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单晶炉热场固定防偏移的保护装置

文献发布时间:2024-04-18 19:58:53


单晶炉热场固定防偏移的保护装置

技术领域

本发明涉及单晶炉防护设备技术领域,尤其涉及一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置。

背景技术

随着单晶炉运行时间的加长,炉底固化毡、软毡等粉化氧化,导致炉底保温毡部分某一方向对下保温桶支撑性减弱,进而导致热场发生竖直方向上的偏移,无法保证热场的对中,从而导致炉台运行过程中,炉底毡某方向粉化严重导致热场竖直方向偏移,在后续复投过程中,阶段性的升降热屏,从而导致热屏升降连杆受力挤压发生偏移,剐蹭炉盖内壁,金属碎屑掉入坩埚内污染原料,造成原料污染损失,并且,炉台运行过程中,热场发生偏移,易导致保温桶C-C件挤压主加热器,造成打火事故,严重时可导致加热器损坏,焖炉甚至漏硅,被迫提前停炉拆炉。

现有的解决方式是采用热屏连杆四氟套,热屏连杆四氟套只能一定程度上防护热屏升降连杆和减少连杆剐蹭炉盖内壁,却不能完全避免,但是,对于热场的对中性并无任何有效的防护固定措施。

发明内容

有鉴于此,本发明实施例提供一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,主要目的是提供一种能够减少因单晶炉热场发生偏移导致的事故,保持热场的对中性的单晶炉热场固定防偏移的保护装置。

为达到上述目的,本发明主要提供如下技术方案:

本发明实施例提供了一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,该装置包括:

第一支撑部件,所述第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,所述第一支撑部件包括第一支撑环、多个第一支撑片和多个第一连接部件,所述第一连接部件的一端可拆卸连接于所述第一支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个所述第一支撑片的外侧;

第二支撑部件,所述第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧,所述第二支撑部件包括第二支撑环、多个第二支撑片和多个第二连接部件,所述第二连接部件的一端可拆卸连接于所述第二支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个所述第二支撑片的外侧。

进一步的,多个所述第一支撑片围成第一环状结构,多个所述第二支撑片围成第二环状结构,所述第一环状结构的直径小于所述第二环状结构的直径。

进一步的,所述第一支撑环包括第一环体和多个第一连接柱,多个所述第一连接柱均匀纵向分布在所述第一环体的内侧,每个第一连接柱上具有至少两个第一连接孔,用于连接所述第一连接部件。

进一步的,每个所述第一支撑片包括第一圆弧片和第一固定柱,所述第一固定柱纵向连接于所述第一圆弧片的中部外侧,所述第一固定柱上具有至少两个第一安装孔,用于连接所述第一连接板部件。

进一步的,所述第二支撑环包括第二环体和多个第二连接柱,多个所述第二连接柱均匀纵向分布在所述第二环体的内侧,每个第二连接柱上具有至少两个第二连接孔,用于连接所述第二连接部件。

进一步的,每个所述第二支撑片包括第二圆弧片和第二固定柱,所述第二固定柱纵向连接于所述第二圆弧片的中部外侧,所述第二固定柱上具有至少两个第二安装孔,用于连接所述第二连接板部件。

进一步的,所述第一连接部件和所述第二连接部件为调节件,每个所述调节件包括固定块、插接柱、套管、第一连接螺栓和第二连接螺栓,所述插接柱具有多个第一通孔,所述套管具有多个第二通孔,所述插接柱插入所述套管内,所述固定块依次插入其中一个所述第二通孔和其中一个所述第一通孔,所述第一连接螺栓连接于所述插接柱和所述第一支撑环/第二支撑环,所述第二连接螺栓连接于所述套管和所述第一支撑片/第二支撑片。

进一步的,所述插接柱的一端设置第一连接耳部件,所述第一连接螺栓穿过并连接于所述第一连接耳部件,所述套管的一端设置第二连接耳部件,所述第二连接螺栓穿过并连接于所述第二连接耳部件。

进一步的,所述固定块包括块体、第一插杆和第二插杆,所述第一插杆和所述第二插杆垂直连接于所述块体,用于插入至少两个所述第一通孔和所述第二通孔。

与现有技术相比,本发明具有如下技术效果:

本发明实施例提供的技术方案中,第一支撑部件的作用是支撑热场保温毡的上部,第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,第一支撑部件包括第一支撑环、多个第一支撑片和多个第一连接部件,第一连接部件的一端可拆卸连接于第一支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第一支撑片的外侧;第二支撑部件的作用是支撑热场保温毡的中部和下部,第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧,第二支撑部件包括第二支撑环、多个第二支撑片和多个第二连接部件,第二连接部件的一端可拆卸连接于第二支撑环的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第二支撑片的外侧,相对于现有技术,采用热屏连杆四氟套,热屏连杆四氟套只能一定程度上防护热屏升降连杆和减少连杆剐蹭炉盖内壁,却不能完全避免,但是,对于热场的对中性并无任何有效的防护固定措施,本技术方案中,通过在热场保温毡的上部外侧设置第一支撑部件,多个第一支撑片与热场保温毡的上部侧面贴合,多个第一连接部件设置在第一支撑片和第一支撑环之间,能够有效的对热场保温毡的上部进行支撑和固定,然后在单晶的中部外侧和下部外侧设置第二支撑部件,多个第二支撑片与热场保温毡的中部外侧和上部侧面贴合,多个第二连接部件设置在第二支撑片和第二支撑环之间,能够有效的对热场保温毡的中部以及下部进行支撑和固定,减少或杜绝单晶炉在运行过程中因热场发生偏移导致造成的事故,同时保证热场保温毡的对中性,从而达到降低事故率的技术效果。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种第一支撑部件的结构示意图;

图2为图1中A处的放大结构示意图;

图3为本发明实施例提供的一种第二支撑部件的结构示意图;

图4为图3中A处的放大结构示意图;

图5为本发明实施例提供的第一种调节件的结构示意图;

图6为本发明实施例提供的第二种调节件的结构示意图;

图7为本发明实施例提供的一种固定块的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。

如图1至图7所示,本发明实施例提供了一种单晶炉热场固定防偏移的保护装置,该装置包括:

第一支撑部件,第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,第一支撑部件包括第一支撑环11、多个第一支撑片12和多个第一连接部件13,第一连接部件13的一端可拆卸连接于第一支撑环11的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第一支撑片12的外侧;

第二支撑部件,第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧,第二支撑部件包括第二支撑环21、多个第二支撑片22和多个第二连接部件23,第二连接部件23的一端可拆卸连接于第二支撑环21的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第二支撑片22的外侧。

本发明实施例提供的技术方案中,第一支撑部件的作用是支撑热场保温毡的上部,第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,第一支撑部件包括第一支撑环11、多个第一支撑片12和多个第一连接部件13,第一连接部件13的一端可拆卸连接于第一支撑环11的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第一支撑片12的外侧;第二支撑部件的作用是支撑热场保温毡的中部和下部,第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧,第二支撑部件包括第二支撑环21、多个第二支撑片22和多个第二连接部件23,第二连接部件23的一端可拆卸连接于第二支撑环21的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第二支撑片22的外侧,相对于现有技术,采用热屏连杆四氟套,热屏连杆四氟套只能一定程度上防护热屏升降连杆和减少连杆剐蹭炉盖内壁,却不能完全避免,但是,对于热场保温毡的对中性并无任何有效的防护固定措施,本技术方案中,通过在热场保温毡的上部外侧设置第一支撑部件,多个第一支撑片12与热场保温毡的上部侧面贴合,多个第一连接部件13设置在第一支撑片12和第一支撑环11之间,能够有效的对热场保温毡的上部进行支撑和固定,然后在单晶的中部外侧和下部外侧设置第二支撑部件,多个第二支撑片22与热场保温毡的中部外侧和上部侧面贴合,多个第二连接部件23设置在第二支撑片22和第二支撑环21之间,能够有效的对热场保温毡的中部以及下部进行支撑和固定,减少或杜绝单晶炉在运行过程中因热场发生偏移导致造成的事故,同时保证热场的对中性,从而达到降低事故率的技术效果。

上述第一支撑部件的作用是支撑热场保温毡的上部,第一支撑部件设置在热场保温毡的上部外侧,第一支撑部件包括第一支撑环11、多个第一支撑片12和多个第一连接部件13,第一连接部件13的一端可拆卸连接于第一支撑环11的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第一支撑片12的外侧,第一支撑部件用于支撑热场保温毡的上部外侧面,第一支撑环11采用圆环结构,在第一支撑环11的内侧设置多个第一支撑片12,多个第一支撑片12采用圆弧板结构,具体的,多个第一支撑片12位于同一个圆环区域内,使得多个第一支撑片12围成第一环状结构,第一支撑环11紧贴在主炉室的内壁进行定位固定,多个第一支撑片12紧贴于热场保温毡,在第一支撑环11和多个第一支撑片12之间设置第一连接部件13,其中,第一支撑环11和一个第一支撑片12之间至少设置两个第一连接部件13,使得第一支撑片12能够对热场保温毡的上部外侧进行支撑;第二支撑部件的作用是支撑热场保温毡的中部和下部,第二支撑部件设置在热场保温毡的中部外侧和下部外侧,第二支撑部件包括第二支撑环21、多个第二支撑片22和多个第二连接部件23,第二连接部件23的一端可拆卸连接于第二支撑环21的内侧,另一端可拆卸连接于其中一个第二支撑片22的外侧,第二支撑部件的主要作用是对热场保温毡的中部外侧和下部外侧进行支撑,第二支撑环21采用圆环结构,在得人支撑环的内侧设置多个第二支撑片22,多个第二支撑片22采用圆弧板结构,多个第二支撑片22能够围成圆环状结构,具体的,多个第二支撑片22位于同一个圆环区域内,使得多个第二支撑片22围成第二环状结构,第二支撑环21紧贴在主炉室的内壁进行定位固定,多个第二支撑片22紧贴于热场保温毡,并且,第一环状结构的直径小于第二环状结构的直径,在第二支撑环21和多个第二支撑片22之间设置第二连接部件23,其中,第二支撑环21和一个第二支撑片22之间至少设置两个第二连接部件23,使得第二支撑片22能够对热场保温毡的中部以及下部外侧进行支撑,使得炉台在运行过程中,无论炉底的毡粉化程度如何,第一支撑部件和第二支撑部件都能够对热场进行支撑和固定,保证了热场的对中性,减少或者杜绝炉台在运行中因热场发生偏移导致的事故,从而达到了减低事故率的技术效果。

进一步的,第一支撑环11包括第一环体111和多个第一连接柱112,多个第一连接柱112均匀纵向分布在第一环体111的内侧,每个第一连接柱112上具有至少两个第一连接孔,用于连接第一连接部件13。本实施例中,进一步限定了第一支撑环11,第一环体111采用浇筑的方式制作,在第一环体111的内侧设置多个第一连接柱112,第一连接柱112与第一环体111为一体成型结构,第一连接柱112的数量为三个至六个,优选为四个,第一连接柱112纵向设置,在第一连接柱112上设置至少两个第一连接孔,第一连接孔采用螺纹孔或者通孔,第一连接孔横向贯穿第一连接柱112,具体的,每个第一支撑片12包括第一圆弧片121和第一固定柱122,第一固定柱122纵向连接于第一圆弧片121的中部外侧,第一固定柱122上具有至少两个第一安装孔,用于连接第一连接板部件,第一圆弧片121具有弧度,弧度与第一环体111的弧度相同,第一固定柱122纵向设置在第一圆弧片121的中间位置,每个第一固定柱122上设置至少两个第一安装孔,第一安装孔横向贯穿第一连接柱112,第一连接部件13的一端通过第一连接孔与第一连接柱112连接,另一端通过第一安装孔与第一安装柱连接,从而达到使第一支撑环11和第一支撑片12连接并固定的技术效果。

进一步的,第二支撑环21包括第二环体211和多个第二连接柱212,多个第二连接柱212均匀纵向分布在第二环体211的内侧,每个第二连接柱212上具有至少两个第二连接孔,用于连接第二连接部件23,每个第二支撑片22包括第二圆弧片221和第二固定柱222,第二固定柱222纵向连接于第二圆弧片221的中部外侧,第二固定柱222上具有至少两个第二安装孔,用于连接第二连接板部件。本实施例中,进一步限定了第二支撑环21和第二支撑片22,第二支撑环21的结构与第一支撑环11的结构相同,第二支撑片22与第一支撑片12的结构相同,在此不再赘述。

进一步的,第一连接部件13和第二连接部件23为调节件,每个调节件包括固定块41、插接柱42、套管43、第一连接螺栓44和第二连接螺栓45,插接柱42具有多个第一通孔,套管43具有多个第二通孔,插接柱42插入套管43内,固定块41依次插入其中一个第二通孔和其中一个第一通孔,第一连接螺栓44连接于插接柱42和第一支撑环11/第二支撑环21,第二连接螺栓45连接于套管43和第一支撑片12/第二支撑片22。本实施例中,进一步限定了第一连接部件13和第二连接部件23,第一连接部件13和第二连接部件23统称调节件,插接柱42的一端设置第一连接耳部件46,第一连接螺栓44穿过第一连接孔/第二连接孔并连接于第一连接耳部件46,套管43套在插接柱42的外部,套管43的一端设置第二连接耳部件47,第二连接螺栓45穿过第一安装孔/第二安装孔并连接于第二连接耳部件47,并且,插接柱42上设置多个第一通孔,套管43上设置多个第二通孔,第一通孔和第二通孔的直径相同,固定块41依次插入第二通孔和第一通孔,使得插接柱42和套管43的相对位置固定,从而达到固定第一支撑环11与第一圆弧片121,或者第二支撑环21与第二圆弧片221之间的间距的技术效果,并且,需要根据工艺需求调整热场保温毡的厚度时,通过调整插接柱42插入的深度,然后重新插入固定块41即可进行调整,从而达到调整第一支撑环11与第一圆弧片121,或者第二支撑环21与第二圆弧片221之间的间距的技术效果。

进一步的,固定块41包括块体411、第一插杆412和第二插杆413,第一插杆412和第二插杆413垂直连接于块体411,用于插入至少两个第一通孔和第二通孔。本实施例中,进一步限定了固定块41,块体411设置在套管43的上部,第一插杆412和第二插杆413设置在块体411的下部,能够同时插入相邻的两个第一通孔和第二通孔,从而达到提高固定性的技术效果。

以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

相关技术
  • 一种用于单晶炉的热场
  • 一种单晶炉热场用电极护套
  • 单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉
  • 单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉
技术分类

06120116509871