走与喷流管头注入量等量的液体后也停止排液，伺服驱动装置继续按照预设转速带动篮具架转动。

㈤在玻璃基板静置浸泡、位置转动以及喷流冲洗过程中，当漂洗箱内的温度传感模块传感检测到当前液体温度低于90摄氏度时，加热模块对漂洗箱内的液体进行加热。

作为本发明中玻璃基板蚀刻浸泡漂洗方法的一种优选技术方案：热液注入装置通过喷流管头向漂洗箱内注入的液体温度不低于90摄氏度。

与现有的技术相比，本发明的有益效果是：

本发明通过在漂洗箱内设置能够转动的篮具架，将玻璃基板竖向置于篮具架上，在漂洗箱一组对侧边配置相互配合的光电发射模块和光电接收模块，辅助判断玻璃基板的转动位置状态，并在漂洗箱侧边配置喷流管头，对浸泡后的玻璃基板之间的间隙液体进行智能化喷流冲洗，并将冲洗出去的液体从吸流管头排出，既能够让玻璃基板浸泡的较为充分，也能够将浸泡脱离玻璃基板表面的微蚀刻残液有效的排出，减少滞留在漂洗箱、相邻玻璃基板间隙区域的微蚀刻残液量，让玻璃基板的清洗清洁效率、清洁程度更高。

附图说明

图1为本发明的整体装置结构示意图。

图2为本发明中漂洗箱、篮具架、伺服驱动装置的(俯视)配合结构示意图。

图3为本发明中篮具架的玻璃基板未平行于光电发射信号时的(俯视)结构示意图。

图4为本发明中篮具架的玻璃基板未平行于喷流管头的喷流方向时的(俯视)结构示意图。

图5为本发明中篮具架的玻璃基板平行于光电发射信号时的(俯视)结构示意图。

图6为本发明中篮具架的玻璃基板平行于喷流管头的喷流方向时的(俯视)结构示意图。

图7为本发明中篮具架的玻璃基板未平行于喷流管头的喷流方向时的结构示意图。

图8为本发明中篮具架的玻璃基板平行于喷流管头的喷流方向时的结构示意图。

图9为图8中的内部结构示意图。

附图标记说明：

1-漂洗箱；2-篮具架；3-轴承环；4-玻璃基板；5-伺服驱动装置；6-驱动转轴；7-光电发射模块；8-光电接收模块；9-喷流管头；10-注入管；11-热液注入装置；12-吸流管头；13-排出管；14-热液排出装置；15-温度传感模块；16-加热模块；17-第一电控阀门；18-第二电控阀门。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例一

请参阅图1至图9，本发明的玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置包括以下主要结构配置：

漂洗箱1：内部承载有能够转动的篮具架2，篮具架2上放置了多个玻璃基板4，向漂洗箱1内充满活性剂+90摄氏度热水，对微蚀刻后的玻璃基板4进行浸泡清洗。

篮具架2：能够在漂洗箱1内转动，转动直径小于漂洗箱1的内部最小宽度，包括两侧条形结构的框体结构，框体结构上侧边设置插槽，底侧板的两侧边也设置插槽，使得四个环侧面除了框体结构外都是镂空的，这样便于浸泡、侧方位的冲洗操作。

轴承环3：下侧嵌入安装在漂洗箱1底侧板内，上侧嵌入安装在篮具架2底侧板内，轴承环3可以采用推力球轴承，篮具架2在转动过程中更加平稳。

伺服驱动装置5：可以采用伺服电机装置，伺服电机的输出端朝上设置，通过驱动转轴6带动篮具架2匀速转动。

驱动转轴6：向上穿过漂洗箱1底板，漂洗箱1底板上开设了对应的轴孔，在轴孔内配置了防水密封圈。

光电发射模块7、光电接收模块8：发出光电信号，在玻璃基板4不平行于光电发射模块7发出光电信号的方向时，光电接收模块8无法接收到光电信号，说明玻璃基板4还没有转动到可以进行喷流清洗的位置。在玻璃基板4平行于光电发射模块7发出光电信号的方向时，光电接收模块8可以接收到光电信号，说明玻璃基板4已经转动到可以进行喷流清洗的位置。

喷流管头9：垂直于漂洗箱1的侧板，当玻璃基板4转动到与喷流管头9所在的漂洗箱1侧板垂直位置时，光电信号导通，喷流管头9开始对玻璃基板4之间的间隙区域进行喷流，加速玻璃基板4之间液体流动，将浸泡脱离的微蚀刻残留液导出玻璃基板4之间的间隙区域。

注入管10：下游连通喷流管头9，上游连通热液注入装置11，热液注入装置通过注入管向喷流管头9供给清洗液。

热液注入装置11：可以采用增压导流装置，上游可以与已经加热好的清洗液罐连接，热流注入装置向漂洗箱1注入的液体是活性剂+90摄氏度热水的混合清洗液，并在后续喷流时也注入此种混合清洗液。

吸流管头12：设置在喷流管头9对侧位置，多个吸流管头12的位置与多个喷流管头9的位置一一对齐，在喷流管头9进行喷流时，吸流管头12配合将玻璃基板4间隙区域排出的液体吸走，减少漂洗箱1内的微蚀刻残留液总量。

排出管13：上游与多个吸流管头12连接，进入多个吸流管头12的液体都集中导入排出管13，排出管13下游连接了热液排出装置14。

热液排出装置14：热液排出装置14可以采用与热液注入装置11相同的装置，只需将入口、出口的位置对调即可。热液排出装置14排出的液体可以经过多级过滤设备，再将过滤后可以利用的活性剂液体导入热液注入装置11上游的清洗液罐中。

温度传感模块15、加热模块16：监测漂洗箱1内的清洗液温度，当漂洗箱1内的清洗液温度低于90摄氏度时，加热模块16开始加热，保证漂洗箱1内清洗液的浸泡、清洗效果处于较佳状态。

第一电控阀门17：安装在注入管10上，当热液注入装置11不需要向喷流管头9供液时，第一电控阀门17关闭，避免漂洗箱1内的液体流入热液注入装置11及上游管路内。

第二电控阀门18：安装在排出管13上，当热液排出装置14不需向吸流管头12提供负压吸流动作时，第二电控阀门18关闭，避免漂洗箱1内的液体流入热液排出装置14及下游管路内。

实施例二

基于实施例一，本发明涉及一种TFT-LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗方法，包括以下步骤：

一.先将多个玻璃基板4竖直置于漂洗箱1的篮具架2上，然后使用热液注入装置11向漂洗箱1内注入活性剂和90摄氏度的清洗混合液，漂洗箱1内的清洗混合液液位高度高于玻璃基板4上端时停止注液。

二.将多个玻璃基板4静置浸泡一定时间后，伺服驱动装置5开始带动篮具架2匀速转动，转动速度为3转/min～5转/min[转动过程中根据喷流清洗需要可以停止转动]。

三.当光电接收模块8传感接收到光电发射模块7的光电信号时，说明玻璃基板4已经平行于光电信号发射路径[光电信号发射路径与喷流管头9的喷流方向也是平行的]，伺服驱动装置5停止转动，热液注入装置11通过喷流管头9对平行于喷流管头9的多个玻璃基板4进行平行冲洗，相邻玻璃基板4之间间隙的液体被冲走，同时热液排出装置14动作，在多个玻璃基板4另一侧方位，通过吸流管头12吸收走与喷流管头9注入量等量的液体。

四.喷流管头9喷流冲洗一定时间后，热液注入装置11停止供液，热液排出装置14在吸流管头12吸收走与喷流管头9注入量等量的液体后也停止排液，伺服驱动装置5继续按照预设转速带动篮具架2转动。

五.在玻璃基板4静置浸泡、匀速转动以及喷流冲洗过程中，当漂洗箱1内的温度传感模块15传感检测到当前液体温度低于90摄氏度时，加热模块16对漂洗箱1内的液体进行加热。

六.根据需要，可以在玻璃基板4经过若干次喷流清洗后，或是一定时间后，停止浸泡清洗，将漂洗箱1内的液体排出[可以在漂洗箱1底侧设置一个排液管，排液管将漂洗箱1内的液体导入过滤设备，进行循环利用]，取出清洗洁净的玻璃基板4。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。