密封阀门及半导体检测设备

技术领域

本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。

背景技术

近年来，随着半导体行业的高速发展，扫描电镜技术也在飞速发展，相关技术对真空的要求也越来越严格，尤其是扫描电镜的核心模块电子束发射模块对真空的要求也变得更加严格。

当电子束发射模块调试完成进行移转时，或者进行产品切换的过程中，需要有一种真空密封阀门对电子束发射模块进行严格密封，以保证电子束发射模块的高真空。

在现有的真空密封阀门中，通过驱动装置驱动导向块并配合限位挡块以夹持密封块的周侧，使得密封块相对导向块及限位挡块滑移运动进而下压密封电子束过道。

然而，通过导向块和限位挡块夹持密封块方式易卡住密封块使得密封块难以到达理想的密封位置。

发明内容

本申请提供了一种密封阀门及半导体检测设备，以解决现有真空密封阀门中的密封块易卡死的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种密封阀门，包括密封板、转接板、切换板以及展收机构；密封板、转接板以及切换板沿第二方向依次堆叠设置，展收机构设置于密封板与切换板之间；展收机构设置为在转接板相对密封板及切换板沿第一方向运动下，使得密封板在第二方向上远离或靠近切换板。

在本申请可选的方案中，展收机构包括弹性连接结构以及多个第一滚动件，弹性连接结构连接于密封板与切换板，多个第一滚动件设置于密封板与转接板之间；密封板与转接板配合形成有多个第一导向槽，各第一滚动件一一对应收容于各第一导向槽且能够在第一导向槽内沿第一方向运动，并通过密封板让弹性连接结构形变。

在本申请可选的方案中，展收机构还包括多个第二滚动件，多个第二滚动件设置于转接板与切换板之间；切换板与转接板配合形成有多个第二导向槽，各第二滚动件一一对应收容于各第二导向槽且能够在第二导向槽内沿第一方向运动。

在本申请可选的方案中，各第一导向槽及各第二导向槽均在第一方向上的截面先渐扩后渐缩设置，各第一导向槽及各第二导向槽在第二方向上一一面向彼此设置；各第一滚动件及各第二滚动件在第二方向上相接于彼此。

在本申请可选的方案中，转接板设有缺口，弹性连接结构位于缺口内；多个第一滚动件设置在缺口的外侧并环绕弹性连接结构布置；多个第二滚动件设置在缺口的外侧并环绕弹性连接结构布置。

在本申请可选的方案中，密封板及切换板分别设有多个导向孔，各导向孔沿第一方向延伸设置，转接板在第二方向上的两侧分别朝外突出有多个导向柱；转接板两侧的多个导向柱分别一一对应收容于密封板上的导向孔及切换板上的导向孔。

在本申请可选的方案中，弹性连接结构包括弹片及卡扣；卡扣连接于切换板，弹片连接于卡扣及密封板、且能够在第二方向上产生形变。

在本申请可选的方案中，密封阀门还包括密封件和驱动机构，密封件设置于密封板并在第一方向上位于远离切换板的一侧；驱动机构连接于转接板并提供第一方向活动自由度。

在本申请可选的方案中，切换板设有沿第二方向贯通的通道，通道在第一方向上位于远离驱动机构的一侧。

根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，包括腔体、限位结构以及上述的密封阀门；腔体内设有隔板以在第二方向上将腔体分隔为第一腔体及第二腔体，隔板设有沿第二方向贯通的第一过孔以连通第一腔体及第二腔体，限位结构连接于隔板并位于第一腔体内；密封阀门用于使第一腔体与第二腔体在连通状态及隔断状态之间切换；在隔断状态，切换板在第一方向上抵接于限位结构，密封板远离切换板以密封第一过孔；在连通状态，切换板在第一方向上与限位结构脱离连接，密封板靠近切换板以打开第一过孔。

在本申请可选的方案中，限位结构包括第一挡板及第二挡板；第一挡板连接于隔板且位于第一过孔在第一方向远离驱动机构的一侧；第二挡板在第二方向上位于切换板的上方并连接于第一挡板，第二挡板设有第二过孔，第二过孔与第一过孔同轴；在隔断状态，通道在第一方向上位于第一过孔远离驱动机构的一侧；在连通状态，通道连通第一过孔及第二过孔。

综上所述，本申请提供的密封阀门及半导体检测设备至少具有以下有益效果：

在本申请提供的密封阀门与限位结构配合，使得转接板与密封板及切换板在第一方向上相对运动，并配合展收机构转换为密封板在第二方向上的运动，以实现密封阀门的状态切换，进而实现开合第一过孔，使得第一腔体与第二腔体在连通状态及隔断状态切换。

相较于现有技术，限位结构作用于切换板上而并未直接作用于密封板，密封板没有被夹持，密封板发生卡死风险较低，密封板能够达到密封位置以确保密封效果。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的密封阀门与腔体的装配剖视状态图之一；

图2为根据本申请其中一个实施例提供的密封阀门与腔体的装配剖视状态图之二；

图3出示了图1中的密封板、转接板、切换板及展收机构的装配剖视状态图；

图4出示了图2中的密封板、转接板、切换板及展收机构的装配剖视状态图。

图5为图3及图4中各构件的爆炸图；

图6为图3及图4中部分构件的装配示意图。

附图标记如下：

10、密封阀门；11、密封板；12、转接板；121、转接端；122、导向柱；13、切换板；

14、展收机构；141、弹性连接结构；1411、弹片；1412、卡扣；142、第一滚动件；143、第二滚动件；15、密封件；16、驱动机构；161、动力构件；162、导向杆；163、形变套管；17、螺钉；

20、隔板；30、限位结构；31、第一挡板；32、第二挡板；

A1、第一导向槽；A2、第二导向槽；B、缺口；D、通道；H1、第一过孔；H2、第二过孔；H3、导向孔；H4、阶梯通孔；H5、螺纹孔；H6、滚珠安装通孔；R、腔体；R1、第一腔体；R2、第二腔体。

具体实施方式

在本申请的描述中，需要理解的是，如出现术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示方位或位置关系的描述，若无特殊的说明，则理解为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

另外，如出现限定有“第一”、“第二”仅用于描述目的的特征，不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该被限定的特征。如出现“多个”的描述，一般含义是至少包括两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，如出现“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语，应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，如出现术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的密封阀门10与腔体R的装配剖视状态图之一；图2为根据本申请其中一个实施例提供的密封阀门10与腔体R的装配剖视状态图之二。请参阅图1和图2，该半导体检测设备包括密封阀门10、腔体R以及限位结构30。

腔体R内设有隔板20以在第二方向上将腔体R分隔为第一腔体R1及第二腔体R2，隔板20设有沿第二方向贯通的第一过孔H1以连通第一腔体R1及第二腔体R2，限位结构30连接于隔板20并位于第一腔体R1内。密封阀门10用于使第一腔体R1与第二腔体R2在连通状态及隔断状态之间切换。

具体地，第一腔体R1及第二腔体R2通过第一过孔H1连通，因而密封阀门10开合第一过孔H1即可使得第一腔体R1及第二腔体R2在连通状态及隔断状态之间切换。

在具体应用中，第一腔体R1需要维持真空环境，第二腔体R2需要在真空环境与大气环境之间切换，在需要允许电子束流通过第一过孔H1时(例如样品检测过程)，第二腔体R2处于真空环境，在不需要电子束流通过第一过孔H1时(例如调试或更换样品过程)，第二腔体R2处于大气环境。

图3出示了图1中的密封板11、转接板12、切换板13及展收机构14的装配剖视状态图；图4出示了图2中的密封板11、转接板12、切换板13及展收机构14的装配剖视状态图。请参阅图3及图4，该密封阀门10包括密封板11、转接板12、切换板13以及展收机构14。

密封板11、转接板12以及切换板13沿第二方向依次堆叠设置，展收机构14设置于密封板11与切换板13之间。该展收机构14设置为在转接板12相对密封板11及切换板13沿第一方向运动下，使得密封板11在第二方向上远离或靠近切换板13。

具体地，转接板12在第一方向上与密封板11及切换板13发生相对运动时，能够作用于展收机构14，使得展收机构14动作，进而使得密封板11相对切换板13在第二方向上发生相对运动。

请结合图1及图2，图1所示实施例中的第一腔体R1及第二腔体R2处于连通状态，切换板13在第一方向上与限位结构30脱离连接，密封板11靠近切换板13以打开第一过孔H1。

图2所示实施例中的第一腔体R1及第二腔体R2处于隔断状态，切换板13在第一方向上抵接于限位结构30，密封板11远离切换板13以密封第一过孔H1。

在本实施例中，切换板13与密封板11通过展收机构14相连，在切换板13抵接于限位结构30时，相应地，密封板11也在第一方向上限位。如此，转接板12能够与密封板11及切换板13在第一方向上发生相对运动，进而配合展收机构14实现调节密封板11与切换板13在第二方向上的相对位置。

该密封阀门10具备展开状态及收起状态，在展开状态，密封板11在第二方向上远离切换板13以下压密封第一过孔H1，第一腔室R1与第二腔室R2处于隔断状态(如图2所示)。在收起状态，密封板11在第二方向上靠近切换板13以打开第一过孔H1，第一腔室R1与第二腔室R2处于连通状态(如图1所示)。

可见，在本申请提供的密封阀门10与限位结构30配合，使得转接板12与密封板11及切换板13在第一方向上相对运动，并配合展收机构14转换为密封板11在第二方向上的运动，以实现密封阀门10的状态切换，进而实现开合第一过孔H1，使得第一腔体R1与第二腔体R2在连通状态及隔断状态切换。

相较于现有技术，限位结构30作用于切换板13上而并未直接作用于密封板11，密封板11没有被夹持，密封板11发生卡死风险较低，密封板11能够达到密封位置以确保密封效果。

在进一步可选的实施例中，密封阀门10还包括密封件15以及驱动机构16，密封件15设置于密封板11并在第一方向上位于远离切换板13的一侧。驱动机构16连接于转接板12并提供第一方向活动自由度。

在本实施例中，驱动机构16驱动转接板12带动密封板11、切换板13以及展收机构14在第一方向上往复运动。

在切换板13抵接于限位结构30的情况下，密封件15在第二方向上位于第一过孔H1的上方并环绕在第一过孔H1的周侧，随着驱动机构16继续推动转接板12，转接板12相对密封板11及切换板13在第一方向上靠近限位结构30运动，使得密封板11在第二方向上向下运动，以让密封件15抵接于隔板20上并挤压密封件15，进而提高对第一过孔H1的密封性。

随着驱动机构16回拉转接板12，转接板12相对密封板11及切换板13在第一方向上远离限位结构30运动，使得密封板11在第二方向上向上运动，以让密封件15与隔板20脱离连接并释放对密封件15的挤压。

随着驱动机构16继续回拉转接板12，直至切换板13与限位结构30脱离连接，并让密封板11完全打开第一过孔H1。

可见，密封板11在第一方向往复运动的过程中，密封件15与隔板20在第二方向上为间隙布置，如此避免磨损密封件15，保证密封件15的使用寿命。

在图3及图4所示实施例中，密封件15采用橡胶密封圈，当然并不局限于此，例如还可采用密封垫片等。

在进一步可选的实施例中，切换板13设有沿第二方向贯通的通道D，通道D在第一方向上位于远离驱动机构16的一侧。

在本实施例中，在第一腔体R1与第二腔体R2处于连通状态下，通道D连通于第一过孔H1用于形成电子束流通过的过道。

在图3及图4所示实施例中，切换板13在第一方向上远离驱动机构16的一端突出于密封板11及转接板12，切换板13的在第一方向上的突出部分能够抵接于限位结构30上，过道D位于该突出部分。

另外，转接板12在第一方向上靠近驱动机构16的一端为转接端121并突出于密封板11及切换板13，驱动机构16与转接端121相连。

在一些可选的实施例中，驱动机构16包括动力构件161及导向杆162，导向杆162连接于动力构件161及转接板12并设置为在动力构件161的驱动下带动转接板12沿第一方向运动。

在本实施例中，动力构件161驱动导向杆162沿第一方向运动，进而带动转接板12沿第一方向运动，从而提供第一方向活动自由度。

在图1及图2所示实施例中，动力构件161采用气缸并且安装于腔体R的侧壁上，导向杆162的一端穿过腔体R的侧壁以与动力构件161的活塞杆一端相连，另一端伸入于第一腔体R1以与转接端121相连。在具体应用中，转接端121上设有螺纹孔，导向杆162以与转接端121螺接。另外，当然动力构件161并不局限于气缸，例如还可为电动推杆、电动缸等。

在进一步可选的实施例中，该驱动机构16还包括形变套管163，形变套管163外套于导向杆162并连接于动力构件161及导向杆162。

在本实施例中，形变套管163能够在第一方向形变，当驱动机构16驱动转接板12靠近限位结构30移动时，形变套管163被拉伸，当驱动机构16驱动转接板12远离限位结构移动时，形变套管163回缩。

形变套管163与导向杆162配合罩盖了动力构件161的壳壁上用于允许杆件穿过的通孔，如此实现隔离动力构件161的壳腔与第一腔体R1，以确保第一腔体R1的密封性。

在图1及图2所示实施例中，腔体R1的侧壁上设有阶梯通孔H4，动力构件161安装于腔体R的侧壁，该阶梯通孔H4允许导向杆162穿过，导向杆162设有位于阶梯通孔H4内的环凸，形变套管163为波纹管且两端分别连接于动力构件161及导向杆162上的环凸。当然，形变套管163并不局限于波纹管，例如还可为橡胶管等。

在一些可选的实施例中，限位结构30包括第一挡板31及第二挡板32。第一挡板31连接于隔板20且位于第一过孔H1在第一方向远离驱动机构16的一侧。第二挡板32在第二方向上位于切换板13的上方并连接于第一挡板31，第二挡板32设有第二过孔H2，第二过孔H2与第一过孔H1同轴。

在隔断状态，过道D在第一方向上位于第一过孔H1远离驱动机构16的一侧。在连通状态，过道D连通第一过孔H1及第二过孔H2。

在本实施例中，第一挡板31用于在第一方向上对切换板13进行限位，以确保转接板12与密封板11及切换板13在第一方向上能够相对运动。第二挡板32用于在第二方向上对切换板13进行限位，以确保密封件15在第二方向上被挤压。

第一挡板31及第二挡板32配合罩盖密封板11、转接板12、切换板13及展收机构14以进行保护。在连通状态，第一过孔H1、通道D以及第二过孔H2形成了允许电子束流通过的过道。在隔断状态，密封板11配合密封件15实现对第一过孔H1密封，并且通道D离开了连通第一过孔H1及第二过孔H2的位置。

在一些可选的实施例中，展收机构14包括弹性连接结构141以及多个第一滚动件142，弹性连接结构141连接于密封板11与切换板13，多个第一滚动件142设置于密封板11与转接板12之间。

密封板11与转接板12配合形成有多个第一导向槽A1，各第一滚动件142一一对应收容于各第一导向槽A1且能够在第一导向槽A1内沿第一方向运动，并通过密封板11让弹性连接结构141形变。

在本实施例中，在转接板12相对密封板11及切换板13在第一方向运动的过程中，第一滚动件142能够在第一导向槽A1内运动，如此通过第一滚动件142能够降低转接板12与密封板11之间的摩擦力，降低因摩擦产生的颗粒污染第一腔室R1的风险。

另外，第一滚动件142能够配合第一导向槽A1使得密封板11在第二方向运动，由于密封板11及切换板13在第二方向上的距离改变，密封板11及切换板13通过弹性连接结构141相连，因而，弹性连接结构141在第二方向上发生形变。

在进一步可选的实施例中，展收机构14还包括第二滚动件143，多个第二滚动件143设置于转接板12与切换板13之间。切换板13与转接板12配合形成有多个第二导向槽A2，第二滚动件143一一对应收容于各第二导向槽A2且能够在第二导向槽A2内沿所述第一方向运动。

在本实施例中，在转接板12相对密封板11及切换板13在第一方向运动的过程中，第二滚动件143能够在第二导向槽A2内运动，如此通过第二滚动件143能够降低转接板12与切换板13之间的摩擦力，降低因摩擦产生的颗粒污染第一腔室R1的防风险。

在进一步可选的实施例中，各第一导向槽A1及各第二导向槽A2在第一方向上的截面先渐扩后渐缩设置，各第一导向槽A1及各第二导向槽A2在所述第二方向上一一面向彼此设置。各第一滚动件142及各第二滚动件143在第二方向上相接于彼此。

在本实施例中，在第二方向上相接的一个第一滚动件142及一个第二滚动件143形成一个滚动件对，在第一方向上面向彼此的一个第一导向槽A1及一个第二导向槽A2形成一个导向槽对，滚动件对及导向槽对一一对应连接。

由于第一导向槽A1及第二导向槽A2在第一方向上的截面先渐扩后渐缩设置，因而形成的导向槽对的中部位置在第二方向上的尺寸大于在两侧位置在第二方向上的尺寸，即中部宽、两端窄的形状。

请结合图1至图4，由前述可知，切换板13的在第二方向上的位置由第二挡板32限位，转接板12在第二方向上的位置由导向杆162确定，即转接板12与切换板13在第二方向上的间距基本不变。

该密封阀门10处于收起状态时，滚动件对位于导向槽对的中部宽侧位置。将该密封阀门10有收起状态切换至展开状态的过程中，切换板13抵接于限位结构30上，随着驱动机构16驱动转接板12在第一方向上相对切密封板11及切换板13继续靠近限位结构30运动，滚动件对朝向导向槽对的端部窄侧位置移动，由于转接板12与切换板13在第二方向上的间距基本不变以及滚动件对中两滚动件的直径之和不变，导致滚动件对只能在第二方向上下压密封板11，以改变导向槽对在第二方向上的尺寸以匹配滚动件对，并使得弹性连接结构141在第二方向上形变以展开。

将该密封阀门10处于展开状态时，滚动件对位于导向槽对的端部窄侧位置，切换板13抵接于限位结构30上，随着驱动机构16驱动转接板12在第一方向上相对切密封板11及切换板13继续远离限位结构30运动，滚动件对朝向导向槽对的中部宽侧位置移动，滚动件对释放对密封板11的下压，在弹性连接结构141的复位收起并带动密封板11在第二方向上向上移动，相应地，导向槽对在第二方向上的尺寸调整以匹配滚动件对。

应理解地，在仅存在第一滚动件142及第一导向槽A1的情况下配合弹性连接结构141，即可使得密封板11在第二方向上改变位置。在配对增加第二滚动件143及第二导向槽A2的情况下，能够更进一步降低因摩擦产生的颗粒污染第一腔室R1的风险，另外，也能使得密封板11在第二方向上的位移行程更大，保证密封效果。

在进一步可选的实施例中，弹性连接结构141包括弹片1411及卡扣1412。卡扣1412连接于切换板13，弹片1411连接于卡扣1412及密封板11、且能够在第二方向上产生形变。

在本实施例中，弹性连接结构141主要由弹片1411及卡扣1412构成，其中，卡扣1412固定安装在切换板13上，弹片1411固定安装在密封板11上且与卡扣1412相连，如此实现将密封板11及切换板13相连。另外，密封阀门10处于收起状态时，密封板11及切换板13靠近彼此并在弹性连接结构141的作用下夹持固定转接板12。

另外，弹片1411设置为能够在第二方向上产生形变，从而确保密封板11具备在第二方向上的活动自由度。

在图3及图4所示实施例中，卡扣1412通过螺钉17固定安装在切换板13上且在第一方向的两端均为弯钩端，弹片1411为弯折结构，弹片1411的中部在第二方向上朝向密封板11突出并固定安装在密封板11，弹片1411在第一方向上的两端连接于卡扣1412在第一方向两侧的弯折端，弹片1411在第一方向上的两端相对中部在第二方向上形变，进而改变密封板11的位置。

图5为图3及图4中各构件的爆炸图；图6为图3及图4中部分构件的装配示意图，需要说明的是，图6中隐藏了切换板13。请参阅图5及图6，在进一步可选的实施例中，转接板12设有缺口B，弹性连接结构141位于缺口B内。多个第一滚动件142设置在缺口B的外侧并环绕弹性连接结构141布置。多个第二滚动件143分别在缺口B的外侧并环绕弹性连接结构141布置。

在本实施例中，转接板12上的缺口B以避让弹性连接结构141，以确保弹性连接结构141的活动空间。多个第一滚动件142及多个第二滚动件143均是环绕在弹性连接结构141的周侧，确保各第一滚动件142及第二滚动件143形成的作用力均匀分布至弹性连接结构141的周侧，避免密封板11在第二方向运动过程中出现翘起现象，以确保密封的稳定性。

在图5及图6所示实施例中，第一滚动件142及第二滚动件143均为滚珠且数量分别为四个，第一导向槽A1及第二导向槽A2的数量为四个，转接板12上设有四个滚珠安装通孔H6，四个第一滚动件142及四个第二滚动件143分别一一安装于四个滚动安装通孔H6内，同一滚珠安装通孔H6内的第一滚动件142及第二滚动件143相接。

四个第一滚动件142位于转接板12在第二方向靠近密封板11的一侧、并环绕弹性连接结构141布置且一一对应收容于四个第一导向槽A1内，

四个第二滚动件143位于转接板12在第二方向靠近切换板13的一侧、并环绕弹性连接结构141布置且一一对应收容于四个第二导向槽A2内。

密封板11在第一方向上间隔设置有两个V形缺口，这两个V形缺口配合转接板12形成有四个第一导向槽A1。切换板13在第一方向上设有两个V形缺口，这两个V形缺口配合转接板12形成四个第二导向槽A2。密封板11上的两个V形缺口与切换板13上的两个V形缺口面向彼此设置。

在本实施例中，多个第一滚动件142在密封板11及转接板12形成一层滚动层，多个第二滚动件143在转接板12及切换板13形成另一层滚动层。转接板12在第二方向的两侧均有滚动层，降低因摩擦产生颗粒的风险。另外，各滚动层配合相应的导向槽实现调节密封板11的位置并使得弹性连接结构141形变。

需要说明的是，第一滚动件142及第二滚动件143并不局限于滚珠，例如还可为滚轴等，当然第一滚动件142及第二滚动件143的数量也并不局限于图示实施例，可根据设计需求调整。

在进一步可选的实施例中，密封板11及切换板13分别设有多个导向孔H3，各导向孔H3沿第一方向延伸设置，转接板12在第二方向上的两侧分别朝外突出有多个导向柱122。

转接板12两侧的多个导向柱122分别一一对应收容于密封板11上的导向孔H3及切换板13上的导向孔H3。

在本实施例中，密封板11上设有多个导向孔H3以收容转接板12上靠近密封板11的多个导向柱122，切换板13设有多个导向孔H3以收容转接板12上靠近切换板13的多个导向柱。

通过导向柱122与导向孔H3之间的配合，实现转接板12与密封板11及切换板13活动连接，并且确保转接板12在第一方向上运动，避免转接板12偏摆。其次，导向孔H3的长度限定了转接板12在第一方向上的位移。

在图5所示实施例中，各导向孔H3均为长条通孔并位于V形缺口位置，密封板11上的导向孔H3的数量为两个且位于斜对角位置，切换板13上的导向孔H3的数量也为两个且也位于斜对角位置。如此，转接板12与密封板11及切换板13在斜对角位置形成有活动连接点位，以确保转接板12移动过程中的可靠性。

当然，密封板11上的导向孔H3数量以及切换板13上的导向孔H3数量并不局限于两个，可根据设计需求调整。

需要说明的是，在上述的实施例中，第一方向垂直于第二方向，在一些实施例中，第一方向为导向杆162的轴向，第二方向为第一过孔H1的轴向。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。